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气膜结构对长光栅刻制气浮平台气膜特性的影响
被引量：
3
1
作者
莫德云
马平
弓满锋
《润滑与密封》
CAS
CSCD
北大核心
2016年第3期101-106,共6页
为满足长光栅刻制气浮平台的设计要求,通过建立气浮导轨上气膜面的有限元模型,以承载能力、耗气量及流场"死区"速度作为性能指标,分析不同的节流器和均压槽形式对气浮导轨气膜特性的影响。结果表明:不同的导轨结构会造成压力...
为满足长光栅刻制气浮平台的设计要求,通过建立气浮导轨上气膜面的有限元模型,以承载能力、耗气量及流场"死区"速度作为性能指标,分析不同的节流器和均压槽形式对气浮导轨气膜特性的影响。结果表明:不同的导轨结构会造成压力场特性发生变化,进而影响气膜承载力、死区速度及耗气量;3×3节流器王字型均压槽的结构形式能有效提高承载能力,消除速度死区,且耗气量未明显增加,该结构能满足长光栅刻制对气浮平台长时间工作的要求。
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关键词
气浮平台
承载力
速度
死区
耗气量
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题名
气膜结构对长光栅刻制气浮平台气膜特性的影响
被引量：
3
1
作者
莫德云
马平
弓满锋
机构
岭南师范学院机电工程研究所
广东工业大学机电工程学院
出处
《润滑与密封》
CAS
CSCD
北大核心
2016年第3期101-106,共6页
基金
国家自然科学基金项目(50775043)
广东省自然科学基金项目(S2013010013385)
岭南师范学院校级青年基金项目(QL1403)
文摘
为满足长光栅刻制气浮平台的设计要求,通过建立气浮导轨上气膜面的有限元模型,以承载能力、耗气量及流场"死区"速度作为性能指标,分析不同的节流器和均压槽形式对气浮导轨气膜特性的影响。结果表明:不同的导轨结构会造成压力场特性发生变化,进而影响气膜承载力、死区速度及耗气量;3×3节流器王字型均压槽的结构形式能有效提高承载能力,消除速度死区,且耗气量未明显增加,该结构能满足长光栅刻制对气浮平台长时间工作的要求。
关键词
气浮平台
承载力
速度
死区
耗气量
Keywords
air-bearing table
load capacity
dead zone velocity
gas consumption
分类号
TH133.2 [机械工程—机械制造及自动化]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
气膜结构对长光栅刻制气浮平台气膜特性的影响
莫德云
马平
弓满锋
《润滑与密封》
CAS
CSCD
北大核心
2016
3
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