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半导体制造装备用阀门技术发展现状
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作者 陈林 茅岭峰 《流体机械》 CSCD 北大核心 2023年第10期43-48,共6页
针对目前国内半导体制造装备用阀门研究极少和国产化所面临的诸多困难,对半导体制造装备用阀门的技术发展水平进行了综述,介绍了半导体制造装备用阀门的主要制造工艺和设备以及目前国内外超高真空阀门的研究现状,总结了半导体制造用阀... 针对目前国内半导体制造装备用阀门研究极少和国产化所面临的诸多困难,对半导体制造装备用阀门的技术发展水平进行了综述,介绍了半导体制造装备用阀门的主要制造工艺和设备以及目前国内外超高真空阀门的研究现状,总结了半导体制造用阀门具有高洁净度、长寿命、超高真空密封性能和精密控制等显著特点;指出了实现国产化面临着磨损粒子产生机理不明、缺乏相应长寿命的配套件和产品技术标准缺失等主要挑战,并对半导体制造装备用阀门国产化的开展给出了具体建议。 展开更多
关键词 半导体制造 超高真空阀门 国产化 高清洁度 长寿命
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