基于超精密激光直写系统制作二维光栅 被引量：13

1

作者 李民康 向显嵩 +5 位作者 周常河 韦春龙 贾伟 项长铖 鲁云开 朱世曜 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第9期38-46,共9页

二维光栅是光刻机光栅尺系统的核心元件。搭建了超精密激光直写系统,基于二维超精密工件台,通过旋转基片90°进行两次曝光,制作出栅线密度为1200 line/mm的二维光栅掩模。原子力显微镜和扫描电镜结果表明,所制作的掩模轮廓清晰,空... 二维光栅是光刻机光栅尺系统的核心元件。搭建了超精密激光直写系统,基于二维超精密工件台,通过旋转基片90°进行两次曝光,制作出栅线密度为1200 line/mm的二维光栅掩模。原子力显微镜和扫描电镜结果表明,所制作的掩模轮廓清晰,空间分布均匀。实验结果证明了超精密激光直写系统能够制作出二维光栅掩模,在制作大尺寸、高精度二维计量光栅方面有着广阔的应用前景。 展开更多

关键词 光栅 超精密系统 激光直写 栅距测量

原文传递

纳米级运动轨迹规划和控制

2

作者 李爱琳 李璟 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第17期2534-2545,共12页

为了提高超精密设备中多自由度工作台的效率和精度,在满足纳米精度要求的同时提高工程调试与集成效率,提出了一种针对多自由度工作台的轨迹规划方案。对前道工艺的应用场景和机电系统能力进行分析描述,聚焦轨迹规划的难点,提出了整定控... 为了提高超精密设备中多自由度工作台的效率和精度,在满足纳米精度要求的同时提高工程调试与集成效率,提出了一种针对多自由度工作台的轨迹规划方案。对前道工艺的应用场景和机电系统能力进行分析描述,聚焦轨迹规划的难点,提出了整定控制参数和确定轨迹动力学约束参数的方法。通过差分进化算法整定反馈控制器参数,再以控制器的实际跟踪效果和应用需求为优化目标,运用蒙特卡洛算法对参考轨迹进行优化迭代。最后与传统工程调试进行了实验对比。实验结果表明:在工作台扫描运动的重复定位精度均达到±5 nm/3σ要求的前提下,本文提出的方案能使跟踪误差快速收敛,调参次数减少约90%。该方案在保证超高运动定位精度的同时能够有效地提高工程调试与集成效率。 展开更多

关键词 超精密系统 轨迹规划 蒙特卡洛算法 跟踪控制 多自由度耦合

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非球面曲面的超精密加工与测量技术的研究 被引量：14

3

作者 罗松保 张建明 《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 2003年第9期58-61,共4页

全面介绍了“九五”重点预研课题———“非球面曲面的超精密加工与测量技术”的研究内容及其成果。其主要研究内容有 :非球面曲面的超精密加工系统的研究、非球面曲面的超精密加工工艺的研究、非球面曲面的超精密测量技术的研究。其主... 全面介绍了“九五”重点预研课题———“非球面曲面的超精密加工与测量技术”的研究内容及其成果。其主要研究内容有 :非球面曲面的超精密加工系统的研究、非球面曲面的超精密加工工艺的研究、非球面曲面的超精密测量技术的研究。其主要研究成果有 :高精度、高刚性高速空气静压主轴技术 ,高精度、高刚性闭式液体静压导轨技术 ,超精密车削系统 ,超精密磨削系统 ,高性能。 展开更多

关键词 非球面曲面 超精密加工 测量技术 高速空气静压主轴 闭式液体静压导轨 超精密车削系统 超精密磨削系统 数控系统

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基于积分分离数字PID控制的超精密定位系统的设计 被引量：4

4

作者 叶树亮 王克奇 《自动化技术与应用》 2003年第10期65-67,共3页

作为精密加工工业的基础 ,超精密定位技术已经成为高精度加工的关键环节之一。本文设计了集位移数据采集、处理、控制于一体的超精密定位系统。在阐述了PID控制算法的一般原理基础上 ,采用了一种基于积分分离数字PID的控制算法 。

关键词 数字PID控制 超精密定位系统 系统设计 闭环控制 超精密车床

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超精密隔振系统的建模与参数辨识 被引量：4

5

作者 董卡卡 蒲华燕 +1 位作者 徐振高 陈学东 《武汉理工大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第1期125-129,133,共6页

根据超精密隔振器的内部结构和隔振系统的布置形式,建立了超精密隔振系统的动力学模型,并在此基础上推导出理论频响函数。提出了隔振系统的频响测试方法,根据测试数据的特征值,计算获得了隔振系统动力学参数的初始值。采用参数调整法,... 根据超精密隔振器的内部结构和隔振系统的布置形式,建立了超精密隔振系统的动力学模型,并在此基础上推导出理论频响函数。提出了隔振系统的频响测试方法,根据测试数据的特征值,计算获得了隔振系统动力学参数的初始值。采用参数调整法,使理论频响曲线不断逼进实验频响曲线,从而辨识出隔振系统的动力学参数。实验和误差分析结果验证了动力学模型的有效性和辨识参数的可信性。 展开更多

关键词 超精密隔振系统 动力学模型 频响函数 参数辨识 误差分析

原文传递

超精密运动系统跟踪误差定量分析 被引量：3

6

作者 戴渌爻 李鑫 +1 位作者 朱煜 张鸣 《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2019年第16期4910-4918,共9页

直线或平面电机驱动的超精密运动系统加减速域跟踪误差对建立时间有重要影响,定量分析加减速域跟踪误差并建立解析模型,对减小建立时间有重要的工程与学术价值。针对工程实际中的数字控制系统,该文基于单质量块刚体和双质量块柔性体模型... 直线或平面电机驱动的超精密运动系统加减速域跟踪误差对建立时间有重要影响,定量分析加减速域跟踪误差并建立解析模型,对减小建立时间有重要的工程与学术价值。针对工程实际中的数字控制系统,该文基于单质量块刚体和双质量块柔性体模型,在离散域建立跟踪误差与前馈控制器、反馈控制器和目标轨迹之间的解析模型,从物理层面深入分析超精密运动系统加减速域轨迹跟踪误差产生机理。定量分析表明,在给定的前馈控制器和反馈控制器作用下,时域上加减速域跟踪误差与目标轨迹特定阶次的导数近似成正比。在跟踪误差定量分析的基础上,提出一种前馈控制器参数整定方法。实验验证误差分析的正确性和前馈控制器参数整定方法的有效性。 展开更多

关键词 超精密运动系统 加减速域跟踪误差 定量分析 参数整定

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纳米级精密机械的设计及特性

7

作者 Ying Xu P.D.Atherton +2 位作者 M.McConnell T.R.Hicks 雍玲 《国防科技参考》 1997年第3期90-93,共4页

最近,Queensgate仪器有限公司研制出一系列超精定位机械,它们将Queensgate的压电及纳米级传感器技术融合为具有亚纳米级定位精度能力的多轴定位控制器。在这篇论文中,将介绍和讨论在这些机械的研制中所用到的一些技术,以解释如何获得纳... 最近,Queensgate仪器有限公司研制出一系列超精定位机械,它们将Queensgate的压电及纳米级传感器技术融合为具有亚纳米级定位精度能力的多轴定位控制器。在这篇论文中,将介绍和讨论在这些机械的研制中所用到的一些技术,以解释如何获得纳米或亚纳米级水平的计量能力。 展开更多

关键词 纳米级 精密机械 超精密定位系统

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基于Modelica的超精密隔振系统多领域建模与仿真

8

作者 陈改平 李子龙 +1 位作者 罗欣 金建新 《现代制造工程》 CSCD 北大核心 2015年第2期18-23,107,共7页

超精密隔振系统是由机械、电气和流体装置组成的复杂机电系统,为实现多领域统一建模仿真,选择Modelica语言进行建模。采用模块化建模方法将隔振系统自顶向下进行分解,基于Modelica分别建立各元部件的动力学模型。以此为基础建立了隔振... 超精密隔振系统是由机械、电气和流体装置组成的复杂机电系统,为实现多领域统一建模仿真,选择Modelica语言进行建模。采用模块化建模方法将隔振系统自顶向下进行分解,基于Modelica分别建立各元部件的动力学模型。以此为基础建立了隔振单元及控制系统的模型,最终组建了系统级多领域仿真模型,实现模型的仿真及结果输出;与实验所测数据进行比对,结果基本一致,验证了模型的准确性及有效性,对于精密隔振系统的动力学性能研究具有非常重要的意义。 展开更多

关键词 超精密隔振系统 MODELICA语言 多领域建模

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超精密机床进给系统的QFT控制器的设计 被引量：2

9

作者 郑子文 李圣怡 《国防科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第1期81-84,99,共5页

超精密机床进给机构中存在的不确定因素及非线性因素对进给系统跟踪控制精度有较大影响 ,采用合适的控制器能够有效提高其跟踪控制精度。QFT是在相频平面上的一种图形化的鲁棒控制系统设计方法。本文采用QFT理论设计了鲁棒跟踪控制器 ,... 超精密机床进给机构中存在的不确定因素及非线性因素对进给系统跟踪控制精度有较大影响 ,采用合适的控制器能够有效提高其跟踪控制精度。QFT是在相频平面上的一种图形化的鲁棒控制系统设计方法。本文采用QFT理论设计了鲁棒跟踪控制器 ,并应用了速度前馈和误差积分控制。仿真结果显示 ,进给系统在被控对象参数发生较大变化时仍达到了数十纳米的跟踪控制精度 。 展开更多

关键词 超精密机床进给系统 QFT 跟踪控制

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光学超精密抗振系统的鲁棒控制 被引量：3

10

作者 陆振宇 朱日宏 +1 位作者 陈磊 高志山 《重庆大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第11期23-26,共4页

将鲁棒控制技术应用于主动抗振控制系统中,并用于解决光学超精密抗振系统的不确定性问题,其中采用小波分析方法将随机振动信号进行时频分析后得到低频全局信息,随后设计鲁棒控制器对低频振动进行抑制,该方法克服了由模型自身和外部干扰... 将鲁棒控制技术应用于主动抗振控制系统中,并用于解决光学超精密抗振系统的不确定性问题,其中采用小波分析方法将随机振动信号进行时频分析后得到低频全局信息,随后设计鲁棒控制器对低频振动进行抑制,该方法克服了由模型自身和外部干扰所引起的不确定性,使得控制系统能够有效地抑制抗振模型的不确定性和外部振动的干扰,同时也具有很高的控制精度和灵敏度。仿真结果表明,该方法使光学测量设备在外部振动的干扰下具有较好的鲁棒稳定性和控制精度,同时也能较好的抑制低频振动。 展开更多

关键词 光学超精密抗振系统 鲁棒控制技术 主动振动控制 小波分析

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用微型机器人构筑超精密生产系统

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作者 刘利 《机器人技术与应用》 1996年第6期11-11,共1页

无论是机床还是测量机,其体积越大,往往越难于实现高精度化.因此“微型化”是通向超精密化的重要途径之一,而小型自走式机器人则是超精密化系统之核心.指导思想 日本静冈大学工学部机械工学科副教授青山尚之先生认为,只要在工件上... 无论是机床还是测量机,其体积越大,往往越难于实现高精度化.因此“微型化”是通向超精密化的重要途径之一,而小型自走式机器人则是超精密化系统之核心.指导思想 日本静冈大学工学部机械工学科副教授青山尚之先生认为,只要在工件上配置若干个微型机器人,并使这些机器人分别携带适当的工具,便可进行廉价的精密作业. 展开更多

关键词 超精密生产系统 生产系统 微型机器人 机器人

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第二届“上银优秀机械博士论文奖”获奖名单及概要

12

《制造技术与机床》 北大核心 2013年第4期151-151,共1页

第2届上银优秀机械博士论文奖——金奖超精密磨齿中的机床精化及磨齿工艺研究作者:凌四营;毕业院校:大连理工大学;指导教师:王立鼎概要:基准级标准齿轮是齿轮量值传递的实体基准,它的制造精度标志着一个国家超精密齿轮的技术实力,也是... 第2届上银优秀机械博士论文奖——金奖超精密磨齿中的机床精化及磨齿工艺研究作者:凌四营;毕业院校:大连理工大学;指导教师:王立鼎概要:基准级标准齿轮是齿轮量值传递的实体基准,它的制造精度标志着一个国家超精密齿轮的技术实力,也是一个国家超精密制造技术水平的重要标志之一。国外超精密齿轮的工业小批量生产水平可到2级(ISO1328-1:1995,下同)精度,而国产磨齿机的最高磨齿精度及商品标准齿轮的最高制造精度仅为3级。 展开更多

关键词 晶须增韧陶瓷刀具 纳米机械加工 分子动力学模拟 超精密隔振系统 热误差补偿 超精密齿轮 数控磨齿机 渐开线变厚齿轮

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