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基于指数分布论域模糊PID的超精密金刚石车床导轨运动控制
1
作者
李兆中
岳晓斌
+1 位作者
孙守利
阳红
《制造技术与机床》
北大核心
2021年第6期99-103,共5页
针对传统PID控制难以适应超精密加工中存在多种非线性扰动的问题,通过MATLAB/Simulink仿真对比了PID参数对超精密金刚石车床导轨阶跃响应的影响规律,提出了一种模糊PID论域优化方法,并将优化后得到的指数分布论域模糊PID控制方法应用于...
针对传统PID控制难以适应超精密加工中存在多种非线性扰动的问题,通过MATLAB/Simulink仿真对比了PID参数对超精密金刚石车床导轨阶跃响应的影响规律,提出了一种模糊PID论域优化方法,并将优化后得到的指数分布论域模糊PID控制方法应用于车床导轨的控制。仿真结果表明,相比传统的定参数PID控制,指数分布论域模糊PID控制方法使系统响应速度变快,表现出更优的控制效果。
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关键词
超精
密
金刚石
车床
液体静压导轨
响应速度
模糊控制
论域优化
下载PDF
职称材料
光栅刻划机直线度误差补偿的研究
被引量:
3
2
作者
黄元申
董成成
+5 位作者
黄运柏
盛斌
周红艳
孙乐
杨海马
张大伟
《光谱学与光谱分析》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第3期946-951,共6页
中阶梯光栅是一种特殊的衍射光栅,它以高的衍射级次和大的衍射角来工作,具有高分辨率、全波闪耀等特性。已广泛应用于高端光谱仪器之中,极大地促进了航天航空、天文、医疗、军事、环境等尖端科技的发展。但是专业的刻划系统需要定制,价...
中阶梯光栅是一种特殊的衍射光栅,它以高的衍射级次和大的衍射角来工作,具有高分辨率、全波闪耀等特性。已广泛应用于高端光谱仪器之中,极大地促进了航天航空、天文、医疗、军事、环境等尖端科技的发展。但是专业的刻划系统需要定制,价格昂贵。使用已成熟的超精密加工设备来加工中阶梯光栅,可以大大降低中阶梯光栅母版的制备成本。超精密单点金刚石车床制备中阶梯光栅时,系统直线度不好,存在较大的累积误差,导致中阶梯光栅衍射波前较差,达不到制备要求。为了减小超精密单点金刚石车床固有的直线度误差,对超精密单点金刚石车床进行了误差补偿。首先,以累积误差曲线为依据进行第一次补偿。实验结果表明,当补偿系数为0.75~0.85时,此时衍射波前的PV(峰谷值)值在约400 nm,一次直线度补偿效果到达极限。然后,以闪耀级的衍射波前曲线为依据进行第二次直线度补偿,二次补偿后的衍射波前PV值为约83 nm。补偿后的结果表明衍射波前得到大幅改善,有利于提高所制备光栅的质量,在光栅实际刻划中具有指导作用。
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关键词
中阶梯光栅
超精
密
单点
金刚石
车床
直线度
衍射波前
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职称材料
题名
基于指数分布论域模糊PID的超精密金刚石车床导轨运动控制
1
作者
李兆中
岳晓斌
孙守利
阳红
机构
中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
出处
《制造技术与机床》
北大核心
2021年第6期99-103,共5页
基金
国家自然科学基金(51305413)
装发部预研重点基金项目(61400030401)
中物院超精密加工技术重点实验室基金(K1128)。
文摘
针对传统PID控制难以适应超精密加工中存在多种非线性扰动的问题,通过MATLAB/Simulink仿真对比了PID参数对超精密金刚石车床导轨阶跃响应的影响规律,提出了一种模糊PID论域优化方法,并将优化后得到的指数分布论域模糊PID控制方法应用于车床导轨的控制。仿真结果表明,相比传统的定参数PID控制,指数分布论域模糊PID控制方法使系统响应速度变快,表现出更优的控制效果。
关键词
超精
密
金刚石
车床
液体静压导轨
响应速度
模糊控制
论域优化
Keywords
ultra-precision diamond lathe
hydrostatic guideway
response speed
fuzzy control
universe optimization
分类号
TH69 [机械工程—机械制造及自动化]
TP273 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
光栅刻划机直线度误差补偿的研究
被引量:
3
2
作者
黄元申
董成成
黄运柏
盛斌
周红艳
孙乐
杨海马
张大伟
机构
教育部光学仪器与系统工程研究中心
上海市现代光学系统重点实验室
出处
《光谱学与光谱分析》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第3期946-951,共6页
基金
国家自然科学基金项目(61378060.61205156)
上海市科学仪器重点项目(14142200902)资助
文摘
中阶梯光栅是一种特殊的衍射光栅,它以高的衍射级次和大的衍射角来工作,具有高分辨率、全波闪耀等特性。已广泛应用于高端光谱仪器之中,极大地促进了航天航空、天文、医疗、军事、环境等尖端科技的发展。但是专业的刻划系统需要定制,价格昂贵。使用已成熟的超精密加工设备来加工中阶梯光栅,可以大大降低中阶梯光栅母版的制备成本。超精密单点金刚石车床制备中阶梯光栅时,系统直线度不好,存在较大的累积误差,导致中阶梯光栅衍射波前较差,达不到制备要求。为了减小超精密单点金刚石车床固有的直线度误差,对超精密单点金刚石车床进行了误差补偿。首先,以累积误差曲线为依据进行第一次补偿。实验结果表明,当补偿系数为0.75~0.85时,此时衍射波前的PV(峰谷值)值在约400 nm,一次直线度补偿效果到达极限。然后,以闪耀级的衍射波前曲线为依据进行第二次直线度补偿,二次补偿后的衍射波前PV值为约83 nm。补偿后的结果表明衍射波前得到大幅改善,有利于提高所制备光栅的质量,在光栅实际刻划中具有指导作用。
关键词
中阶梯光栅
超精
密
单点
金刚石
车床
直线度
衍射波前
Keywords
Echelle grating
Ultra precision single point diamond lathe
Straightness
Diffraction wave front
分类号
O433.4 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于指数分布论域模糊PID的超精密金刚石车床导轨运动控制
李兆中
岳晓斌
孙守利
阳红
《制造技术与机床》
北大核心
2021
0
下载PDF
职称材料
2
光栅刻划机直线度误差补偿的研究
黄元申
董成成
黄运柏
盛斌
周红艳
孙乐
杨海马
张大伟
《光谱学与光谱分析》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017
3
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
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参考文献
引证文献
统计分析
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