企业用小型超纯水制备系统的最适工艺选择探讨 被引量：6

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作者 何嘉慧 陈洪斌 《四川环境》 2019年第2期157-162,共6页

半导体企业对生产用水的水质要求极高,该行业快速发展对超纯水系统的需求日趋旺盛。超纯水系统的投资成本和运行成本远高于其它水处理系统,且工艺运行的稳定性要求高,企业用户难以选择。为此,本文以某半导体企业的超纯水站为例,从工艺... 半导体企业对生产用水的水质要求极高,该行业快速发展对超纯水系统的需求日趋旺盛。超纯水系统的投资成本和运行成本远高于其它水处理系统,且工艺运行的稳定性要求高,企业用户难以选择。为此,本文以某半导体企业的超纯水站为例,从工艺路线、投资和运行成本、运行管理和二次污染治理等方面探讨了针对基于18MΩ.cm水质要求的小水量超纯水制备系统的最适工艺系统。结果表明:采用两级RO结合EDI制备超纯水在一次性投资费用、运行费用、自动控制与管理、二次污染排放等方面更有优势,将成为未来半导体行业小型超纯水站的主流工艺。 展开更多

关键词 半导体行业 超纯水系统 小水量水站

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论超纯水系统在光伏行业生产中的制备及应用研究

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作者 刘付文 《中国地名》 2024年第4期0181-0183,共3页

本文主要探讨了超纯水系统在光伏行业生产中的制备及应用研究,强调了超纯水对于提升光伏产品质量和生产效率的关键作用。随着光伏产业对高效率和高品质产品的需求增长,超纯水在多晶硅提纯、硅片清洗、电池片制备以及组件封装等环节的重... 本文主要探讨了超纯水系统在光伏行业生产中的制备及应用研究,强调了超纯水对于提升光伏产品质量和生产效率的关键作用。随着光伏产业对高效率和高品质产品的需求增长,超纯水在多晶硅提纯、硅片清洗、电池片制备以及组件封装等环节的重要性日益凸显。本文分析了超纯水在提高硅材料纯度、降低硅片污染、优化电池转换效率等方面的积极影响,并对比了国内外光伏行业在超纯水使用现状方面的异同。此外,本文还深入研究了超纯水系统的制备技术,包括反渗透(RO)、电去离子(EDI)等核心技术及其在预处理和后处理阶段的应用,为光伏企业进一步优化生产工艺、实现绿色可持续发展提供科学依据和技术指导。 展开更多

关键词 超纯水系统 光伏行业 多晶硅提纯

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超纯水系统工艺及其施工 被引量：5

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作者 吴纯傲 《安装》 2003年第4期24-25,共2页

文章根据建设制备18.2MΩ以上的超纯水站为实际案例,介绍超纯水制备的基本工艺,特别说明了水处理不同阶段所用管道材质,并根据安装实际经验对超纯水管道施工作了详细阐述。

关键词 超纯水系统 洁净 CPlFC管 PVDF管 水处理

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实验室超纯水系统PVDF管道施工技术

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作者 施强 《安装》 2023年第4期36-38,共3页

超纯水系统是实验室中的重要组成部分,本文针对超纯水系统中PVDF管道洁净度要求高、定制周期长以及安装精度要求高等特点,详细阐述了PVDF管道的预制、搬运、焊接、清洗以及安装过程中的关键技术要求,确保施工洁净度控制及成品保护,保证... 超纯水系统是实验室中的重要组成部分,本文针对超纯水系统中PVDF管道洁净度要求高、定制周期长以及安装精度要求高等特点,详细阐述了PVDF管道的预制、搬运、焊接、清洗以及安装过程中的关键技术要求,确保施工洁净度控制及成品保护,保证了施工质量,降低了后期调试成本。 展开更多

关键词 超纯水系统 PVDF 洁净 红外焊接技术

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超纯水系统出现TOC季节性波动的原因与对策 被引量：1

5

作者 厉晓华 何义亮 《中国给水排水》 CAS CSCD 北大核心 2007年第22期90-92,共3页

针对上海地区的超纯水(UPW)制备系统在冬、春季出现TOC超标的问题,通过水质分析和检测仪器的诊断,推断原水中二乙基氨基化合物、尿素等有机物含量高,是导致超纯水系统的TOC出现季节性波动的主要原因。而现有UPW系统中的活性炭吸附、反渗... 针对上海地区的超纯水(UPW)制备系统在冬、春季出现TOC超标的问题,通过水质分析和检测仪器的诊断,推断原水中二乙基氨基化合物、尿素等有机物含量高,是导致超纯水系统的TOC出现季节性波动的主要原因。而现有UPW系统中的活性炭吸附、反渗透(RO)、低压紫外线氧化等工艺对这些小分子有机物去除效果并不理想。在RO后增设臭氧/NaBr的高级氧化单元,利用生成的次溴酸钠来分解这些低分子有机物,可以有效地控制UPW产品水的TOC出现季节性波动。 展开更多

关键词 超纯水系统 TOC波动 高级氧化

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VLSI用超纯水制备系统设计中的一些重点问题

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作者 刘朋 陈为红 +1 位作者 杨宝和 王水弟 《工业水处理》 CAS CSCD 2004年第4期59-60,共2页

介绍了清华大学微电子学研究所VLSI用超纯水系统在设计过程中的一些特殊要求和遇到的重点问题。该系统在两级反渗透、电连续去离子、真空膜脱氧、高纯材料的使用、超痕量分析技术以及上位计算机监控等方面都代表了当今超纯水技术的先进... 介绍了清华大学微电子学研究所VLSI用超纯水系统在设计过程中的一些特殊要求和遇到的重点问题。该系统在两级反渗透、电连续去离子、真空膜脱氧、高纯材料的使用、超痕量分析技术以及上位计算机监控等方面都代表了当今超纯水技术的先进水平。 展开更多

关键词 超纯水系统 电连续去离子技术 真空膜脱氧技术 超痕量分析技术

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超纯水管道设计及管材选择 被引量：1

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作者 樊勖昌 《洁净与空调技术》 1994年第1期18-23,共6页

随着半导体、集成电路的发展,特别是大规模集成电路发展到超大规模集成电路阶段,电路线宽已小于1μm以下。对生产过程中所使用的纯水水质更加严格(表1)。水质主要指标是电阻率、微粒。

关键词 管材选择 管道设计 超纯水系统 干管 总有机碳 管道材料 线宽 水管道 精处理 电阻率计

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了解超纯水的预处理工艺-保安过滤——超纯水RO膜保安过滤器性能评估与分析方法

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作者 张长宝 《流程工业》 2008年第23期23-25,共3页

超纯水系统的预处理系统主要功能之一就是降低RO膜进水中的颗粒大小和含量，从这个层面来说，超纯水预处理系统就显得尤为重要。超纯水预处理系统主要分为混凝沉淀、砂滤、活性炭吸附。保安过滤等常规处理工艺。其中对颗粒的过滤主要有... 超纯水系统的预处理系统主要功能之一就是降低RO膜进水中的颗粒大小和含量，从这个层面来说，超纯水预处理系统就显得尤为重要。超纯水预处理系统主要分为混凝沉淀、砂滤、活性炭吸附。保安过滤等常规处理工艺。其中对颗粒的过滤主要有两个过滤点：一是粗滤，采用砂滤或者沉淀方法去除原水中大颗粒杂质；二是RO膜颗粒杂质过滤器，采用滤芯或者滤袋以除去原水中小颗粒杂质。颗粒杂质过滤器也称为保安过滤器，一个良好的保安过滤器可以大大提高RO膜进口水质，从而延长RO膜的使用寿命和降低化学再生频率，综合降低超纯系统的运行成本。 展开更多

关键词 超纯水系统 过滤器 RO膜 预处理工艺 保安 性能评估 预处理系统 颗粒大小

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高纯水系统配管材质的探讨与研究

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作者 郭珍珍 《给水排水技术动态》 1996年第1期43-45,共3页

随着现代科技的迅猛发展,电子工业规模不断增加及扩大、替代产品及档次不断翻新,对电子工业用超纯水要求也越来越高。特别是在生产大规模集成电路行业中,对超纯水系统管材的要求也越来越严格。

关键词 超纯水系统 管材 材质 电子工业

原文传递

300mm半导体芯片加工中的超纯水系统

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作者 林耀泽 《电子产品世界》 1999年第7期54-54,52,共2页

关键词 半导体芯片 加工 超纯水系统

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浅谈芯片厂房工艺给排水设计要点

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作者 潘书亮 《中文科技期刊数据库（引文版）工程技术》 2021年第6期260-262,共3页

本文通过对于芯片试验生产厂房的工艺相关给排水系统、消防系统设计的项目实际经历及成果进行介绍,有助于了解电子芯片类厂房的工艺给排水设计要求,同时简单阐述了给排水专业设计的环保节能理念。

关键词 芯片厂房给排水 超纯水系统 环保理念

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卷式EDI在电子超纯水制备中的应用

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作者 仝志明 沈战荣 罗国林 《中国集成电路》 2002年第9期100-102,共3页

EDI是最近出现的深度脱盐技术。作为反渗透的下游处理工序,EDI具有无需酸碱再生、连续运行、管理简便等优势,成为传统混床的替代技术。新近出现的卷式EDI在我国一些电子超纯水系统中的应用表明,其以一级反渗透作为前处理,产水水质稳定在... EDI是最近出现的深度脱盐技术。作为反渗透的下游处理工序,EDI具有无需酸碱再生、连续运行、管理简便等优势,成为传统混床的替代技术。新近出现的卷式EDI在我国一些电子超纯水系统中的应用表明,其以一级反渗透作为前处理,产水水质稳定在16MΩ·cm以上,显示了卷式EDI优异的性能。 展开更多

关键词 反渗透 超纯水系统 卷式 深度脱盐 水质稳定 前处理 产水 酸碱 进水水质 离子交换

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超纯水系统国产化

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作者 徐荣安 胡振华 《洁净技术》 1989年第2期14-16,共3页

关键词 水处理 超纯水系统 国产化

全文增补中

发电电动机的超纯水系统

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作者 姜茜 《东方电机》 2002年第1期111-115,共5页

1 引言1979年,苏格兰北部水电局与 GEC 大电机有限公司就研制英国首台直接水冷发电电动机达成合作协议,该项目包括有关超纯冷却水系统的设计。该发电电动机有7个冷却水回路。

关键词 发电电动机 超纯水系统 汽轮发电机 水轮发电机

原文传递

改进的超纯水系统用低溶解氧实现无天然氧化层的圆片处理

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作者 谢嘉慧 《山东半导体技术》 1994年第2期30-37,共8页

关键词 天然氧化层 圆片处理 超纯水系统

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某12英寸半导体超纯水工程工艺设计介绍及运行分析

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作者 章星异 《中国科技期刊数据库 工业A》 2024年第9期0127-0131,共5页

文章介绍了江苏某12吋半导体芯片项目工厂超纯水系统的工程设计与运行情况。该系统共分三个工艺段,采用两床三塔离子交换预处理、RO反渗透及混床离子交换工艺的纯水后段制备系统、抛光混床以及膜脱气和终端超滤的抛光精处理系统,确保产... 文章介绍了江苏某12吋半导体芯片项目工厂超纯水系统的工程设计与运行情况。该系统共分三个工艺段,采用两床三塔离子交换预处理、RO反渗透及混床离子交换工艺的纯水后段制备系统、抛光混床以及膜脱气和终端超滤的抛光精处理系统,确保产水水质达到电子级高纯度纯水使用需求。该系统水平衡完整,满足同时考虑处理水量和自用水量,并且通过小流量循环的方式,能够适应用水量波动,有效降低系统能耗和药剂消耗的同时提升了整套系统超纯水供水的稳定性。系统在连续运行期间,超纯水离子浓度第三方检测合格,电阻率、颗粒度、TOC、DO、SiO2等指标连续在线监测合格,达到系统设计和使用要求。 展开更多

关键词 12寸超纯水系统 两床三塔 抛光树脂 膜脱气 终端超滤

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半导体超纯水中微粒子监测故障与对策

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作者 温鑫 郑伟 +4 位作者 顾凯凯 蔡鹏鹏 杨文杰 李霆 韩迪凯 《洁净与空调技术》 2024年第3期53-56,共4页

微粒子是半导体超纯水中核心的微污染控制指标,在线监测100nm和50nm粒子数浓度成为保障12英寸半导体生产工艺用水的关键措施。在超纯水制备系统的配送点(POD),激光粒子计数器(LPC)发生监测报警,影响了制备系统的运行和工艺设备的生产预... 微粒子是半导体超纯水中核心的微污染控制指标,在线监测100nm和50nm粒子数浓度成为保障12英寸半导体生产工艺用水的关键措施。在超纯水制备系统的配送点(POD),激光粒子计数器(LPC)发生监测报警,影响了制备系统的运行和工艺设备的生产预警。研究简述了超纯水中颗粒物对半导体生产工艺的影响,分析了微纳气泡(MNBs)被光感应器累计测量导致计数器误判报警的原因。通过采样解吸系统(SDS)的中试试验,消除了气泡颗粒形成的83%的粒子浓度干扰,还原了真实的在线检测值(平均粒子浓度0.06pcs/mL),为半导体工厂湿法清洗的质量监控提供了稳定保障。 展开更多

关键词 超纯水 超纯水制备系统 配送点 微纳气泡 微粒子 激光粒子计数器

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超大规模集成电路用超纯水制备系统的设计 被引量：4

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作者 刘朋 王水弟 +1 位作者 杨宝和 陈为红 《实验技术与管理》 CAS 2003年第6期15-19,共5页

本文介绍了一套超大规模集成电路(VLSI)用10m3/h超纯水系统的设计要点.经实际运行,性能稳定、操作简单、自动化程度高,有很好的示范作用.

关键词 超大规模集成电路 超纯水制备系统 流程 水质 自动化

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采用离子色谱法 准确测定饮用水中溴酸盐含量

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作者 宋爽 《中国食品》 2020年第8期122-122,共1页

对于使用臭氧深度氧化的自来水厂来说,出水水质中的微量溴酸盐含量是生态环境保护部门的检查重点。本文即采用离子色谱法对饮用水中的溴酸盐含量进行检测。一、实验部分1.仪器与试剂。实验使用的离子色谱仪器来自于瑞士万通公司,型号为8... 对于使用臭氧深度氧化的自来水厂来说,出水水质中的微量溴酸盐含量是生态环境保护部门的检查重点。本文即采用离子色谱法对饮用水中的溴酸盐含量进行检测。一、实验部分1.仪器与试剂。实验使用的离子色谱仪器来自于瑞士万通公司,型号为882;此外,还包括MetrosepuASupp4阴离子分离柱、全自动进样器、H-Ag柱前清洗柱、超纯水系统等。 展开更多

关键词 溴酸盐 自来水厂 超纯水系统 离子色谱法 生态环境保护 饮用水 自动进样器 离子色谱仪

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GE超纯水系统项目荣获绿色创想领袖奖

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《中国水利》 北大核心 2009年第12期70-70,共1页

2009年6月12日，隶属于GE能源集团的GE水处理及工艺过程处理授予上海广电富士光电材料有限公司绿色创想领袖奖，以表彰其在水资源高效利用以及降低成本方面所作出的努力。

关键词 超纯水系统 GE 领袖 光电材料 过程处理 高效利用 水处理 低成本

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