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超薄层材料生长技术
1
作者 孙再吉 《半导体情报》 1998年第1期13-31,共19页
半导体超薄层材料的研究，依赖于先进的外延生长技术。本文着重该领域的ＭＢＥ。ＭＯＣＶＤ，ＣＢＥ和ＡＬＥ的发展现状及关键技术作一综述。
关键词 超薄层材料 外延生长 生长机理 半导体
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