大型光学零件金刚石车床 被引量：2

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作者 杨福兴 袁哲俊 《机械工艺师》 CSCD 北大核心 2001年第3期38-40,共3页

介绍美国ＬＯＤＴＭ（Ｌａｒｇｅ　ＯｐｔｉｃｓＤｉａｍｏｎｄＴｕｒｎｉｎｇＭａｃｈｉｎｅ）——大型光学零件金刚石车床的基本结构，重点介绍机床的主要关键技术——测量技术、关键元部件技术、数控技术。

关键词 金刚石车床 LODTM 光学零件

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液体静压导轨油膜结合面误差对导轨几何误差的影响机制 被引量：3

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作者 张云 曹聪 +1 位作者 姜忠 王立平 《清华大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第1期52-61,共10页

液体静压导轨是超精密车床的主要核心部件,其几何误差对超精密车床的加工精度起着至关重要的作用。制造装配误差以及变形误差是影响液体静压导轨几何误差的主要因素。为了提高液体静压导轨几何误差和精度保持性,该文建立液体静压导轨流... 液体静压导轨是超精密车床的主要核心部件,其几何误差对超精密车床的加工精度起着至关重要的作用。制造装配误差以及变形误差是影响液体静压导轨几何误差的主要因素。为了提高液体静压导轨几何误差和精度保持性,该文建立液体静压导轨流固耦合仿真模型和螺栓预紧力学模型,分别讨论油压等因素作用下的静压导轨变形和螺栓预紧变形规律,提出表征制造装配误差的数学模型,建立油膜均化作用下的变形误差传递模型,分析导轨压板油膜结合面误差(即压力油膜所支承的结构表面误差)对工作台几何误差的影响机制。研究表明:液体静压导轨压力油膜的误差均化作用使得其几何误差远低于自身零部件面形误差,但压力油膜并不能完全均化油膜结合面上的误差;结合面误差增加的同时,其油膜均化能力逐渐减弱;此外,液体静压导轨直线度误差对油膜结合面误差幅值更为敏感,而角度误差受结合面误差函数的波长和相位差的影响更为明显。实验测量的导轨几何误差与模型预测结果一致。该研究为超精密车床的液体静压导轨制造、装备工艺提供了有益参考。 展开更多

关键词 金刚石车床 液体静压导轨 结合面误差 油膜均化作用 几何误差

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触发式测头在机标定方法研究

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作者 李禾 贺永海 +1 位作者 袭萌萌 刘海波 《组合机床与自动化加工技术》 北大核心 2024年第1期34-36,42,共4页

触发式测头是触发式在机测量系统的重要组成部分,对测头进行有效标定可以提高在机测量精度。触发式测头在机标定包括测头预行程误差标定和测头空间位置标定,为剥离测量系统空间误差,基于齐次坐标变换建立测量系统空间误差模型,在此基础... 触发式测头是触发式在机测量系统的重要组成部分,对测头进行有效标定可以提高在机测量精度。触发式测头在机标定包括测头预行程误差标定和测头空间位置标定,为剥离测量系统空间误差,基于齐次坐标变换建立测量系统空间误差模型,在此基础上提出了利用标准球进行标定的触发式测头预行程误差标定方法和测头空间位置标定方法。对基于金刚石车床的触发式在机测量系统进行测头标定,利用在机测量系统对平面、柱面与球面特征进行在机测量,测量结果验证了标定方法的有效性。 展开更多

关键词 金刚石车床 在机测量 触发式测头 标定方法

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用于制造非对称非球面反射镜的精密金刚石车削机床的研制

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作者 徐长林 《光机情报》 1989年第7期34-39,共6页

关键词 精密车床 金刚石车床 反射镜 制造

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金刚石车床上带固态执行器的微定位装置——一个初步实验

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作者 J.C.Campos Rubio J.G.Duduch +1 位作者 A.Viera Porto 吴书友 《国防科技参考》 1997年第3期51-53,,18,,共4页

在超精密设计中,很可能没有可供选择的设计方案。在超精细进给情况下,压电执行器是一种潜在选择。目前,欧洲和日本刀具制造商为此正致力于磁致伸缩执行器的研究。压电材料和磁致伸缩材料都存在磁滞型非线性,以致这些系统的输出依赖于以... 在超精密设计中,很可能没有可供选择的设计方案。在超精细进给情况下,压电执行器是一种潜在选择。目前,欧洲和日本刀具制造商为此正致力于磁致伸缩执行器的研究。压电材料和磁致伸缩材料都存在磁滞型非线性,以致这些系统的输出依赖于以前的输入,绝对定位仅通过反馈控制才能得到。本文采用模拟技术对脆性材料的超精密加工中(微米级)刀架定位的几种现代控制技术作了一番比较。 展开更多

关键词 刀具 金刚石车床 固态执行器 微定位装置

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CYLINDRICITY　ERROR　COMPENSATION　IN　DIAMOND　TURNING　VIA　P－INTEGRATOR　REPETITIVE　CONTROL

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作者 李圣怡 C.JamesLi 《国防科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第3期1-12,共12页

ＣＹＬＩＮＤＲＩＣＩＴＹＥＲＲＯＲＣＯＭＰＥＮＳＡＴＩＯＮＩＮＤＩＡＭＯＮＤＴＵＲＮＩＮＧＶＩＡＰ－ＩＮＴＥＧＲＡＴＯＲＲＥＰＥＴＩＴＩＶＥＣＯＮＴＲＯＬＬｉＳｈｅｎｇｙｉ（ＤｅｐａｒｔｍｅｎｔｏｆＭｅｃｈａｎｔｒｏ... ＣＹＬＩＮＤＲＩＣＩＴＹＥＲＲＯＲＣＯＭＰＥＮＳＡＴＩＯＮＩＮＤＩＡＭＯＮＤＴＵＲＮＩＮＧＶＩＡＰ－ＩＮＴＥＧＲＡＴＯＲＲＥＰＥＴＩＴＩＶＥＣＯＮＴＲＯＬＬｉＳｈｅｎｇｙｉ（ＤｅｐａｒｔｍｅｎｔｏｆＭｅｃｈａｎｔｒｏｎｉｃｓａｎｄＩｎｓｔｒｕｍｅｎｔ... 展开更多

关键词 金刚石车床 误差补偿 圆柱度 P积分重复控制

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光栅刻划机直线度误差补偿的研究 被引量：3

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作者 黄元申 董成成 +5 位作者 黄运柏 盛斌 周红艳 孙乐 杨海马 张大伟 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2017年第3期946-951,共6页

中阶梯光栅是一种特殊的衍射光栅,它以高的衍射级次和大的衍射角来工作,具有高分辨率、全波闪耀等特性。已广泛应用于高端光谱仪器之中,极大地促进了航天航空、天文、医疗、军事、环境等尖端科技的发展。但是专业的刻划系统需要定制,价... 中阶梯光栅是一种特殊的衍射光栅,它以高的衍射级次和大的衍射角来工作,具有高分辨率、全波闪耀等特性。已广泛应用于高端光谱仪器之中,极大地促进了航天航空、天文、医疗、军事、环境等尖端科技的发展。但是专业的刻划系统需要定制,价格昂贵。使用已成熟的超精密加工设备来加工中阶梯光栅,可以大大降低中阶梯光栅母版的制备成本。超精密单点金刚石车床制备中阶梯光栅时,系统直线度不好,存在较大的累积误差,导致中阶梯光栅衍射波前较差,达不到制备要求。为了减小超精密单点金刚石车床固有的直线度误差,对超精密单点金刚石车床进行了误差补偿。首先,以累积误差曲线为依据进行第一次补偿。实验结果表明,当补偿系数为0.75~0.85时,此时衍射波前的PV(峰谷值)值在约400 nm,一次直线度补偿效果到达极限。然后,以闪耀级的衍射波前曲线为依据进行第二次直线度补偿,二次补偿后的衍射波前PV值为约83 nm。补偿后的结果表明衍射波前得到大幅改善,有利于提高所制备光栅的质量,在光栅实际刻划中具有指导作用。 展开更多

关键词 中阶梯光栅 超精密单点金刚石车床 直线度 衍射波前

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三轴超精密单点金刚石车床SGDT350研制 被引量：1

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作者 阳红 刘有海 +4 位作者 张敏 陈东生 戴晓静 宋颖慧 肖虹 《组合机床与自动化加工技术》 北大核心 2020年第2期158-160,共3页

文章介绍了基于静压支承技术自主研制的三轴超精密单点金刚石车床SGDT350。机床采用模块化设计,构建了开放式控制体系,成功实现了机床的高精度运动。经实测机床主轴回转跳动≤50nm,导轨直线度允差≤0.3μm/250mm,加工φ75mm口径SR250mm... 文章介绍了基于静压支承技术自主研制的三轴超精密单点金刚石车床SGDT350。机床采用模块化设计,构建了开放式控制体系,成功实现了机床的高精度运动。经实测机床主轴回转跳动≤50nm,导轨直线度允差≤0.3μm/250mm,加工φ75mm口径SR250mm铝合金凸球面面形PV值达0.24μm,表面粗糙度Sa值达3.5nm,表明了机床具有较好的运动精度和加工性能。 展开更多

关键词 超精密 静压支承 单点金刚石车床

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菲涅尔平面镜模具的超精密加工设计及工艺 被引量：1

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作者 张学智 《金属加工（冷加工）》 2022年第2期70-73,共4页

介绍了大型菲涅尔平面镜模具的超精密加工方法、加工设备及加工工艺。突破了许多关键技术,研制出可加工直径达1900mm的菲涅尔平面镜模具的大型超精金刚石车床,并对其加工工艺进行了实践探索。采用此加工方法、加工设备及加工工艺,可满... 介绍了大型菲涅尔平面镜模具的超精密加工方法、加工设备及加工工艺。突破了许多关键技术,研制出可加工直径达1900mm的菲涅尔平面镜模具的大型超精金刚石车床,并对其加工工艺进行了实践探索。采用此加工方法、加工设备及加工工艺,可满足大型菲涅尔平面镜模具的超精密加工要求。 展开更多

关键词 菲涅尔平面镜 超精金刚石车床 气浮主轴 回转刀架 冷风干式切削

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单点金刚石车床伺服系统的优化和性能评估

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作者 金友 《光机电信息》 1999年第6期7-13,共7页

本文描述了一种新设计的快速进刀伺服系统,用于单点金刚石车床加工非旋转对称工件。将描述该系统样机,样机带有一个对典型车床刀具控制器的柔性接口,用它测试加工的倾斜平板和离轴二次截面的性能。从测试数据可以看出:该伺服系统加工的... 本文描述了一种新设计的快速进刀伺服系统,用于单点金刚石车床加工非旋转对称工件。将描述该系统样机,样机带有一个对典型车床刀具控制器的柔性接口,用它测试加工的倾斜平板和离轴二次截面的性能。从测试数据可以看出:该伺服系统加工的表面有<175(?)RMS的表面粗糙度(2～200μm空间滤波器)。还讨论了用于线性化压电致动器中迟滞效应的各种技术。用一动态补偿模块和一线性控制器组合来减少由迟滞造成的各种非线性效应。该补偿器实时地采样迟滞电压/位移瞬时相关数值,然后相应地变更有效增益进行补偿。模拟结果表明:在该系统中能补偿由迟滞效应造成的系统性能误差,使误差减少了90％.实验证实能减少80％的由迟滞效应产生的运动误差,但峰至谷(P—V)误差会受补偿器边带效应的限制.对用未经补偿的伺服系统机床加工的轴上车削高轴二次截面进行测试,得出面形误差<0.80μm(P—V)。 展开更多

关键词 单点金刚石车床 伺服系统 优化 性能评估

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基于指数分布论域模糊PID的超精密金刚石车床导轨运动控制

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作者 李兆中 岳晓斌 +1 位作者 孙守利 阳红 《制造技术与机床》 北大核心 2021年第6期99-103,共5页

针对传统PID控制难以适应超精密加工中存在多种非线性扰动的问题,通过MATLAB/Simulink仿真对比了PID参数对超精密金刚石车床导轨阶跃响应的影响规律,提出了一种模糊PID论域优化方法,并将优化后得到的指数分布论域模糊PID控制方法应用于... 针对传统PID控制难以适应超精密加工中存在多种非线性扰动的问题,通过MATLAB/Simulink仿真对比了PID参数对超精密金刚石车床导轨阶跃响应的影响规律,提出了一种模糊PID论域优化方法,并将优化后得到的指数分布论域模糊PID控制方法应用于车床导轨的控制。仿真结果表明,相比传统的定参数PID控制,指数分布论域模糊PID控制方法使系统响应速度变快,表现出更优的控制效果。 展开更多

关键词 超精密金刚石车床 液体静压导轨 响应速度 模糊控制 论域优化

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高效光学加工技术

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作者 王健 许乔 《中国工程物理研究院科技年报》 2004年第1期172-172,共1页

为验证国产大口径KDP晶体金刚石车床（图1）的加工能力，进行了多次试验。加工的φ150mm小于0．52的铝镜面已达到与俄罗斯机床同等水平。但同时进行的一轮KDP晶体车削试验，结果并不满意，其单次透射波前畸变近4λ，原因可能是KDP晶体... 为验证国产大口径KDP晶体金刚石车床（图1）的加工能力，进行了多次试验。加工的φ150mm小于0．52的铝镜面已达到与俄罗斯机床同等水平。但同时进行的一轮KDP晶体车削试验，结果并不满意，其单次透射波前畸变近4λ，原因可能是KDP晶体的装夹存在问题，导致加工效率不佳。而且加工中还产生周期性波纹，可能是由于机床压缩空气供给系统的周期性启动，造成周期性的压力波动。 展开更多

关键词 加工技术 KDP晶体 光学 空气供给系统 车削试验 金刚石车床 周期性 加工能力

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美国Moore Nanotechnology System

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《应用光学》 CAS CSCD 2008年第4期487-487,共1页

美国Moore Nanotechnology System，LLC是著名的光学超精密加工设备制造公司，其前身是Pneumo，主要产品是超精密金刚石车床和超精密确定性磨削装置。目前，能向中国出口的金刚石车床是二轴的250UPL和450UPL，及其附件（可搭成三轴或四... 美国Moore Nanotechnology System，LLC是著名的光学超精密加工设备制造公司，其前身是Pneumo，主要产品是超精密金刚石车床和超精密确定性磨削装置。目前，能向中国出口的金刚石车床是二轴的250UPL和450UPL，及其附件（可搭成三轴或四轴）。Nanotech的产品向以精密著称，加工效果好。为适应现代光学的发展，近年又推出S^3超精密慢速加工系统和快速进给系统， 展开更多

关键词 美国 超精密加工 金刚石车床 现代光学 进给系统 设备制造 磨削装置 加工效果

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电成形工艺使镍镜成本降低75％

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作者 杨英慧（摘译） 《现代材料动态》 2006年第3期12-12,共1页

美国先进光学系统公司（AOS）开发出一种电成形工艺，利用该工艺可将镍沉积到卷筒上生成镜面。成本比老工艺降低75％。该工艺受到导弹国防局二期SBIR计划的赞助。新工艺能可靠地生产高质量镜面，成本只及原有磨光法的1／4。后者是用一... 美国先进光学系统公司（AOS）开发出一种电成形工艺，利用该工艺可将镍沉积到卷筒上生成镜面。成本比老工艺降低75％。该工艺受到导弹国防局二期SBIR计划的赞助。新工艺能可靠地生产高质量镜面，成本只及原有磨光法的1／4。后者是用一台金刚石车床将平板基底削成凹形形成镜面。 展开更多

关键词 成形工艺 成本降低 镍沉积 金刚石车床 光学系统 SBIR 镜面 磨光法 卷筒 平板

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金刚石车床的技术关键

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《超硬材料工程》 CAS 2009年第4期5-5,共1页

关键词 金刚石车床 技术 运动精度 径向运动 运动平稳性 表面粗糙度 机械结构 重复精度

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