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聚酰亚胺上催化剂增强化学气相沉积钯-铂双层膜(英文) 被引量：2
1
作者 郑建华 周锦兰 +2 位作者 俞开潮 葛学贵 于澍燕 《催化学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2006年第6期465-467,共3页
以N2和O2为载气,采用催化剂增强化学气相沉积法于聚酰亚胺上获得了Pt和Pd-Pt双层金属薄膜.当使用Pd(hfac)2和Pt Me2(COD)为前驱体,在同一反应器内共沉积时,只有Pt被沉积.金属Pd和Pt顺序沉积可形成Pd-Pt双层膜.
关键词 催化剂增强化学气相沉积 聚酰亚胺 铂膜 钯-铂双层膜
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聚砜上催化剂增强化学气相沉积钯-铂双层纳米膜 被引量：1
2
作者 郑建华 周锦兰 +2 位作者 田熙科 冯文芳 俞开潮 《催化学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第9期755-757,共3页
以N2和O2作载气,采用催化剂增强化学气相沉积法在聚砜上获得了Pt和Pd-Pt双层金属纳米薄膜.当使用Pd（hfac）2和Pt（COD）Me2为前驱体在同一反应器内共沉积时,只有Pt被沉积,铂和钯顺序沉积可以得到双层膜.聚砜上金属钯和铂微粒尺度为15-3... 以N2和O2作载气,采用催化剂增强化学气相沉积法在聚砜上获得了Pt和Pd-Pt双层金属纳米薄膜.当使用Pd（hfac）2和Pt（COD）Me2为前驱体在同一反应器内共沉积时,只有Pt被沉积,铂和钯顺序沉积可以得到双层膜.聚砜上金属钯和铂微粒尺度为15-30 nm,双层膜厚度为120-180 nm. 展开更多
关键词 催化剂增强化学气相沉积 聚砜 铂膜 钯-铂双层膜
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钯-铂双层覆膜聚酰亚胺的CECVD制备与表征 被引量：1
3
作者 郑建华 冯文芳 +2 位作者 周锦兰 田熙科 俞开潮 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第5期918-921,共4页
以N2、O2作载气,采用催化增强化学气相沉积（CECVD）法,于250～300℃和减压/常压下制得沉积于聚酰亚胺（PI）上的Pt,Pd/Pt和Pt/Pd金属双层薄膜。当使用Pd（hfac）2和Pt（COD）Me2为前驱体,在同一反应器内共沉积时只有Pt被沉积（钯配合... 以N2、O2作载气,采用催化增强化学气相沉积（CECVD）法,于250～300℃和减压/常压下制得沉积于聚酰亚胺（PI）上的Pt,Pd/Pt和Pt/Pd金属双层薄膜。当使用Pd（hfac）2和Pt（COD）Me2为前驱体,在同一反应器内共沉积时只有Pt被沉积（钯配合物起催化剂作用）,金属铂、钯顺序沉积可形成双层膜。经XPS和SEM分析了所得沉积膜的表面结构与相组成。结果表明：所有沉积层与PI衬底的粘附性能良好;沉积速率为70～80nm/h,钯、铂粒径分别为100nm和100～150nm。 展开更多
关键词 聚酰亚胺 催化增强化学气相沉积 铂薄膜 钯-铂双层膜 表征
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