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超高真空计微弱离子流检测技术研究
1
作者 姚鹏 李得天 +4 位作者 张虎忠 葛金国 马卓娅 成永军 阴怡媛 《真空与低温》 2023年第2期111-116,共6页
在超高真空环境下,Bayard-Alpert型电离真空计通过电离气体分子得到的离子流信号十分微弱,且极易受到干扰。介绍了一种用于超高真空测量的微弱信号检测系统,包括测量电路、调零电路与处理模块。该系统采用高精度放大器与高绝缘继电器,... 在超高真空环境下,Bayard-Alpert型电离真空计通过电离气体分子得到的离子流信号十分微弱,且极易受到干扰。介绍了一种用于超高真空测量的微弱信号检测系统,包括测量电路、调零电路与处理模块。该系统采用高精度放大器与高绝缘继电器,可以实现微弱信号的精密放大,满足mA级至亚pA级范围的宽量程电流信号检测;能够自动完成测量档位的切换、系统调零、数据处理与真空全压力值计算,测量下限可达10-13A量级,可用于超高真空计离子流的精确测量,具有良好的线性及稳定性。 展开更多
关键词 宽量程 微弱信号 超高真空测量 电离真空计
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实用超高真空精确校准技术 被引量：1
2
作者 李得天 李正海 冯焱 《真空与低温》 2000年第1期26-29,共4页
介绍了一种超高真空精确校准技术。该技术依赖磁悬浮转子规 ,因此具有简单、实用、不确定度小等优点。给出了用该技术校准分离规的实验结果。
关键词 磁悬浮转子规 超高真空测量 超高真空规 校准
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