基于倒金字塔减反射结构的多晶黑硅及其高效太阳电池 被引量：8

1

作者 沈鸿烈 蒋晔 《南京航空航天大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第5期744-752,共9页

采用酸体系的纳米重构(Nano structure rebuilding,NSR)溶液对黑硅纳米结构进行重构,得到不同尺寸的倒金字塔减反射微结构,实现了低成本纳米减反射微结构多晶黑硅(Multicrystalline-black silicon,mc-bSi)太阳电池的量产。先用Ag金属催... 采用酸体系的纳米重构(Nano structure rebuilding,NSR)溶液对黑硅纳米结构进行重构,得到不同尺寸的倒金字塔减反射微结构,实现了低成本纳米减反射微结构多晶黑硅(Multicrystalline-black silicon,mc-bSi)太阳电池的量产。先用Ag金属催化腐蚀(Metal assisted chemical etching,MACE)对砂浆切割(Multi wire slurry sawn,MWSS)多晶硅片(Multicrystalline silicon,mc-Si)进行了研究,发现倒金字塔结构的面夹角均为54.7°,且500nm尺寸大小的倒金字塔结构黑硅太阳电池的转换效率达到了18.62%,电池的表面反射率降低至3.29%。研究了Ag/Cu双原子催化腐蚀法对金刚线切割(Diamond wire sawn,DWS)多晶硅片的制绒效果,发现多晶硅片表面金刚线切割痕几乎消失不见,采用倒金字塔尺寸为600nm的DWS片样品制备出了性能最佳的太阳电池,其开路电压Voc为640mV,短路电流密度Jsc为37.35A/cm2,填充因子FF为79.91%,最高效率为19.10%,高于同结构的MWSS多晶黑硅太阳电池。 展开更多

关键词 多晶硅 黑硅 倒金字塔 金刚线切割 太阳电池

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金属铜辅助化学刻蚀对金刚线切割多晶硅的制绒 被引量：6

2

作者 邹宇新 席风硕 +3 位作者 邱佳佳 杨玺 李绍元 马文会 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第6期59-66,共8页

针对金刚线切割多晶硅制绒后硅片反射率偏高且切割纹难以去除等问题,采用酸性湿法刻蚀预处理再结合低成本的金属铜辅助化学刻蚀成功的实现了金刚线切割多晶硅片表面制绒。研究结果表明,随着酸腐蚀时间的增加,金刚线切割多晶硅片表面切... 针对金刚线切割多晶硅制绒后硅片反射率偏高且切割纹难以去除等问题,采用酸性湿法刻蚀预处理再结合低成本的金属铜辅助化学刻蚀成功的实现了金刚线切割多晶硅片表面制绒。研究结果表明,随着酸腐蚀时间的增加,金刚线切割多晶硅片表面切割纹、粗糙度得到有效改善。倒金字塔结构的引入能够有效地降低硅片表面的反射率。当酸洗预处理时间为5 min,金属铜辅助化学刻蚀时间为15 min时,样品表面倒金字塔结构最均匀,且在300~1 100 nm波长范围内,获得最低平均反射率3.32%。同时优越的减反效果和去除切割纹能力,使得制绒后金刚线切割多晶硅片有望实现高效率的太阳能电池。 展开更多

关键词 金刚线切割 多晶硅 切割纹 铜辅助刻蚀 倒金字塔 反射率

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NdFeB薄片的超声辅助水基切割的材料去除机理研究 被引量：2

3

作者 徐志红 冯俊元 +7 位作者 张振宇 周淳琛 吕春哲 王明 张天宇 吴斌 万省作 王泽云 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第2期317-327,共11页

目的通常采用金刚线切割工艺批量生产NdFeB薄片,其表面粗糙度及表面线痕问题十分严重,提出超声水基切割液的金刚线切割新方法,以消除NdFeB薄片切割中的线痕,降低其表面粗糙度,并对超声辅助条件下的材料去除机理进行研究。方法通过白光... 目的通常采用金刚线切割工艺批量生产NdFeB薄片,其表面粗糙度及表面线痕问题十分严重,提出超声水基切割液的金刚线切割新方法,以消除NdFeB薄片切割中的线痕,降低其表面粗糙度,并对超声辅助条件下的材料去除机理进行研究。方法通过白光干涉仪和光学显微镜对样品表面形貌进行观察,通过激光位移传感器检测并分析了金刚线在各处的横向位移,分析其对切割表面线痕形成的影响因素。通过线激光测量方法量取超声辅助和纯水切2种条件下的线弓偏移,并分析线弓的形成机理,研究材料去除形式、排屑润滑之间的关系。综合分析线弓形成机制、线痕形成机制及表面形貌形成机制,揭示材料的去除机理。结果实验结果表明,在进给速度0.2 mm/min下,可将水切的表面粗糙度Ra控制在0.4μm以下,仅为油切的一半,而在超声辅助下的峰谷值(PV)仅为油切下的二分之一。在相同进给速度下超声辅助切割的线弓变形与水切的差值先增大后减小,在进给速度0.2 mm/min下达到0.5 mm。结论水基切削液比油基切削液具有更好的排屑性能,能够有效降低切割表面的粗糙度,而在超声辅助下使金刚线在NdFeB表面进行微磨削,有效地消除了样品表面的线痕,超声辅助水基切割对NdFeB切割的表面质量具有很大的改善作用。 展开更多

关键词 钕铁硼 金刚线切割 超声辅助 材料去除 表面形成

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金刚线切割多晶硅片表面酸制绒效果研究 被引量：6

4

作者 陈春明 沈鸿烈 +3 位作者 李琰琪 王明明 顾浩 任学明 《半导体光电》 CAS 北大核心 2019年第2期215-219,225,共6页

为了探索金刚线切割多晶硅片的表面制绒新技术,采用常规酸制绒、添加剂酸制绒和酸蒸气制绒三种方法对金刚线切割多晶硅片表面进行制绒处理,并用扫描电镜和光谱仪分析了三种制绒方法处理后多晶硅片的表面形貌和反射率比变化。结果表明,... 为了探索金刚线切割多晶硅片的表面制绒新技术,采用常规酸制绒、添加剂酸制绒和酸蒸气制绒三种方法对金刚线切割多晶硅片表面进行制绒处理,并用扫描电镜和光谱仪分析了三种制绒方法处理后多晶硅片的表面形貌和反射率比变化。结果表明,酸蒸气制绒能够更加有效地去除线锯切割产生的平行纹,降低表面反射率。通过调节蒸气源蒸发的温度,可以有效改善多晶硅的表面形貌,大幅降低入射光在多晶硅表面的反射率,300～1 100nm波长范围内多晶硅样品的最低平均反射率达11.6%,有望用于制作高效多晶硅太阳电池。 展开更多

关键词 金刚线切割 多晶硅 蒸气刻蚀 制绒 反射率

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硅片切割线痕对太阳电池电性能影响的研究

5

作者 张志敏 王松 +2 位作者 刘苗 王贵梅 翟超 《太阳能》 2024年第2期29-37,共9页

金刚线切割是目前光伏行业主要的单晶硅片切割方式,但硅片被切割后其表面会留有线痕。首先对切割线痕在硅片表面的分布状态及线痕形貌在硅片碱制绒前后的变化进行了量化分析,然后针对硅片表面不同线痕深度对太阳电池电性能及良率的影响... 金刚线切割是目前光伏行业主要的单晶硅片切割方式,但硅片被切割后其表面会留有线痕。首先对切割线痕在硅片表面的分布状态及线痕形貌在硅片碱制绒前后的变化进行了量化分析,然后针对硅片表面不同线痕深度对太阳电池电性能及良率的影响进行了研究,最后在硅片线痕深度小于等于15μm的基础上,分析了硅片线痕对细栅的影响机理。得到以下结论:1)金刚线切割的硅片存在多种状态的线痕,碱制绒只是在微观层面形成了金字塔结构,但并不能改变线痕宏观层面的轮廓曲线。2)切割线痕会造成硅片表面形成V形沟壑,且当细栅与沟壑垂直时,会对丝网印刷时栅线的连续性造成一定影响。3)对于线痕深度为10~15μm的硅片,采用细栅垂直于线痕的丝网印刷方式时,太阳电池出现了严重的EL断栅及发黑现象,并且影响到其电性能;而采用细栅平行于线痕的丝网印刷方式时,降低了EL断栅概率,并且太阳电池电性能基本不受影响,但存在一定概率的局部印刷粗细不均的情况。该研究对提升太阳电池光电转换效率和良率有积极的参考价值。 展开更多

关键词 太阳电池 金刚线切割 线痕 单晶硅片 EL断栅

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单面抛光在PERC电池中应用的研究 被引量：6

6

作者 赵保星 赵增超 +1 位作者 杨一鸣 谢湘洲 《太阳能》 2017年第6期23-26,共4页

研究一种实现背面抛光的方法,在制绒工序中以氮化硅为掩膜,对金刚线切割单晶硅片进行单面制绒,该掩膜在制绒工序中被HF酸去除。未制绒面作为背钝化电池背抛光面,在低刻蚀量条件下获得了微纳尺度平整的背表面,结果表明:该工艺方法将PERC... 研究一种实现背面抛光的方法,在制绒工序中以氮化硅为掩膜,对金刚线切割单晶硅片进行单面制绒,该掩膜在制绒工序中被HF酸去除。未制绒面作为背钝化电池背抛光面,在低刻蚀量条件下获得了微纳尺度平整的背表面,结果表明:该工艺方法将PERC电池双面钝化后少子寿命由109μs提升至230μs,开路电压由651.8 mV提升至661.0 mV,电池转换效率由20.32%提升至20.81%。 展开更多

关键词 PERC电池 背面抛光 掩膜 金刚线切割

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线锯切片技术及其在碳化硅晶圆加工中的应用 被引量：1

7

作者 张俊然 朱如忠 +6 位作者 张玺 张序清 高煜 陆赟豪 皮孝东 杨德仁 王蓉 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2023年第3期365-379,共15页

作为制备半导体晶圆的重要工序,线锯切片对半导体晶圆的质量具有至关重要的影响。本文以发展最成熟的硅材料为例,介绍了线锯切片技术的基本理论,特别介绍了线锯切片技术的力学模型和材料去除机理,并讨论了线锯制造技术及切片工艺对材料... 作为制备半导体晶圆的重要工序,线锯切片对半导体晶圆的质量具有至关重要的影响。本文以发展最成熟的硅材料为例,介绍了线锯切片技术的基本理论,特别介绍了线锯切片技术的力学模型和材料去除机理,并讨论了线锯制造技术及切片工艺对材料的影响。在此基础上,综述了线锯切片技术在碳化硅晶圆加工中的应用和技术进展,并分析了线锯切片技术对碳化硅晶体表面质量和损伤层的影响。最后,本文指出了线锯切片技术在碳化硅晶圆加工领域面临的挑战与未来的发展方向。 展开更多

关键词 线锯切片 硬脆材料 单晶碳化硅 晶圆加工 砂浆线切割 金刚线切割

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基于多晶硅金刚线切割工艺的光伏生命周期分析 被引量：3

8

作者 李兴盛 胡向然 +2 位作者 郑淞生 李钷 王兆林 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第3期147-151,共5页

金刚线切割工艺已经成为当今光伏产业硅片生产的主流技术。该文采用生命周期分析方法,以1kW多晶硅太阳电池光伏发电系统为模型,研究使用金刚线切割工艺替代原来的砂浆切割技术后,这一技术更新所带来的光伏产品的能耗和碳排放量的降低效... 金刚线切割工艺已经成为当今光伏产业硅片生产的主流技术。该文采用生命周期分析方法,以1kW多晶硅太阳电池光伏发电系统为模型,研究使用金刚线切割工艺替代原来的砂浆切割技术后,这一技术更新所带来的光伏产品的能耗和碳排放量的降低效应。计算表明:应用金刚线切割工艺的光伏系统生命周期碳排放为1358.53 kg/kW,金刚线切割工艺较砂浆切割工艺减少碳排放290.83 kg/kW,相当于砂浆切割工艺总碳排的17.6%,减少了电力消耗和资源耗费。以年日照时数1800 h/a计算,基于金刚线切割技术的光伏系统全生命周期碳排放回收期可缩短至1.62 a。 展开更多

关键词 光伏 生命周期分析 多晶硅 太阳电池 金刚线切割 碳排放

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基于神经网络的金刚线硅片工艺优化研究 被引量：2

9

作者 李宁 谷书辉 +1 位作者 陈秋颖 任丙彦 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第9期2381-2386,共6页

使用Tensorflow对金刚线切割过程深度学习，通过对500组样本的训练和预测，得到金刚线切割的神经网络模型。高进给速度（〉1．4mm／min）和高线速（〉1400mm／min）可发挥高颗粒密度（〉100cm^-1）的优势，在提高切割效率的同时获得较... 使用Tensorflow对金刚线切割过程深度学习，通过对500组样本的训练和预测，得到金刚线切割的神经网络模型。高进给速度（〉1．4mm／min）和高线速（〉1400mm／min）可发挥高颗粒密度（〉100cm^-1）的优势，在提高切割效率的同时获得较低的总厚度变化（total thickness variation，TTV）。在切割过程中，高颗粒密度的钢线耐磨损能力强，有更大的工艺窗口。将神经网络技术应用到工艺优化方面可直观找到调整参数与实验结果的量化关系，为优化工艺提供一种简便高效的方法。 展开更多

关键词 硅片 人工神经网络 工艺优化 金刚线切割

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多线切割设备改造及关键参数优化 被引量：1

10

作者 赵华东 安宁 +1 位作者 田增国 李欣鸽 《机械设计与制造》 北大核心 2022年第9期121-125,131,共6页

硅片多线切割是硅片生产中一个重要环节,传统的多线切割设备是采用游离砂浆式切割,这种切割方式效率低、成本高。而用于光伏行业的金刚线切割方式出片率高,绿色环保。但由于集成电路行业对硅片质量要求高,且金刚石切割设备价格昂贵,故... 硅片多线切割是硅片生产中一个重要环节,传统的多线切割设备是采用游离砂浆式切割,这种切割方式效率低、成本高。而用于光伏行业的金刚线切割方式出片率高,绿色环保。但由于集成电路行业对硅片质量要求高,且金刚石切割设备价格昂贵,故还未广泛使用。因此,将砂浆切割设备改造成金刚石多线切割设备,并运用数据挖掘方法对切割过程数据进行分析,预测切割质量,反馈、优化关键参数。实验结果表明,改造金刚线设备切割的硅片TTV、Warp、Bow均优于传统砂浆切割。通过设备改造和参数优化,能更好地提高生产效率,保证生产质量,对硅片金刚线切割设备国产化具有重要的指导意义。 展开更多

关键词 金刚线切割 设备改造 神经网络 质量预测 参数优化

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多晶硅表面金属催化化学腐蚀法制绒研究现状 被引量：1

11

作者 武晓玮 李佳艳 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2021年第6期570-578,共9页

在多晶硅太阳能电池的生产过程中,金刚线切割(Diamond wire sawing,DWS)技术具有切割速度快、精度高、原材料损耗少等优点,受到了广泛关注。金刚线切割多晶硅表面形成的损伤层较浅,与传统的酸腐蚀制绒技术无法匹配,金属催化化学腐蚀法... 在多晶硅太阳能电池的生产过程中,金刚线切割(Diamond wire sawing,DWS)技术具有切割速度快、精度高、原材料损耗少等优点,受到了广泛关注。金刚线切割多晶硅表面形成的损伤层较浅,与传统的酸腐蚀制绒技术无法匹配,金属催化化学腐蚀法应运而生。金属催化化学腐蚀法制绒具有操作简单、结构可控且易形成高深宽比的绒面等优点,具有广阔的应用前景。本文总结了不同类型的金属催化剂在制绒过程中的腐蚀机理及其形成的绒面结构,深入分析和讨论了具有代表性的银、铜的单一及复合催化腐蚀过程及绒面结构和电池片性能。最后对金刚线切割多晶硅片表面的金属催化化学腐蚀法存在的问题进行了分析,并展望了未来的研究方向。 展开更多

关键词 金刚线切割 多晶硅 金属催化化学腐蚀法 制绒 综述

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金刚线切割多晶硅片预处理对太阳电池电性能的影响研究 被引量：1

12

作者 闫会珍 王少丽 +2 位作者 陈素素 许志卫 严金梅 《太阳能》 2021年第8期51-55,共5页

目前,在太阳电池生产过程中多采用酸性混合溶液HF-HNO_(3)-H_(2)O对硅片表面进行织构化处理,即进行制绒处理,以降低硅片表面的反射率,进而提高太阳电池的光电转换效率。对基于金刚线切割的多晶硅片进行预处理,并研究预处理对太阳电池电... 目前,在太阳电池生产过程中多采用酸性混合溶液HF-HNO_(3)-H_(2)O对硅片表面进行织构化处理,即进行制绒处理,以降低硅片表面的反射率,进而提高太阳电池的光电转换效率。对基于金刚线切割的多晶硅片进行预处理,并研究预处理对太阳电池电性能的影响。首先在硅片制绒前先对其表面进行喷砂处理(即预处理),使其表面形貌的微观结构发生变化,进而在制绒处理时得到更优的绒面结构,同时调节与太阳电池制备过程匹配的工艺参数。实验结果证实,在制绒前对金刚线切割多晶硅片进行预处理可以使太阳电池的光电转换效率得到一定提升。 展开更多

关键词 多晶硅 预处理 酸制绒 金刚线切割 太阳电池 光电转换效率 效率提升

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金刚线切割多晶硅制绒研究进展 被引量：1

13

作者 李绍元 洪世豪 +1 位作者 杨玺 邹宇新 《昆明理工大学学报（自然科学版）》 CAS 北大核心 2018年第6期1-11,共11页

金刚线切割是一种高效率、低成本的硅片切割技术,然而与传统酸法(HF/HNO3)制绒工艺不兼容的问题极大地阻碍了其在多晶硅片切割领域的大规模化应用.研究新一代高效率、低成本的金刚线切割多晶硅制绒技术对太阳能电池提效降本具有重要意义... 金刚线切割是一种高效率、低成本的硅片切割技术,然而与传统酸法(HF/HNO3)制绒工艺不兼容的问题极大地阻碍了其在多晶硅片切割领域的大规模化应用.研究新一代高效率、低成本的金刚线切割多晶硅制绒技术对太阳能电池提效降本具有重要意义.本文较为全面地综述了金刚线切割技术的运用现状和问题,对当前较为主流的几种制绒技术(直接制绒技术、气相刻蚀法、反应离子刻蚀和金属辅助化学刻蚀)从制绒原理、技术特点和各自的研究和应用现状等方面进行对比分析.相比较而言,金属铜辅助化学刻蚀技术具有刻蚀效率高、操作简单,且能在硅表面形成均匀的倒金字塔黑硅绒面等优势,而有望成为金刚线切割多晶硅制绒技术的新方法. 展开更多

关键词 金刚线切割 多晶硅制绒 黑硅技术 倒金字塔结构

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全球光伏将迎黄金期 中国企业或成最大赢家 被引量：1

14

作者 于南 《能源研究与利用》 2019年第4期4-5,共2页

根据国家能源局日前公布的数据,今年一季度,我国新增光伏装机5.2 GW(519.7万kW)。受到有关2019年光伏建设安排的政策'比往年来得晚一些'的影响,这一数字比2018年同期的9.65 GW下降不少。尽管如此,对比一季度新增装机4.78 GW的... 根据国家能源局日前公布的数据,今年一季度,我国新增光伏装机5.2 GW(519.7万kW)。受到有关2019年光伏建设安排的政策'比往年来得晚一些'的影响,这一数字比2018年同期的9.65 GW下降不少。尽管如此,对比一季度新增装机4.78 GW的风电、新增装机97万kW的生物质发电,光伏仍然是我国可再生能源利用的先锋。 展开更多

关键词 平价上网 平均转换效率 光伏市场 光伏企业 金刚线切割 新增装机容量 同比增长 光伏产品 光伏行业 电池技术

原文传递

2018年中国光伏技术发展报告(7)

15

作者 无 《太阳能》 2019年第10期21-28,共8页

随着湿法黑硅技术的进步和产能放大,其设备成本会持续降低,电池效率增益的优势也会逐渐体现,在2018年湿法黑硅有可能实现大规模应用。1)金刚线切割多晶硅片的添加剂制绒方法(有机催化剂OCT)。多晶硅片的织构化技术通常使用“HF+HNO3+DI... 随着湿法黑硅技术的进步和产能放大,其设备成本会持续降低,电池效率增益的优势也会逐渐体现,在2018年湿法黑硅有可能实现大规模应用。1)金刚线切割多晶硅片的添加剂制绒方法(有机催化剂OCT)。多晶硅片的织构化技术通常使用“HF+HNO3+DIW”的腐蚀体系,该体系的腐蚀需要将硅片表面的切割损伤缺陷作为腐蚀起始的催化点。 展开更多

关键词 多晶硅片 黑硅 电池效率 设备成本 有机催化剂 光伏技术 腐蚀体系 金刚线切割

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金刚线切割单晶片纳米金属铜催化可控制绒研究

16

作者 盛贵章 杨玺 +4 位作者 耿超 席风硕 何祖东 李绍元 马文会 《昆明理工大学学报（自然科学版）》 CAS 北大核心 2018年第3期6-11,共6页

金属催化刻蚀制绒方法(MCCE)有望突破金刚线切割硅片表面高效制绒所面临挑战而备受关注.针对传统金属催化刻蚀过程中使用贵金属(Ag、Au、Pt等)作为催化剂成本较高的问题,本文采用廉价金属铜作为催化剂,进行金刚线切割单晶硅片的可控制... 金属催化刻蚀制绒方法(MCCE)有望突破金刚线切割硅片表面高效制绒所面临挑战而备受关注.针对传统金属催化刻蚀过程中使用贵金属(Ag、Au、Pt等)作为催化剂成本较高的问题,本文采用廉价金属铜作为催化剂,进行金刚线切割单晶硅片的可控制绒研究.选取HF-HNO_3、HF-FeCl_3-Cu(NO_3)_2、HF-H_2O_2-Cu(NO_3)_2三种刻蚀体系对硅片进行刻蚀处理.研究结果表明,常规HF-HNO_3酸刻蚀体系未能有效去除线痕且陷光性能不佳;而铜铁催化刻蚀体系虽解决线痕问题,但其仍具有高反射率;铜催化辅助刻蚀体系引入的倒金字塔结构能够有效地解决线痕非均匀性问题,且在400~1 000 nm的波长范围内,获得最低平均反射率4.46%.论文提出的金属铜催化可控制绒方法在保证成本较低的同时能够获得良好的制绒效果,表现出较好的产业化前景. 展开更多

关键词 金刚线切割 单晶硅 可控制绒 倒金字塔结构 反射率

原文传递

PV800金刚线设备改造可行性的研究

17

作者 赵亮 姜君 《化工管理》 2015年第35期13-14,共2页

金刚石线切割的发展趋势越来越快,国内众多切片企业纷纷转型,NTC-PV800作为传统切片机型之一,要想使用金刚石线切割,设备改造是必经之路~[1]。在本文中,通过改造原有的传统砂浆切割机型NTC-PV800来实现金刚石线锯技术的推广,阐述改造的... 金刚石线切割的发展趋势越来越快,国内众多切片企业纷纷转型,NTC-PV800作为传统切片机型之一,要想使用金刚石线切割,设备改造是必经之路~[1]。在本文中,通过改造原有的传统砂浆切割机型NTC-PV800来实现金刚石线锯技术的推广,阐述改造的可行性与改造提升,并通过成品率和产能提升的对比,证实传统砂浆切割机型NTC-PV800设备的改造成功。 展开更多

关键词 金刚线切割 设备改造

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DW技术全面替换传统砂浆切割工艺研究和展望 被引量：6

18

作者 赵雷 吴学宾 《电子工业专用设备》 2018年第3期13-19,共7页

DW技术(Diamond Wire,金刚线切割技术)是一种新兴的、高效率的硅片生产技术,通过对传统砂浆切割技术与新兴DW切割技术的切削微观原理的对比分析以及两种切割技术下硅片的表面质量差异、成本差异、效率差异等分析,判断今后几年硅片生产... DW技术(Diamond Wire,金刚线切割技术)是一种新兴的、高效率的硅片生产技术,通过对传统砂浆切割技术与新兴DW切割技术的切削微观原理的对比分析以及两种切割技术下硅片的表面质量差异、成本差异、效率差异等分析,判断今后几年硅片生产的主流切片技术方向,明确了DW技术优势及发展前景。 展开更多

关键词 金刚线切割技术 摩擦学 制绒 细线化 出片率

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金刚线切割硅片废料制备高模数硅酸钾的研究

19

作者 张奶玲 《广州化工》 CAS 2024年第8期173-175,193,共4页

近年来,我国光伏能源飞速发展,对晶体硅片的需求量逐年大幅增加。但在生产太阳能硅片过程中,会产生大量的切割废料,有效地回收利用该废料已成为亟待解决的问题。本研究以金刚线切割硅片废料为原料,考察不同反应条件对制备4.8模数硅酸钾... 近年来,我国光伏能源飞速发展,对晶体硅片的需求量逐年大幅增加。但在生产太阳能硅片过程中,会产生大量的切割废料,有效地回收利用该废料已成为亟待解决的问题。本研究以金刚线切割硅片废料为原料,考察不同反应条件对制备4.8模数硅酸钾的影响。试验确定最佳的反应条件为:采用分批缓慢将前处理后的回收硅粉加入到预热好的碱液中反应的加料方式,控制反应温度为50~60℃,反应时间为4~5 h。区别于传统的硅酸钾生产方法,本方法在常压下,即可生产出模数高达4.8、稳定性良好的无色透明硅酸钾,为金刚线切割硅片废料的回收利用,提供了一个新的处理方法。 展开更多

关键词 高模数硅酸钾 硅酸钾 金刚线切割硅片废料 回收硅粉 回收利用技术

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晶体硅金刚线切割废料制备高纯氮化硅 被引量：5

20

作者 金星 孔剑 +2 位作者 王敬强 邢鹏飞 高波 《应用化学》 CAS CSCD 北大核心 2018年第11期1364-1371,共8页

以晶体硅金刚线切割废料为原料,通过氮化反应制得氮化硅,既回收了金刚线切割废料,又解决了环境污染的问题。通过X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和X射线能量色谱仪(EDS)等技术手段研究了原料经HCl和HF酸洗净化后制备氮化产物的... 以晶体硅金刚线切割废料为原料,通过氮化反应制得氮化硅,既回收了金刚线切割废料,又解决了环境污染的问题。通过X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和X射线能量色谱仪(EDS)等技术手段研究了原料经HCl和HF酸洗净化后制备氮化产物的物相组成、组分质量分数和微观形貌的影响。结果表明,HCl酸洗后切割废料制备的氮化产物中主要物相为Si_2N_2O和Si_3N_4,而HF酸洗后切割废料制备的氮化产物中主要物相为Si_3N_4。氮化产物中Si_2N_2O的形成与切割废料中SiO_2的质量分数有关,降低原料中SiO_2的质量分数是切割废料经过高温氮化制得氮化硅的前提。 展开更多

关键词 金刚线切割废料 酸洗除杂 氮化硅 回收利用

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