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基于过焦扫描光学显微镜的光学元件亚表面缺陷检测方法 被引量：3
1
作者 王娜 刘立拓 +4 位作者 宋晓娇 王德钊 王盛阳 李冠楠 周维虎 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第21期112-119,共8页
微/纳米尺度亚表面缺陷会降低光学元件等透明样品的物理特性,严重影响光学及半导体领域加工制造技术的发展。为了快速、无损检测透明样品亚表面缺陷,本文针对光学元件亚表面内微米量级缺陷的检测需求,提出了一种基于过焦扫描光学显微镜(... 微/纳米尺度亚表面缺陷会降低光学元件等透明样品的物理特性,严重影响光学及半导体领域加工制造技术的发展。为了快速、无损检测透明样品亚表面缺陷,本文针对光学元件亚表面内微米量级缺陷的检测需求,提出了一种基于过焦扫描光学显微镜(TSOM)的检测方法。利用可见光光源显微镜和精密位移台,沿光轴对亚表面缺陷进行扫描,得到亚表面缺陷的一系列光学图像。将采集到的图像按照空间位置进行堆叠,生成TSOM图像。通过获得所测特征的最大灰度值来获得亚表面缺陷的定位信息。提出方法对2000μm深亚表面缺陷的定位相对标准差达到0.12%。该研究为透明样品亚表面缺陷检测及其深度定位提供了一种新方法。 展开更多
关键词 亚表面缺陷 缺陷检测 过焦扫描光学显微镜 深度定位
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激光共焦扫描显微镜系统中的图像处理方法
2
作者 黄琳 陶纯堪 +1 位作者 高万荣 胡茂海 《应用光学》 CAS CSCD 2002年第4期26-39,共14页
激光共焦扫描光学显微镜 (L CSM)是近 10年来迅速发展起来的一种高精度显微成像技术 ,它是以光学为基础 ,融机械、电子、计算机为一体的高精度现代化显微测试仪器。文中针对 L CSM系统所采集的图像进行了一系列的处理 ,就其二维断层图... 激光共焦扫描光学显微镜 (L CSM)是近 10年来迅速发展起来的一种高精度显微成像技术 ,它是以光学为基础 ,融机械、电子、计算机为一体的高精度现代化显微测试仪器。文中针对 L CSM系统所采集的图像进行了一系列的处理 ,就其二维断层图像的噪声去除、图像增强提出了相应的处理方法 ,提高了图像质量 ,奠定了进行三维信息重构的二维处理基础。 展开更多
关键词 激光共焦扫描光学显微镜 图像处理 三维信息重构 去噪 图像增强
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共焦扫描反射式光学显微镜
3
作者 毛水和 《矿产综合利用》 CAS 北大核心 1989年第1期51-53,共3页
通常的反射式光学显微镜是将待观测物体表面置于物镜聚焦面上以得到整个视域内样品表面形貌图象。对于透明或半透明样品,由于反射光强度较弱,往往不能得到具有足够亮度和反差的图象。此外,对某些透明样品,有时研究人员不仅希望观察其表... 通常的反射式光学显微镜是将待观测物体表面置于物镜聚焦面上以得到整个视域内样品表面形貌图象。对于透明或半透明样品,由于反射光强度较弱,往往不能得到具有足够亮度和反差的图象。此外,对某些透明样品,有时研究人员不仅希望观察其表面形貌。 展开更多
关键词 共焦扫描反射式光学显微镜 反射光 工作原理 照明光源 CSRLM
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