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等离子体氧化制备超薄SiO_2层的性质 被引量:4
1
作者 鲍云 蒋明 +5 位作者 李伟 马忠元 黄少云 王立 黄信凡 陈坤基 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第8期1011-1014,共4页
利用等离子体氧化方法在单晶硅片上制备了厚度小于 10 nm的超薄 Si O2 层 .通过傅里叶红外光谱 (FTIR)、X射线光电子谱 (XPS)、透射电子显微镜 (TEM)、椭圆偏振法和电流电压 (I- V)、电容电压 (C- V)
关键词 超薄氧化 等离子体氧化 氧化
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等离子体充电损伤对氧化门厚度的依赖关系 被引量:2
2
作者 刘之景 刘晨 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2000年第3期8-10,37,共4页
介绍了氧化门厚度在 8~ 2 0nm范围内等离子体充电损伤随其厚度减小而变得严重。但是 ,当氧化门厚度减小到 4nm以下时 ,这种超薄氧化门比起厚一些的氧化门对充电损伤具有更好的免疫性 ,对隧道电流具有极好的承受能力。分析了上述两种氧... 介绍了氧化门厚度在 8~ 2 0nm范围内等离子体充电损伤随其厚度减小而变得严重。但是 ,当氧化门厚度减小到 4nm以下时 ,这种超薄氧化门比起厚一些的氧化门对充电损伤具有更好的免疫性 ,对隧道电流具有极好的承受能力。分析了上述两种氧化门厚度范围内等离子体充电损伤的不同机理。 展开更多
关键词 充电损伤 超薄氧化 等离子体加工 集成电路 ULSI
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超薄氧化SOI nMOSFET中软击穿增强滞后效应
3
《电子产品可靠性与环境试验》 2003年第6期68-69,共2页
关键词 超薄氧化 SOI NMOSFET 软击穿 滞后效应
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269CMOS器件与电路中超薄氧化可靠性的物理和预计模型
4
《电子产品可靠性与环境试验》 2002年第6期65-66,共2页
关键词 CMOS器件 电路 超薄氧化 可靠性
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半导体器件
5
《电子科技文摘》 2001年第2期16-17,共2页
Y2000-62474—731 0101959超薄氧化物中的低压隧道效应:界面态与衰降监视器=Low voltage tunneling in ultra-thin oxides:a monitorfor interface states and degradation[会,英]/Ghetti,A.& Sangiorgi,E.//1999 IEEE Internationa... Y2000-62474—731 0101959超薄氧化物中的低压隧道效应:界面态与衰降监视器=Low voltage tunneling in ultra-thin oxides:a monitorfor interface states and degradation[会,英]/Ghetti,A.& Sangiorgi,E.//1999 IEEE International Electron De-vices Meeting.—731~734(PC)Y2000-62185-179 0101960镉砷化物薄膜器件的介质击穿和电沉淀现象=Dielec-tric breakdown and electrofoming phenomenon in thecadmium Arsenide thin films devices[会,英]/Din,M.B.H.& Gould,R.D.//1998 IEEE International Con-ference on Semiconductor Electronics.—179~183(E) 展开更多
关键词 半导体器件 隧道效应 界面态 介质击穿 超薄氧化 薄膜器件 沉淀现象 砷化物 监视器 固态器件
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超薄氧化铝模板的制备及应用 被引量:4
6
作者 敖昕 戴金辉 +1 位作者 时磊艳 徐楠 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第B02期1-5,共5页
基板上大面积的有序纳米阵列,在电子学、光电子学、传感器、催化剂、太阳能电池、高密度储存、场发射设备和超薄显示设备等领域具有广阔的应用前景。综述了一种构造表面有序纳米结构的新方法———超薄氧化铝模板法。根据超薄氧化铝模... 基板上大面积的有序纳米阵列,在电子学、光电子学、传感器、催化剂、太阳能电池、高密度储存、场发射设备和超薄显示设备等领域具有广阔的应用前景。综述了一种构造表面有序纳米结构的新方法———超薄氧化铝模板法。根据超薄氧化铝模板的制备方法又分为附着型和结合型。还总结了近年来该方法的应用。 展开更多
关键词 超薄氧化铝模板 多孔阳极氧化铝模板 纳米阵列 附着型超薄氧化铝模板 结合型超薄氧化铝模板
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基于隧穿氧化物钝化接触的高效晶体硅太阳电池的研究现状与展望 被引量:7
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作者 任程超 周佳凯 +4 位作者 张博宇 刘璋 赵颖 张晓丹 侯国付 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2021年第17期288-298,共11页
在当今的光伏市场,晶体硅电池占据超过九成的份额,并且被认为在未来将依旧占据主导地位.在高效晶硅电池中,隧穿氧化物钝化接触太阳电池(tunnel oxide passivated contact solar cell,TOPCon)因其优异的表面钝化效果以及与传统产线兼容... 在当今的光伏市场,晶体硅电池占据超过九成的份额,并且被认为在未来将依旧占据主导地位.在高效晶硅电池中,隧穿氧化物钝化接触太阳电池(tunnel oxide passivated contact solar cell,TOPCon)因其优异的表面钝化效果以及与传统产线兼容性好的优势而受到持续关注.该电池最显著的特征是其高质量的超薄氧化硅和重掺杂多晶硅的叠层结构,对全背表面实现了高效钝化,同时载流子选择性地被收集,具有制备工艺简单、使用N型硅片无光致衰减问题和与传统高温烧结技术相兼容等优点.本文首先介绍了隧穿氧化物钝化接触太阳电池的基本结构和基本原理,然后对现有超薄氧化硅层和重掺杂多晶硅层的制备方式进行了对比,最后在分析研究现状基础上指出了该电池未来的研究方向. 展开更多
关键词 隧穿氧化物钝化接触 超薄氧化 重掺杂多晶硅层 太阳电池
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镶嵌在超薄SiO_2层中的纳米硅的库仑阻塞现象
8
作者 石建军 吴良才 +7 位作者 鲍云 刘嘉瑜 马忠元 戴敏 黄信凡 李伟 徐骏 陈坤基 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第1期29-33,共5页
采用等离子体氧化和逐层 (layer by layer)生长技术在等离子体增强化学气相沉积 (PECVD)系统中原位制备了 Si O2 /nc- Si/Si O2 的双势垒纳米结构 ,从 nc- Si薄膜的喇曼谱中观察到结晶峰 ,估算出该薄膜的晶化成分和平均晶粒尺寸分别约为... 采用等离子体氧化和逐层 (layer by layer)生长技术在等离子体增强化学气相沉积 (PECVD)系统中原位制备了 Si O2 /nc- Si/Si O2 的双势垒纳米结构 ,从 nc- Si薄膜的喇曼谱中观察到结晶峰 ,估算出该薄膜的晶化成分和平均晶粒尺寸分别约为 6 5 %和 6 nm.通过对该纳米结构的电容 -电压 (C- V)测量 ,研究了载流子的隧穿和库仑阻塞特性 .在不同测试频率的 C- V谱中观测到了由于载流子隧穿引起的最大电容值抬升现象 .通过低温低频 C- V谱 ,计算出该结构中 nc- Si的库仑荷电能为 5 7me V. 展开更多
关键词 SIO2 库仑阻塞 氧化 纳米硅 超薄氧化 隧穿
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用XPS法研究SiO_2/4H-SiC界面的组成 被引量:4
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作者 赵亮 王德君 +2 位作者 马继开 陈素华 王海波 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2008年第2期121-125,共5页
利用X射线光电子谱(XPS)研究了高温氧化形成的Si02/4H.SiC界面的化学组成。获取低浓度HF酸刻蚀速度基础上制备出超薄氧化膜(1~1.5nm)样品,并借助标准物对照法辅助谱峰分析。结果表明,高温氧化Si02/4H.SiC界面,类石墨碳较... 利用X射线光电子谱(XPS)研究了高温氧化形成的Si02/4H.SiC界面的化学组成。获取低浓度HF酸刻蚀速度基础上制备出超薄氧化膜(1~1.5nm)样品,并借助标准物对照法辅助谱峰分析。结果表明,高温氧化Si02/4H.SiC界面,类石墨碳较多,除Si^+成分外,还存在Si^2+和Si^3+两种低值氧化物。三种工艺处理后界面成分含量的对比,指出界面成分可通过合理工艺有效控制,以C-V测试曲线印证了界面成分减少对电学特性的改善。 展开更多
关键词 氧化硅/碳化硅 4H-碳化硅 X射线光电子谱 超薄氧化
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隧穿氧化物钝化接触太阳能电池的研究进展
10
作者 徐嘉玉 《材料科学》 2024年第5期556-563,共8页
随着全球对可再生能源需求的不断增长,太阳能电池作为一种高效、清洁的能源转换方式,受到了广泛关注。隧穿氧化物钝化接触(Tunnel Oxide Passivated Contact, TOPCon)太阳能电池作为一种新型的太阳能电池技术,以其高效率、低成本和易于... 随着全球对可再生能源需求的不断增长,太阳能电池作为一种高效、清洁的能源转换方式,受到了广泛关注。隧穿氧化物钝化接触(Tunnel Oxide Passivated Contact, TOPCon)太阳能电池作为一种新型的太阳能电池技术,以其高效率、低成本和易于大规模生产的优势,成为了当前研究的热点。该技术通过在电池背面引入一层超薄隧穿氧化层和一层多晶硅层,有效降低了界面复合损失,提高了电池的开路电压和填充因子,从而提升了电池的光电转换效率。本文首先介绍TOPCon太阳能电池的研究背景,然后对其工作原理进行详细的理论分析,之后介绍了TOPCon太阳能电池的关键结构及其制备技术,并讨论了TOPCon太阳能电池的研究现状与关键问题,最后进行了总结和展望,为TOPCon太阳能电池的未来研究提供参考和借鉴。 展开更多
关键词 隧穿氧化物钝化接触太阳能电池 载流子选择性 超薄氧化 研究进展
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缺陷辅助隧穿对TOPCon太阳能电池性能的影响
11
作者 徐嘉玉 胡波 黄仕华 《应用物理》 2024年第5期328-338,共11页
TOPCon太阳能电池超薄氧化硅层中的载流子的直接隧穿和针孔传输是两种当前被广泛探讨的机制,在实际电池制造过程中,超薄氧化硅层在高温诱导应力下在产生针孔的同时,也可能伴随大量缺陷的出现,这些缺陷有助于载流子通过缺陷辅助隧穿进行... TOPCon太阳能电池超薄氧化硅层中的载流子的直接隧穿和针孔传输是两种当前被广泛探讨的机制,在实际电池制造过程中,超薄氧化硅层在高温诱导应力下在产生针孔的同时,也可能伴随大量缺陷的出现,这些缺陷有助于载流子通过缺陷辅助隧穿进行传输。本文通过数值求解漂移扩散输运方程,理论模拟了光照下TOPCon太阳能电池的性能在氧化层厚度为2.0 nm的情况下,综合考虑直接隧穿和缺陷辅助隧穿作为两种主要的输运机制,TOPCon太阳能电池效率将会提高。研究了电池填充因子随氧化层电子有效质量的依赖关系。接着讨论了从晶体硅体寿命和背面多晶硅浓度对TOPCon太阳能电池性能的影响。本文的研究结果不仅有助于加深人们对TOPCon太阳能电池载流子输运机制的理解,还为优化电池结构设计提供了有益的理论指导。 展开更多
关键词 TOPCon太阳能电池 超薄氧化 陷阱辅助隧穿 载流子输运
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Effectof Neutral Traps on Tunneling Current and SILC in Ultrathin Oxide Layer
12
作者 张贺秋 毛凌锋 +1 位作者 许铭真 谭长华 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第4期367-372,共6页
The effect of neutral trap on tunneling currentin ultrathin MOSFETs is investigated by num erical analy- sis.The barrier variation arisen by neutral trap in oxide layer is described as a rectangular potential well in... The effect of neutral trap on tunneling currentin ultrathin MOSFETs is investigated by num erical analy- sis.The barrier variation arisen by neutral trap in oxide layer is described as a rectangular potential well in the con- duction band of Si O2 .The different barrier variation of an ultrathin metal- oxide- sem iconductor(MOS) structure with oxide thickness of4nm is numerically calculated.It is shown that the effect of neutral trap on tunneling cur- rent can not be neglected.The tunneling current is increased when the neutral trap exists in the oxide layer.This simple m odel can be used to understand the occurring mechanism of stress induced leakage current. 展开更多
关键词 tunneling current high- field stress ULTRATHIN SIL C
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超薄SiO_2层的化合态结构和厚度 被引量:2
13
作者 杜汇伟 沈玲 +3 位作者 丁虎 杨洁 赵磊 马忠权 《材料研究学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第5期461-466,共6页
用快速热处理对单面抛光硅片进行初始热氧化,800℃下在晶硅基表面制备出15,30和60 min三个时间段的超薄氧化硅层。采用角分辨X射线光电子谱(AR-XPS)技术分别分析了3种初始氧化硅层的厚度和化学组态。结果表明,这些氧化硅层的主要成分为S... 用快速热处理对单面抛光硅片进行初始热氧化,800℃下在晶硅基表面制备出15,30和60 min三个时间段的超薄氧化硅层。采用角分辨X射线光电子谱(AR-XPS)技术分别分析了3种初始氧化硅层的厚度和化学组态。结果表明,这些氧化硅层的主要成分为SiO_2,在过渡区存在的Si_2O_3、SiO和Si_2O不饱和态的含量均小于5%。通过控制氧气的含量,使氧化厚度只与时间有关。氧化硅层主相SiO_2的厚度随时间改变分别为(4.1±0.4)nm,(6.2±0.6)nm和(9.6±0.5)nm。根据SiO_2与基底Si的Si_(2p)峰的间距随掠射角度的变化,推断出厚度为4.1和6.2 nm的SiO_2层内的固定正电荷导致n型Si基体能带向上弯曲;而9.6 nm的SiO_2层内的固定正电荷分布随着远离界面逐渐减小,表明固定正电荷主要分布在界面区附近。 展开更多
关键词 无机非金属材料 超薄氧化 角分辨XPS 快速热处理 固定表面正电荷
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在超薄氧化范围进行精确可靠性预计的挑战
14
《电子产品可靠性与环境试验》 2001年第6期47-48,共2页
关键词 超薄氧化范围 可靠性预计 超薄氧经物
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超薄氧化硅与氮化钛复合层对光生电子导出的作用 被引量:1
15
作者 兰自轩 王艺琳 +1 位作者 赵磊 马忠权 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第13期223-227,共5页
采用湿法化学氧化和直流磁控溅射制备了超薄氧化硅(a-SiO)和高电子浓度的氮化钛(TiN)复合薄膜,研究其对半导体-准绝缘体-半导体(SQIS)光伏器件中晶硅表面的钝化作用。实验结果表明:相对于铝背场电极,该光伏器件的光电转换效率相对提高了... 采用湿法化学氧化和直流磁控溅射制备了超薄氧化硅(a-SiO)和高电子浓度的氮化钛(TiN)复合薄膜,研究其对半导体-准绝缘体-半导体(SQIS)光伏器件中晶硅表面的钝化作用。实验结果表明:相对于铝背场电极,该光伏器件的光电转换效率相对提高了20.72%。结合少子寿命测量和AFORS-HET模拟软件分析,揭示了开路电压增加的原因。aSiO/TiN与n-Si有2.28 eV的价带偏移,可以减缓空穴在背部界面的复合,使复合速率降为原先的1/10,从而有效增加开路电压,达到提高异质结器件光电转换效率的目的,为SQIS光伏器件提供了一种工艺简单、制备成本低的背部钝化接触复合材料。 展开更多
关键词 太阳能电池 钝化层 复合速率 异质结 空穴阻挡 超薄氧化硅/氮化钛
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碳化硼
16
《金属加工工艺与设备:英文版》 2005年第2期38-40,共3页
An improved interface characterization technique for a full-range profiling of oxide damage in ultra-thin gate oxide CMOS devices;An intelligent system for advanced dynamic security assessment;Ancient raw copper fro... An improved interface characterization technique for a full-range profiling of oxide damage in ultra-thin gate oxide CMOS devices;An intelligent system for advanced dynamic security assessment;Ancient raw copper from primary smelting sites in Cyprus;Anthropogenic plutonium in soils of the Ural 展开更多
关键词 碳化硼 表面特征 互补金属氧化半导体 超薄氧化薄膜 门二极管
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金硅面垒探测器中超薄氧化膜的研究
17
作者 蒋锦江 严美琼 +1 位作者 申勇 林理彬 《核电子学与探测技术》 CAS 1987年第2期65-68,共4页
采用激光椭圆偏振仪、俄歇电子能谱仪和电学方法等手段对面垒探测器中的Au-Si界面进行了研究。实验结果表明,在Au-Si之间存在一层数纳米厚的薄氧化层,它的成分和结构与制作工艺有关,通常是不完全氧化膜,它的存在对探测器性能有重大作用。
关键词 面垒探测器 超薄氧化 激光椭圆偏振仪 俄歇电子能谱
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MNOS存储晶体管的研制
18
作者 赵守安 刘竞云 刘涛 《暨南大学学报(自然科学与医学版)》 CAS CSCD 1990年第3期34-40,共7页
用液氮温度下的液氧蒸汽作为氧源,控制 O_2/N_2值在10^(-2)至10^(-3)可生长性能和重复性均为良好的可隧穿的超薄氧化层,结合用 SiH_4—NH_3体系的 LPCVD 技术,所淀积的具有电荷存储陷阱的 Si_3N_4膜能成功地制造 MNOS 结构存储晶体管。... 用液氮温度下的液氧蒸汽作为氧源,控制 O_2/N_2值在10^(-2)至10^(-3)可生长性能和重复性均为良好的可隧穿的超薄氧化层,结合用 SiH_4—NH_3体系的 LPCVD 技术,所淀积的具有电荷存储陷阱的 Si_3N_4膜能成功地制造 MNOS 结构存储晶体管。经测试,这种晶体管阈值窗口可设置在6V,对于管子处于高导态时,保留时间为10~3min,闽值电压变化的典型值为1V;当管子处于低导态时,其保留时间为3×10~3min 时阈电压变化的典型值为0.2V。这种存储管可擦写的次数为10~5以上。表明存储晶体管具有良好的器件特性。 展开更多
关键词 MNOS结构 存储晶体管 超薄氧化 氮化硅
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超薄氧化层的Q_(BD)成品率的研究
19
作者 徐政 陈菊英 +1 位作者 钟萍 张继 《微电子技术》 1997年第5期39-42,共4页
关键词 超薄氧化 MOS电路 QBD成品率 制造工艺
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超薄氧化层制备及其可靠性研究
20
作者 刘国柱 陈杰 +3 位作者 林丽 许帅 王新胜 吴晓鸫 《电子与封装》 2011年第3期29-32,共4页
文章简述了超薄氧化层SiO2的击穿机理,采用了恒定电流法表征超薄氧化层TDDB效应,并研究了清洗方法、氧化温度、氧化方式等工艺因素对超薄氧化层的可靠性影响。实验表明,在850℃、900℃等高温条件下,可通过干氧N/O分压的方法制备厚度4nm... 文章简述了超薄氧化层SiO2的击穿机理,采用了恒定电流法表征超薄氧化层TDDB效应,并研究了清洗方法、氧化温度、氧化方式等工艺因素对超薄氧化层的可靠性影响。实验表明,在850℃、900℃等高温条件下,可通过干氧N/O分压的方法制备厚度4nm~5nm、均一性小于2.0%超薄氧化层;RCA清洗工艺过程中,APM中的NH3.H2O含量过高,会对衬底硅表面产生损伤,致使氧化层的早期失效高,击穿电荷量QBD差;在干氧N/O分压的过程中,采用N2退火,可有效地改善超薄氧化层的致密性,从而提高氧化层QBD。通过实验进行优化,在800℃、O2/DCE、N2退火条件下,可制备5nm氧化层,其可靠性能为:最大击穿电压49.1V,平均击穿电压7.1V,击穿电场16.62MV.cm-1,早期失效率3.85%,击穿电荷量QBD>15C.cm-2点可达61.54%。 展开更多
关键词 超薄氧化 TDDB QBD 早期击穿
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