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超精密定位平台的测量系统研究被引量：4: 1; 作者王文李欣欣《机电工程》 CAS 2006年第4期13-16,34,共5页; 超精密工作平台已经成为IC和MEMS等行业完成加工、测量工作的基本设备平台。如何提高平台测量系统的精度,从而提高平台的定位精度是目前超精密工作平台所面临的一大难题。对现有的超精密工作平台的基本结构以及常见的精密测量系统进行... 展开更多; 关键词超精密平台测量系统平面编码器; 下载PDF 职称材料

微细电火花三维成型加工控制系统的研究被引量：1: 2; 作者林海波杨国哲《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 2009年第11期13-15,共3页; 构造了一个可实现纳米级微量进给的运动平台,并对该平台的控制技术进行了研究,提出了数字PID结合双向静差补偿策略。该补偿策略作为微细电火花加工控制系统的组成部分,大大提高了运动平台的运动精度。实验结果证明此系统运行良好,具有... 展开更多; 关键词压电陶瓷电动机超精密平台双向静差补偿; 下载PDF 职称材料

负载对超精密平台性能影响的研究: 3; 作者林海波杨国哲《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 2010年第3期35-37,共3页; 对平台整体进行设计,选择压电陶瓷低速电动机为驱动元件,Renishaw敞开式增量光栅作为位置反馈元件,并对平台在空载和负载情况下的性能进行实验和分析,显示负载情况对平台在前进、后退,转向时都有一定的影响,并提出对策,为研究微动工作... 展开更多; 关键词负载平台性能超精密平台压电陶瓷电动机; 下载PDF 职称材料

超精密隔振平台主动振动控制系统设计被引量：8: 4; 作者浦军梅德庆陈子辰《机械设计》 CSCD 北大核心 2003年第7期31-33,共3页; 建立了超精密隔振平台的结构及动力学模型,设计了一种新型的双向电磁作动器,并采用PID控制算法建立了主动振动控制系统模型,经Matlab软件仿真分析表明,该系统具有良好的隔振效果。; 关键词超精密隔振平台主动振动控制系统设计双向电磁作动器振动控制 PID控制精密加工; 下载PDF 职称材料

空间三平移柔顺并联超精密定位平台设计与分析被引量：3: 5; 作者江涛朱大昌《煤矿机械》北大核心 2011年第10期49-52,共4页; 空间三平移柔顺并联超精密定位平台支撑结构具有全柔性特性,通过压电陶瓷驱动器驱动。通过对全柔性支链静刚度分析,建立其运动仿真模型。基于柔性变形理论对空间三平移柔顺并联超精密定位系统运动耦合特性进行分析,并采用ANSYS有限元分... 展开更多; 关键词超精密定位平台柔顺并联机构运动耦合有限元分析; 下载PDF 职称材料

直角坐标机器人视觉系统实现被引量：1: 6; 作者汪成义肖勇郑哲《信息系统工程》 2013年第10期30-31,共2页; 针对生产线上工件定位需求,本论文研究直角坐标机器人视觉系统的软硬件设计。利用工业摄像机获取工件及周边环境的信息,通过平滑处理和边缘检测,识别出工件的准确位置,以引导机器人进行目标工件的准确抓取等操作。基于VC平台的实验结果... 展开更多; 关键词超精密定位平台工业摄像机平滑处理边缘检测; 下载PDF 职称材料

超精密运动平台主动隔振系统动力学模型理论与实验研究被引量：1: 7; 作者林海波杨国哲《组合机床与自动化加工技术》北大核心 2012年第2期33-36,共4页; 超精密运动平台振动控制系统是一个带不确定非线性系统。搭建了精密运动平台减振系统,设计了一种以空气弹簧为隔振元件,主/被动隔振在主动隔振和被动隔振之间通过开启电源进行切换的系统,分析并构建了系统的动力学模型,并对平台的主动... 展开更多; 关键词直线电机主动隔振超精密运动平台; 下载PDF 职称材料

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