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5Gb/s单片集成GaAs MSM/PHEMT 850nm光接收机前端 被引量:2
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作者 焦世龙 陈堂胜 +5 位作者 钱峰 冯欧 蒋幼泉 李拂晓 邵凯 叶玉堂 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第4期587-591,共5页
采用0.5μm GaAs PHEMT工艺研制出了一种单片集成850nm光接收机前端,它包括金属-半导体-金属(MSM)光探测器和分布放大器.探测器光敏面积为50μm×50μm,电容为0.17pF,4V偏压下的暗电流小于17nA.分布放大器-3dB带宽接近20GHz,跨阻增... 采用0.5μm GaAs PHEMT工艺研制出了一种单片集成850nm光接收机前端,它包括金属-半导体-金属(MSM)光探测器和分布放大器.探测器光敏面积为50μm×50μm,电容为0.17pF,4V偏压下的暗电流小于17nA.分布放大器-3dB带宽接近20GHz,跨阻增益约46dBΩ;在50MHz^16GHz范围内,输入、输出电压驻波比均小于2;噪声系数在3.03~6.5dB之间.光接收机前端在输入2.5和5Gb/s非归零伪随机二进制序列调制的光信号下,得到较为清晰的输出眼图. 展开更多
关键词 金属-半导体-金属探测器 分布放大器 接收机 眼图
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光电集成光接收机前端及限幅放大器的研制 被引量:3
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作者 范超 陈堂胜 +4 位作者 杨立杰 冯欧 焦世龙 吴云峰 叶玉堂 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第3期777-781,共5页
基于国内的材料生产和半导体工艺条件,研制了10 Gb/s光电集成(OEIC)光接收机前端,并采用耗尽型赝配高电子迁移晶体管(PHEMT)设计并实现了限幅放大器。光接收机前端组成形式为金属-半导体-金属(MSM)光探测器和电流模跨阻放大器,借助模拟... 基于国内的材料生产和半导体工艺条件,研制了10 Gb/s光电集成(OEIC)光接收机前端,并采用耗尽型赝配高电子迁移晶体管(PHEMT)设计并实现了限幅放大器。光接收机前端组成形式为金属-半导体-金属(MSM)光探测器和电流模跨阻放大器,借助模拟软件SILVACO建立并优化了器件模型,探测器光敏面50μm×50μm,带宽超过10 GHz,电容约3 fF/μm。研究并改进了腐蚀自停止工艺并实际应用于OEIC器件制作,芯片面积为151Iμm×666μm。限幅放大器采用无源电感扩展带宽,并借助三维电磁仿真软件HFSS进行模拟仿真。限幅放大器芯片面积为1950μm×1910μm,在3.125 Gb/s传输速率下,分别输入信号幅度为10和500 mV,可以得到500 mV恒定输出摆幅。 展开更多
关键词 集成 金属-半导体-金属探测器 电流模跨阻放大器 限幅放大器
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MSM-PD与RTD光电集成的模拟 被引量:1
3
作者 梁惠来 辛春艳 +1 位作者 郭维廉 王振坤 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2002年第5期303-305,共3页
设计了由谐振隧穿二极管 (RTD)为驱动器件 ,以金属 -半导体 -金属光探测器(MSM PD)为光敏元件的光电集成电路单元 ,利用通用电路模拟软件PSPICE基于其物理意义的电流 -电压方程建立直流电路模型 ,模拟其暂态特性 ,结果表明器件具有反相... 设计了由谐振隧穿二极管 (RTD)为驱动器件 ,以金属 -半导体 -金属光探测器(MSM PD)为光敏元件的光电集成电路单元 ,利用通用电路模拟软件PSPICE基于其物理意义的电流 -电压方程建立直流电路模型 ,模拟其暂态特性 ,结果表明器件具有反相输出功能和双稳态特性。 展开更多
关键词 谐振隧穿二极管 金属-半导体-金属探测器 电集成
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一种850nm单片集成光接收机前端
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作者 冯欧 冯忠 +5 位作者 杨立杰 焦世龙 蒋幼泉 陈堂胜 李拂晓 叶玉堂 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2007年第3期350-355,共6页
采用0.5μm GaAs PHEMT工艺和台面光刻互连工艺研制了一种850nm光接收机前端单片电路,包括金属-半导体-金属光探测器和跨阻前置放大器。探测器光敏面积约2000μm2,电容小于0.15pF,4V偏压下的暗电流小于14nA。跨阻前置放大器-3dB带宽接近... 采用0.5μm GaAs PHEMT工艺和台面光刻互连工艺研制了一种850nm光接收机前端单片电路,包括金属-半导体-金属光探测器和跨阻前置放大器。探测器光敏面积约2000μm2,电容小于0.15pF,4V偏压下的暗电流小于14nA。跨阻前置放大器-3dB带宽接近10GHz,跨阻增益约43dBΩ。光接收机前端在输入2.5Gb/s非归零伪随机二进制序列调制的850nm光信号下得到较为清晰的输出眼图。 展开更多
关键词 金属-半导体-金属探测器 跨阻前置放大器 电集成电路 台面 眼图
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金属-半导体-金属光电探测器的瞬态特性分析 被引量:3
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作者 孙亚春 王庆康 《光电子技术》 CAS 2003年第2期121-125,共5页
给出了金属 -半导体 -金属光电探测器 ( MSM- PD)高频特性的等效电路模型 ,在此模型基础上编写模拟分析程序 ,分析了探测器相关器件参数对器件截止频率的影响 。
关键词 金属-半导体-金属探测器 MSM-PD 等效电路 截止频率 瞬态特性 纤通信
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一种改进型金属-半导体-金属光电探测器数学模型 被引量:2
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作者 范辉 陆雨田 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第8期1032-1036,共5页
以E.Sano的金属-半导体-金属光电探测器(MSM-PD)模型为基础,提出了一种改进型的模型.该模型以多个电流源和电容并联的形式构造,以吸收区过剩电子和空穴总数为研究对象,求解速率方程.另外计算了电容,给出了暗电流与端电压的非线性计算式... 以E.Sano的金属-半导体-金属光电探测器(MSM-PD)模型为基础,提出了一种改进型的模型.该模型以多个电流源和电容并联的形式构造,以吸收区过剩电子和空穴总数为研究对象,求解速率方程.另外计算了电容,给出了暗电流与端电压的非线性计算式,改进了传统模型中暗电流的线性计算方法.通过线性叠加给出了该模型光电流的数学解析解.通过在Matlab中的模拟计算,表明该模型具有计算量小、准确度高的特点,它不仅能反映一定偏压和光照下光电流的变化,而且能展示光电子在器件中的转化过程.这种模型也能较好地应用于微弱信号的检测模拟. 展开更多
关键词 学器件 金属-半导体-金属探测器 数学模型 MATLAB 电集成回路
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MSM光电探测器电磁场特性的TLM方法模拟 被引量:1
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作者 石世长 王庆康 《固体电子学研究与进展》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第1期43-49,共7页
介绍了利用传输线矩阵方法模拟和分析金属 -半导体 -金属光电探测器指栅电容的频率响应。应用时域电磁场三维 TL M方法模拟分析了指栅间距和指栅间的耦合长度与光电探测器截止频率的关系。文中还报道了本项研究所开发的三维电磁场时域... 介绍了利用传输线矩阵方法模拟和分析金属 -半导体 -金属光电探测器指栅电容的频率响应。应用时域电磁场三维 TL M方法模拟分析了指栅间距和指栅间的耦合长度与光电探测器截止频率的关系。文中还报道了本项研究所开发的三维电磁场时域模拟器 TLM Simulator 2 .0及其功能。数值实验结果说明模拟器对微波结构的电磁场模拟是精确、有效的 ,具有很好的应用价值。 展开更多
关键词 传输线矩阵方法 金属-半导体-金属探测器 电磁场特性
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Monolithically Fabricated OEICs Using RTD and MSM
8
作者 胡艳龙 梁惠来 +3 位作者 李益欢 张世林 毛陆虹 郭维廉 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第4期641-645,共5页
Two kinds of monolithically fabricated circuits are demonstrated in GaAs-based material systems using resonant tunneling diodes(RTD) and metal-semiconductor-metal photo detectors(MSM PD). The electronic characteri... Two kinds of monolithically fabricated circuits are demonstrated in GaAs-based material systems using resonant tunneling diodes(RTD) and metal-semiconductor-metal photo detectors(MSM PD). The electronic characteristics of these fabricated RTD devices,MSM devices,and integrated circuits are tested at room temperature. The results show that the current peak-to-valley ratio is 4,and the photocurrent at 5V is enhanced by a factor of nearly 9,from 2 to about 18μA by use of recessed electrodes. The working theory and logical functions of the circuits are validated. 展开更多
关键词 resonant tunneling diode metal-semiconductor-metal photo detector device simulation monolithic optoelectronic integration
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光电多芯片模块及其在高速计算机和光通信网络中的应用
9
作者 孙亚春 王庆康 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2002年第6期386-390,共5页
为了改善高速计算机和通信网络中的通信延迟和连通性能 ,从 2 0世纪 90年代初的光电子单片集成到 90年代末的光电多芯片模块 ,人们在这一领域进行了很多研究。根据国际上近年来的相关研究报道 ,介绍了光电多芯片模块 (OE MCM )的结构 ,... 为了改善高速计算机和通信网络中的通信延迟和连通性能 ,从 2 0世纪 90年代初的光电子单片集成到 90年代末的光电多芯片模块 ,人们在这一领域进行了很多研究。根据国际上近年来的相关研究报道 ,介绍了光电多芯片模块 (OE MCM )的结构 ,并阐述了其制造工艺及其在高速计算机和通信网络中的应用。 展开更多
关键词 电机械系统 电多芯片模块 电互连 金属-半导体-金属探测器
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薄膜光探测器绑定点的几何设计与仿真分析
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作者 刘小龙 肖靖 +1 位作者 何敏 肖剑波 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2016年第8期158-164,共7页
目前,光器件在硅基衬底上的集成是光电领域的研究热点。将基于表面张力的流体自组装技术应用于薄膜金属-半导体-金属(MSM)光探测器的集成上,其集成效果的优劣与器件绑定点的几何形状有关。为了有效预测薄膜MSM光探测器绑定点的间距和形... 目前,光器件在硅基衬底上的集成是光电领域的研究热点。将基于表面张力的流体自组装技术应用于薄膜金属-半导体-金属(MSM)光探测器的集成上,其集成效果的优劣与器件绑定点的几何形状有关。为了有效预测薄膜MSM光探测器绑定点的间距和形状对集成效果的影响,利用MATLAB对其集成过程中表面自由能的分布状况进行了仿真分析。首先,在介绍薄膜MSM光探测器的基础上,对其集成过程建立了平移和旋转仿真模型。然后,根据表面自由能与匹配度的线性关系,分别仿真出了不同间距和形状的绑定点在集成过程中匹配度的分布状况图。通过分析匹配度的斜率以及正确装配状态和误装配状态之间的关系,预测两端绑定点间距较长、绑定点形状为梯形时集成效果较好。最后,考虑到薄膜光电器件有可能需要区分正负极的情况,将其两端绑定点设计成不对称形状并进行仿真分析,尽量避免集成过程中出现正负极反接的状态。 展开更多
关键词 薄膜金属-半导体-金属探测器 流体自组装技术 表面自由能 绑定点
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基于PSPICE的光接收机电路设计与仿真
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作者 王苹 解光军 《合肥工业大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2007年第5期542-545,共4页
文章基于PSPICE通用软件,设计了一个由金属-半导体-金属Schottky势垒光探测器(MSM-PD)组成的GaAs光接收机电路,并对其进行了电路级仿真,仿真结果显示达到了设计目的。
关键词 电集成电路 金属-半导体-金属Schottky势垒探测器 接收机
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