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太赫兹双轴共焦扫描显微成像轴向特性分析
1
作者
杨永发
李琦
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第B12期172-177,共6页
太赫兹双轴共焦扫描显微成像系统能够提高反射式共焦扫描显微系统的分辨率，为保证成像系统性能，需要合理选择离轴抛面镜组的直径、焦距和入射角等参数。提出了一种2.52 THz双轴共焦扫描显微成像实验方案，仿真研究了主要系统参数对成...
太赫兹双轴共焦扫描显微成像系统能够提高反射式共焦扫描显微系统的分辨率，为保证成像系统性能，需要合理选择离轴抛面镜组的直径、焦距和入射角等参数。提出了一种2.52 THz双轴共焦扫描显微成像实验方案，仿真研究了主要系统参数对成像系统分辨率的影响，并在所确定的系统参数条件下，计算分析了探测器位置偏移对系统轴向特性的影响。结果表明，当探测器轴向偏移在-1.73～1.73 mm范围内时，光强不小于探测器正好位于焦点处时光强最大值的80%；当探测器横向偏移范围在-0.03～0.03 mm范围内时，分辨率基本不变，响应峰值的微小偏移可以忽略。
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关键词
成像系统
太赫兹成像
双轴共焦扫描显微
分辨率
轴向
响应特性
原文传递
应用共焦显微镜原理测量倾斜工程表面
被引量：
3
2
作者
张建寰
谭久彬
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第4期446-450,共5页
用基尔霍夫衍射公式分析反射式共焦光路 ,得到了被测件有一定倾斜角度表面的共焦轴向响应理论模型。由菲涅耳衍射近似公式得到的共焦轴向响应特性只是它的理论模型的一个特例。同时 ,对接收端采用差动连接的共焦测量的聚焦瞄准信号进行...
用基尔霍夫衍射公式分析反射式共焦光路 ,得到了被测件有一定倾斜角度表面的共焦轴向响应理论模型。由菲涅耳衍射近似公式得到的共焦轴向响应特性只是它的理论模型的一个特例。同时 ,对接收端采用差动连接的共焦测量的聚焦瞄准信号进行了分析 ,得到了表面倾斜角对聚焦瞄准信号影响的关系。应用共焦实验系统及差动测量系统对具有不同倾角的块规斜面的轴向响应信号进行了测量。理论模型的数值分析与实验结果相吻合。用差动共焦光学系统作为瞄准传感器、用电容传感器进行位移监测 ,对倾角为 10°的角规的斜面进行测量 ,得到分辨率小于 2 0nm的表面形貌图。
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关键词
差动共焦显微镜
倾斜工程表面
瞄准信号
超精测量
共焦
轴向
响应特性
原文传递
题名
太赫兹双轴共焦扫描显微成像轴向特性分析
1
作者
杨永发
李琦
机构
哈尔滨工业大学可调谐激光技术国家级重点实验室
出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第B12期172-177,共6页
文摘
太赫兹双轴共焦扫描显微成像系统能够提高反射式共焦扫描显微系统的分辨率，为保证成像系统性能，需要合理选择离轴抛面镜组的直径、焦距和入射角等参数。提出了一种2.52 THz双轴共焦扫描显微成像实验方案，仿真研究了主要系统参数对成像系统分辨率的影响，并在所确定的系统参数条件下，计算分析了探测器位置偏移对系统轴向特性的影响。结果表明，当探测器轴向偏移在-1.73～1.73 mm范围内时，光强不小于探测器正好位于焦点处时光强最大值的80%；当探测器横向偏移范围在-0.03～0.03 mm范围内时，分辨率基本不变，响应峰值的微小偏移可以忽略。
关键词
成像系统
太赫兹成像
双轴共焦扫描显微
分辨率
轴向
响应特性
Keywords
imaging systems
terahertz imaging
dual-axis confocal scanning microscopy
resolution
axial response character
分类号
TN29 [电子电信—物理电子学]
原文传递
题名
应用共焦显微镜原理测量倾斜工程表面
被引量：
3
2
作者
张建寰
谭久彬
机构
哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所
出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第4期446-450,共5页
基金
国防预研基金 ( 99J18.2 .3HT0 137)资助课题。
文摘
用基尔霍夫衍射公式分析反射式共焦光路 ,得到了被测件有一定倾斜角度表面的共焦轴向响应理论模型。由菲涅耳衍射近似公式得到的共焦轴向响应特性只是它的理论模型的一个特例。同时 ,对接收端采用差动连接的共焦测量的聚焦瞄准信号进行了分析 ,得到了表面倾斜角对聚焦瞄准信号影响的关系。应用共焦实验系统及差动测量系统对具有不同倾角的块规斜面的轴向响应信号进行了测量。理论模型的数值分析与实验结果相吻合。用差动共焦光学系统作为瞄准传感器、用电容传感器进行位移监测 ,对倾角为 10°的角规的斜面进行测量 ,得到分辨率小于 2 0nm的表面形貌图。
关键词
差动共焦显微镜
倾斜工程表面
瞄准信号
超精测量
共焦
轴向
响应特性
Keywords
Measurements
分类号
TG806 [金属学及工艺—公差测量技术]
TH741.8 [机械工程—光学工程]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
太赫兹双轴共焦扫描显微成像轴向特性分析
杨永发
李琦
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014
0
原文传递
2
应用共焦显微镜原理测量倾斜工程表面
张建寰
谭久彬
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003
3
原文传递
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