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基于码道三角波骨架提取的量子点光栅尺高精度测量方法
1
作者
吴志良
蔡念
+2 位作者
欧伟程
陈晓娜
王晗
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023年第6期261-272,共12页
为了提高量子点光栅尺的测量精度,提出了一种基于码道三角波骨架提取的位移测量方法。根据量子点光栅尺码道图案具有蜿蜒、连续的形状特点,利用不定长边缘跟踪方法快速检测出码道边缘。对码道中线进行三角波拟合得到码道骨架,提升测量...
为了提高量子点光栅尺的测量精度,提出了一种基于码道三角波骨架提取的位移测量方法。根据量子点光栅尺码道图案具有蜿蜒、连续的形状特点,利用不定长边缘跟踪方法快速检测出码道边缘。对码道中线进行三角波拟合得到码道骨架,提升测量稳定性以及位移值细分线性度。利用径向基神经网络对非线性测量误差进行补偿。所提出的测量方法比已有测量方法具有更好的测量精度和效率。
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关键词
机器视觉
量子
点
光栅尺
测量
边缘跟踪
骨架提取
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职称材料
题名
基于码道三角波骨架提取的量子点光栅尺高精度测量方法
1
作者
吴志良
蔡念
欧伟程
陈晓娜
王晗
机构
广东工业大学信息工程学院
广东工业大学机电工程学院
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023年第6期261-272,共12页
基金
国家自然科学基金(No.62171142)
广东省自然科学基金(No.2021A1515011908)
惠州市高校科研专项资金项目(No.2019HZKY003)。
文摘
为了提高量子点光栅尺的测量精度,提出了一种基于码道三角波骨架提取的位移测量方法。根据量子点光栅尺码道图案具有蜿蜒、连续的形状特点,利用不定长边缘跟踪方法快速检测出码道边缘。对码道中线进行三角波拟合得到码道骨架,提升测量稳定性以及位移值细分线性度。利用径向基神经网络对非线性测量误差进行补偿。所提出的测量方法比已有测量方法具有更好的测量精度和效率。
关键词
机器视觉
量子
点
光栅尺
测量
边缘跟踪
骨架提取
Keywords
Machine vision
Quantum dot encoder
Measurement
Boundary tracking
Skeleton extraction
分类号
TP391 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于码道三角波骨架提取的量子点光栅尺高精度测量方法
吴志良
蔡念
欧伟程
陈晓娜
王晗
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023
0
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