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题名光刻物镜中透镜高精度支撑结构的设计及分析
被引量：22
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作者
赵磊
巩岩
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机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
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出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第9期217-222,共6页
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基金
国家重大专项基金(2009ZX02205)资助课题
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文摘
光刻投影物镜中透镜的面形精度是影响光学系统成像质量的关键因素之一。为实现透镜面形精度均方根(RMS)值优于2nm的高精度指标,提出一种轴向多点挠性支撑、径向三点可调式定位的光学透镜支撑结构。基于自重变形对支撑结构进行优化设计,深入分析在此支撑结构下自重和热载荷对透镜面形影响。结果表明,重力引起的透镜上表面面形RMS值为0.186nm,下表面面形RMS值为0.15nm。热载荷引起的上表面面形RMS值为0.55nm,下表面面形RMS值为0.54nm。采用这种透镜的支撑结构,能够满足光刻投影物镜中透镜的高精度面形要求。
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关键词
光学器件
光刻投影物镜
透镜支撑结构
自重变形
热变形
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Keywords
optical devices
objective lens for lithography
lens support structure
gravity deformation
thermal deformation
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分类号
TH703
[机械工程—仪器科学与技术]
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题名具有整体径向挠性的光学元件多点均匀支撑结构
被引量：8
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作者
赵磊
彭海峰
于新峰
东立剑
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机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
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出处
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2015年第10期43-48,共6页
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基金
国家重大专项基金资助项目(2009ZX02205)
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文摘
光刻投影物镜中透镜的面形精度是影响光学系统成像质量的关键因素之一。为满足透镜面形精度RMS值优于1~2 nm的指标要求,本文提出了一种具有整体径向挠性的透镜多点均匀支撑结构,基于自重变形和热变形对支撑块尺寸进行了优化设计,分析了透镜在优化后的支撑结构下由自重和热载荷引入的面形变化情况,结果表明：自重引起的透镜上表面面形去除power项后RMS为0.429 nm,下表面面形去除power项后RMS为0.294 nm;热载荷引起的透镜上表面面形RMS为0.409 nm,下表面面形RMS为0.063 nm,能够满足光刻投影物镜中透镜的高精度面形要求。
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关键词
光刻投影物镜
透镜支撑结构
自重变形
热变形
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Keywords
lithography objective lens
lens support structure
gravity deformation
thermal deformation
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分类号
TH703
[机械工程—仪器科学与技术]
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