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超高数值孔径Schwarzschild投影光刻物镜的光学设计
被引量：
13
1
作者
胡大伟
李艳秋
刘晓林
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第1期198-204,共7页
针对45nm及以下节点光刻相关技术的研究需求,确定了实验型投影光刻物镜的结构型式及设计指标。依据像差理论在非同心小遮拦的Schwarzschild反射系统中添加折射补偿镜组来进一步减小系统的中心遮拦,扩大像方数值孔径。设计了一套小中心遮...
针对45nm及以下节点光刻相关技术的研究需求,确定了实验型投影光刻物镜的结构型式及设计指标。依据像差理论在非同心小遮拦的Schwarzschild反射系统中添加折射补偿镜组来进一步减小系统的中心遮拦,扩大像方数值孔径。设计了一套小中心遮拦,数值孔径为1.20的Schwarzschild折反式投影光刻物镜。设计结果表明,该投影光刻物镜工作带宽为100pm,像方视场为50μm,线中心遮拦比为13%,光学分辨力为80nm时(6240lp/mm)的系统调制传递函数大于0.45,全视场最大畸变为6.5nm,满足了45nm深紫外(DUV)浸没光刻实验平台对投影光刻物镜的需求。
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关键词
光学设计
投影光刻物镜
超高
数值孔径
SCHWARZSCHILD
深紫外
原文传递
薄膜铌酸锂反向锥形端面耦合器
被引量：
1
2
作者
向美华
于硕
+1 位作者
李德阳
杨登才
《北京工业大学学报》
CAS
CSCD
北大核心
2023年第7期737-745,共9页
薄膜铌酸锂波导与单模光纤在模场尺寸上存在很大差异,模场失配严重,导致两者直接耦合的效率低下。针对薄膜铌酸锂波导与超高数值孔径(ultra-high numerical aperture, UHNA)光纤的端面耦合问题,基于时域有限差分(finite difference time...
薄膜铌酸锂波导与单模光纤在模场尺寸上存在很大差异,模场失配严重,导致两者直接耦合的效率低下。针对薄膜铌酸锂波导与超高数值孔径(ultra-high numerical aperture, UHNA)光纤的端面耦合问题,基于时域有限差分(finite difference time domain, FDTD)法优化设计了反向锥形端面耦合器的结构参数,仿真实现了薄膜铌酸锂矩形波导与UHNA光纤的高效耦合。利用电子束曝光、电感耦合等离子体刻蚀等工艺,制备了反向锥形耦合器,设计并建立了端面耦合测试平台,完成了反向锥形耦合器的性能测试。实验结果表明,反向锥形耦合器近场输出光斑在水平和垂直方向的模场直径分别为3.3和3.6μm,水平和垂直方向的3 dB对准容差分别为3.0和3.2μm,单端插入损耗为6.24 dB/面,表明设计制作的反向锥形耦合器具有较好的耦合性能。该研究为大容量、高速率的集成光子器件与光纤之间的耦合提供了高耦合效率的光接口方案。
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关键词
光波导
超高
数值孔径
光纤
薄膜铌酸锂
时域有限差分法(FDTD)
端面耦合
反向锥形耦合器
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职称材料
题名
超高数值孔径Schwarzschild投影光刻物镜的光学设计
被引量：
13
1
作者
胡大伟
李艳秋
刘晓林
机构
北京理工大学光电学院光电成像技术与系统教育部重点实验室
出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第1期198-204,共7页
基金
国家科技重大专项
国家自然基金重点项目(60938003)资助课题
文摘
针对45nm及以下节点光刻相关技术的研究需求,确定了实验型投影光刻物镜的结构型式及设计指标。依据像差理论在非同心小遮拦的Schwarzschild反射系统中添加折射补偿镜组来进一步减小系统的中心遮拦,扩大像方数值孔径。设计了一套小中心遮拦,数值孔径为1.20的Schwarzschild折反式投影光刻物镜。设计结果表明,该投影光刻物镜工作带宽为100pm,像方视场为50μm,线中心遮拦比为13%,光学分辨力为80nm时(6240lp/mm)的系统调制传递函数大于0.45,全视场最大畸变为6.5nm,满足了45nm深紫外(DUV)浸没光刻实验平台对投影光刻物镜的需求。
关键词
光学设计
投影光刻物镜
超高
数值孔径
SCHWARZSCHILD
深紫外
Keywords
optical design
projection lithographic lens
hyper numerical aperture
Schwarzschild
deep ultraviolet
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
原文传递
题名
薄膜铌酸锂反向锥形端面耦合器
被引量：
1
2
作者
向美华
于硕
李德阳
杨登才
机构
北京工业大学材料与制造学部
出处
《北京工业大学学报》
CAS
CSCD
北大核心
2023年第7期737-745,共9页
基金
北京市自然科学基金资助项目(1212009)。
文摘
薄膜铌酸锂波导与单模光纤在模场尺寸上存在很大差异,模场失配严重,导致两者直接耦合的效率低下。针对薄膜铌酸锂波导与超高数值孔径(ultra-high numerical aperture, UHNA)光纤的端面耦合问题,基于时域有限差分(finite difference time domain, FDTD)法优化设计了反向锥形端面耦合器的结构参数,仿真实现了薄膜铌酸锂矩形波导与UHNA光纤的高效耦合。利用电子束曝光、电感耦合等离子体刻蚀等工艺,制备了反向锥形耦合器,设计并建立了端面耦合测试平台,完成了反向锥形耦合器的性能测试。实验结果表明,反向锥形耦合器近场输出光斑在水平和垂直方向的模场直径分别为3.3和3.6μm,水平和垂直方向的3 dB对准容差分别为3.0和3.2μm,单端插入损耗为6.24 dB/面,表明设计制作的反向锥形耦合器具有较好的耦合性能。该研究为大容量、高速率的集成光子器件与光纤之间的耦合提供了高耦合效率的光接口方案。
关键词
光波导
超高
数值孔径
光纤
薄膜铌酸锂
时域有限差分法(FDTD)
端面耦合
反向锥形耦合器
Keywords
waveguide
ultra-high numerical aperture(UHNA)
lithium niobate on insulator(LNOI)
finite difference time domain(FDTD)method
edge coupling
inverse taper coupler
分类号
TN252 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
超高数值孔径Schwarzschild投影光刻物镜的光学设计
胡大伟
李艳秋
刘晓林
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013
13
原文传递
2
薄膜铌酸锂反向锥形端面耦合器
向美华
于硕
李德阳
杨登才
《北京工业大学学报》
CAS
CSCD
北大核心
2023
1
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职称材料
已选择
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参考文献
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