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题名中间像面非理想成像的近红外折反射系统光学装调方法
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作者
陈太喜
王金鑫
黄贺
张斌智
李鑫
丘敏艳
张鑫
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机构
季华实验室
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出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2024年第5期208-217,共10页
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基金
广东省重点领域研发计划资助项目(2018B030328001)。
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文摘
近年来,基于中间像面非理想成像的近红外折反射系统应用广泛,但由于该波段干涉仪的价格昂贵且难以维护,其应用并不普及,因此在该类系统集成阶段,通常只能采用传统的机械特征定位方式(例如采用中心偏测量仪辅助定位)进行装调。由于传统机械定位方法无法直接借助干涉仪对系统出瞳波像差进行实时高精度监测,即不能通过观察各视场像差变化规律来指导装调,导致系统的装调效率和精度通常难以保证。针对一个口径为150 mm、焦距为450 mm的中间像面非理想成像近红外折反射系统的高精度光学装调方法开展研究,通过对系统中继透镜组透镜薄膜进行包含常用干涉仪工作波长(λ@632.8 nm)的设计,来实现利用可见光激光干涉仪对系统波像差进行高精度检测的目的,然后研究了系统各装调自由度和系统初级波像差的敏感度关系,以失调敏感度单变量分析为基础,分析了各失调维度间的耦合作用特性,在此基础上提出了次镜和中继镜组相互反复迭代联调的光学装调方案。整机装调后,光学系统各视场波前误差(RMS)和设计仿真结果数值大小大致相同,方向一致,均达到成像质量要求。
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关键词
光学系统装调
折反射系统
迭代联调
非理想成像
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Keywords
optical system alignment
catadioptric system
iterative alignment
imperfect imaging
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分类号
TH74
[机械工程—光学工程]
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