大束流Co离子注入形成CoSi_2/Si Schottky结的特性

1

作者 王燕 田立林 +2 位作者 王玉花 李英 李志坚 《清华大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第4期561-563,568,共4页

采用 Schottky结源漏结构是克服传统 MOSFET器件短沟效应的一种有效方法。不同于常规的固相反应形成硅化物的方法 ,该文利用金属蒸汽真空弧 (MEVVA)离子源进行强流金属离子注入合成了金属硅化物 Co Si2 ,并首次对其与 Si所形成的 Schot... 采用 Schottky结源漏结构是克服传统 MOSFET器件短沟效应的一种有效方法。不同于常规的固相反应形成硅化物的方法 ,该文利用金属蒸汽真空弧 (MEVVA)离子源进行强流金属离子注入合成了金属硅化物 Co Si2 ,并首次对其与 Si所形成的 Schottky结特性进行了研究。结果表明85 0℃退火 1m in后已形成 Co Si2 硅化物晶相 ,且结深易于控制。电流特性表明 p型衬底得到了较好的 Schottky结 ,势垒高度为 0 .4 8e V,理想因子为 1.0 9,而 n型衬底形成的Schottky结的理想因子偏大 。 展开更多

关键词 Schottky结 COSI2 金属硅化物 金属蒸汽真空弧 钴离子注入 MOSFET器件

原文传递

HI3钢的脉冲离子束加工处理

2

作者 杨建华 《南通大学学报（教育科学版）》 1994年第2期14-17,共4页

作者利用中国第一台金属蒸汽真空弧离子源(MEVVA源)引出的钼离子对HI3钢进行了不同束流密度下的离子注入。根据此源的特点,提出了相应的注入元素深度分布的计算方法。注入层的分析和测量是借助背散射(RBS)、X衍射(XRD)进行的。磨损测量... 作者利用中国第一台金属蒸汽真空弧离子源(MEVVA源)引出的钼离子对HI3钢进行了不同束流密度下的离子注入。根据此源的特点,提出了相应的注入元素深度分布的计算方法。注入层的分析和测量是借助背散射(RBS)、X衍射(XRD)进行的。磨损测量表明,随着束流密度的变化,注入层的磨损性能将会发生相应变化。最后指出了MEVVA源的应用前景。 展开更多

关键词 脉冲离子束 MEVVA源 离子注入 束流密度 磨损性能 加工处理 注入设备 深度分布 金属蒸汽真空弧 浓度分布

下载PDF 职称材料

100型MEVVA源注入机注入均匀性研究

3

作者 李强 吴先映 +3 位作者 张荟星 刘安东 彭建华 王桂岳 《真空》 CAS 北大核心 2007年第1期29-31,共3页

提高金属蒸汽真空弧(Metal Vapor Vacuum Arc,MEVVA)离子源注入机的注入效率,大幅度降低注入成本是MEVVA源离子注入技术实用化的关键。为此开展了100型MEVVA源注入机大批量的工件注入均匀性的研究。本文介绍了100型MEVVA源注入机的靶室... 提高金属蒸汽真空弧(Metal Vapor Vacuum Arc,MEVVA)离子源注入机的注入效率,大幅度降低注入成本是MEVVA源离子注入技术实用化的关键。为此开展了100型MEVVA源注入机大批量的工件注入均匀性的研究。本文介绍了100型MEVVA源注入机的靶室结构和靶盘分布,研究了0°定位自转、靶盘公转自转、45°定位自转的注入离子浓度分布。这三种方式的注入离子浓度分布都不能满足大批量均匀注入的需要。但45°定位自转的注入离子浓度分布的趋势与另两种相反,这意味着将45°定位自转与0°定位自转或靶盘公转自转相结合进行复合注入,可以得到均匀的注入效果。通过对几种注入方式的拟合计算来确定复合注入的注入比例。最后通过实验研究了靶盘不同运动状态的复合注入,得到了相当均匀的注入效果。 展开更多

关键词 金属蒸汽真空弧 离子注入 0°定位 45°定位 注入均匀性

下载PDF 职称材料

采用磁过滤MEVVA源制备DLC膜的研究 被引量：4

4

作者 张旭 张通和 +2 位作者 易仲珍 张荟星 王广甫 《北京师范大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2002年第4期478-481,共4页

采用磁过滤MEVVA沉积技术以石墨为阴极在几种衬底表面 (单晶硅、不锈钢和工具钢等 )上制备高质量类金刚石 (DLC)薄膜。实验结果表明 ,沉积能量对薄膜的sp3键含量的影响为先随能量的增加而增加 ,达到最大值后 ,再增加沉积能量含量反而下... 采用磁过滤MEVVA沉积技术以石墨为阴极在几种衬底表面 (单晶硅、不锈钢和工具钢等 )上制备高质量类金刚石 (DLC)薄膜。实验结果表明 ,沉积能量对薄膜的sp3键含量的影响为先随能量的增加而增加 ,达到最大值后 ,再增加沉积能量含量反而下降。硬度测试结果表明 ,非晶金刚石薄膜具有极高的硬度 ,为 70～ 78GPa ,远远高于衬底材料的硬度值 .对非晶金刚石薄膜的摩擦性能试验结果表明 ,非晶金刚石薄膜的摩擦因数为 0 .16～ 0 .2 ,大大低于衬底材料 . 展开更多

关键词 磁过滤 MEVVA源 制备 DLC膜 类金刚石膜 金属蒸汽真空弧沉积 非晶金刚石薄膜 耐磨损性能

下载PDF 职称材料

强束流钽、碳离子双注入H13钢的研究 被引量：2

5

作者 杨建华 张通和 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 2004年第2期26-29,共4页

选用强碳化物形成元素钽作为金属蒸汽真空弧离子源(metal vapor vacuum arc,简称MEVVA)的阴极,对H13钢进行了钽离子注入表面改性研究。对比了Ta、C离子单注入和Ta、C离子双注入的效果,测量了离子注入表面的成分,考察了注入表面的相结构... 选用强碳化物形成元素钽作为金属蒸汽真空弧离子源(metal vapor vacuum arc,简称MEVVA)的阴极,对H13钢进行了钽离子注入表面改性研究。对比了Ta、C离子单注入和Ta、C离子双注入的效果,测量了离子注入表面的成分,考察了注入表面的相结构。在相同的摩擦磨损试验条件下,测量了摩擦因数和磨损量,研究表明,和未注入Ta、C单离子注入相比,Ta、C离子双注入提高了H13钢的耐磨性并大幅度降低了其表面的摩擦因数。双注入区出现的弥散TaC相是耐磨性提高、摩擦因数降低的主要原因。在试验条件下,对H13钢单注入Ta时未发现TaC的形成。 展开更多

关键词 钽 双注入 金属蒸汽真空弧离子源

下载PDF 职称材料

3Cr2W8V钢的钽、碳离子束材料改性 被引量：2

6

作者 杨建华 张通和 《材料热处理学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第4期54-56,共3页

采用由金属蒸汽真空弧离子源引出的强束流钽、碳离子对 3Cr2W8V钢进行离子注入表面改性研究。钽注入剂量为 3× 10 1 7cm- 2 ,引出电压为 42kV ,平均束流密度为 40 μA·cm- 2 。摩擦磨损试验结果表明 ,钽、碳离子双注入 3Cr2W8... 采用由金属蒸汽真空弧离子源引出的强束流钽、碳离子对 3Cr2W8V钢进行离子注入表面改性研究。钽注入剂量为 3× 10 1 7cm- 2 ,引出电压为 42kV ,平均束流密度为 40 μA·cm- 2 。摩擦磨损试验结果表明 ,钽、碳离子双注入 3Cr2W8V钢能使其耐磨性提高 2 5倍 ,并可大幅度降低其摩擦系数。利用卢瑟福背散射谱 (RBS)测量了离子注入表面的成分 ,借助X射线衍射 (XRD)仪考察了表层的相结构。 展开更多

关键词 3CR2W8V钢 钽 碳离子束 材料 改性 离子注入材料 金属蒸汽真空弧离子源 热挤压 模具

下载PDF 职称材料

加速器具有广阔应用前景

7

作者 柳百新 《国际学术动态》 1999年第5期47-47,60,共2页

笔者参加了1998年11月4～7日在美国德州Denton市的北德州大学举行的第15届加速器在研究和工业中的应用国际会议,并在离子注入分会上作了题为"强流金属离子注入合成导电性金属硅化物"的邀请报告。众所周知,1985年美国学者,加... 笔者参加了1998年11月4～7日在美国德州Denton市的北德州大学举行的第15届加速器在研究和工业中的应用国际会议,并在离子注入分会上作了题为"强流金属离子注入合成导电性金属硅化物"的邀请报告。众所周知,1985年美国学者,加州大学的Prof.I.Brown发明了金属蒸汽真空弧离子源(简称MEVVA源)。它能提供几乎所有的金属离子, 展开更多

关键词 加速器 国际会议 金属硅化物 金属蒸汽真空弧离子源 金属离子注入 离子束 导电性 合成 加州大学 材料改性

下载PDF 职称材料

碳化钨-钴合金表面钽离子注入的研究

8

作者 宋俊 李聪 《电镀与涂饰》 CAS CSCD 北大核心 2019年第19期1029-1034,共6页

在真空和通入氮气两种气氛下,通过MEVVA(金属蒸汽真空弧)源离子注入,在WC–Co合金(YG8)表面制备了钽涂层.分别利用光学显微镜、X射线衍射仪(XRD)和电化学极化曲线测量技术对其表面形貌、相结构和耐蚀性进行了表征.结果发现:钽离子注入&q... 在真空和通入氮气两种气氛下,通过MEVVA(金属蒸汽真空弧)源离子注入,在WC–Co合金(YG8)表面制备了钽涂层.分别利用光学显微镜、X射线衍射仪(XRD)和电化学极化曲线测量技术对其表面形貌、相结构和耐蚀性进行了表征.结果发现:钽离子注入"修复"了基体表面的缺陷,使其变得平整光滑.在氮气气氛下进行离子注入,除了生成Ta2O5、Ta1.1O1.05和一些碳化物外,还有TaN0.43和W3N4两种氮化物新相.钽离子注入后,YG8合金在3.5%NaCl溶液中的腐蚀速率大幅降低,但随着钽离子注入剂量增大,耐蚀性下降.相比于真空注入环境,氮气氛围下Ta离子注入所得涂层的耐蚀性更好. 展开更多

关键词 碳化钨-钴硬质合金 金属蒸汽真空弧源 钽 离子注入 氮气 相结构 耐蚀性

下载PDF 职称材料

多元注入硬质合金的X射线光电子能谱分析

9

作者 王世兴 何伟坚 +1 位作者 黄建军 苏红 《南开大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2019年第1期10-14,共5页

硬质合金以其优良的物理机械性能而广泛应用于工程领域,其性能不仅取决于组成各相的结构,也取决于其表面的状态.应用金属蒸汽真空弧离子源,对硬质合金进行了C、Cr、V多元离子注入处理,并进行了X射线光电子能谱检测,结果显示了各注入元... 硬质合金以其优良的物理机械性能而广泛应用于工程领域,其性能不仅取决于组成各相的结构,也取决于其表面的状态.应用金属蒸汽真空弧离子源,对硬质合金进行了C、Cr、V多元离子注入处理,并进行了X射线光电子能谱检测,结果显示了各注入元素的存在状态以及与周围其他元素的结合状态,并由此进一步分析了对硬质合金性能的影响,对硬质合金实施了进一步表面改性,并提供了相关理论和实验支持. 展开更多

关键词 多离子注入 金属蒸汽真空弧离子源 硬质合金

原文传递

强流金属蒸汽真空弧离子注入机通过省级产品质量监督检验

10

作者 周宗仁 《真空》 CAS 北大核心 2004年第5期58-58,共1页

关键词 质量监督检验 强流 金属蒸汽真空弧 离子注入机

下载PDF 职称材料

北师大——北中医国家大学科技园

11

《深圳特区科技》 2004年第10期238-238,共1页

聚烯烃粘结性能的表面改性新技术。

关键词 北京师范大学 中医 科技园 聚烯烃塑料 粘结性能 表面改性技术 金属蒸汽真空弧离子源

原文传递