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题名掺V6H-SiC单晶生长表面V析出相研究
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作者
洪颖
郝建民
冯玢
王香泉
章安辉
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机构
中国电子科技集团公司第四十六研究所
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出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2011年第2期124-126,143,共4页
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文摘
采用扫描电镜(SEM)和光学显微镜(OM)观察物理气相传输(PVT)法生长掺V6H-SiC单晶新鲜表面时,发现具有特定形状的析出相,经SEM能谱(EDX)测试确定析出相的主要成分是V,推断其在单晶生长结束后的降温过程中产生。通过对V析出相的进一步研究发现其在数量、尺寸以及方向上都与单晶生长中心具有一定的关系,具有特定的分布规律,任何一个视场,析出相的取向只有两种,且数量相当,这一结果说明结晶动力学对V的掺入具有一定的影响;当结晶温度较高时,这种影响不明显,但随着结晶区温度的降低,影响加剧,从而出现析出相,且析出相的结晶行为完全受晶体表面形貌的制约。
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关键词
6H-SIC
掺钒
单晶生长表面
钒析出相
分布规律
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Keywords
6H-SiC
V-doped
as-grown surface
V-grains
distribution rule
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分类号
TN304.24
[电子电信—物理电子学]
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题名CLAM钢中富钒析出相的定性分析
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作者
马晓宇
周晓苓
沈寅忠
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机构
上海交通大学机械与动力工程学院
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出处
《金属热处理》
CAS
CSCD
北大核心
2019年第10期125-128,共4页
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基金
国家自然科学基金(51034011)
国际热核聚变实验堆(ITER)计划专项/国家磁约束核聚变能研究专项(2011GB113001)
+1 种基金
上海市浦江人才计划
上海交通大学本科生研究计划(PRP)(T020PRP33007)
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文摘
以HEAT-9低活化马氏体(CLAM)钢为研究材料,利用透射电镜对其中的富钒析出相进行了定性分析。研究发现,正火回火态CLAM钢中的富钒析出相可分为3种类型,分别为具有面心立方结构的针状以及块状或半球状M(C,N)碳氮化物、具有面心立方结构的块状或半球状MC碳化物,以及具有简单正交结构的块状或半球状M2C碳化物。块状或半球状的富钒析出相一般附着于富钽析出相上;而针状富钒析出相一般单独存在。
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关键词
CLAM钢
高铬铁素体/马氏体钢
透射电镜
富钒析出相
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Keywords
CLAM steel
high-Cr ferritic/martensitic steel
transmission electron microscope
V-rich precipitates
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分类号
TG142.73
[一般工业技术—材料科学与工程]
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