高功率激光光学元件超精密制造技术 被引量：4

1

作者 许乔 陈贤华 +3 位作者 汪圣飞 钟波 谢瑞清 王健 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第17期195-213,共19页

用于惯性约束聚变的高功率固体激光装置需使用上万件大口径光学元件,激光装置极端的设计性能对光学元件提出了全空间频段(空间频率范围为μm^(-1)级至m^(-1)级)精度指标和高抗激光损伤的制造要求,形成确定性、高性能的强激光光学元件制... 用于惯性约束聚变的高功率固体激光装置需使用上万件大口径光学元件,激光装置极端的设计性能对光学元件提出了全空间频段(空间频率范围为μm^(-1)级至m^(-1)级)精度指标和高抗激光损伤的制造要求,形成确定性、高性能的强激光光学元件制造能力是制造激光装置的基础。总结了近年来大口径高功率激光光学元件超精密制造技术及装备方面的研究进展,重点介绍了超精密磨削成形技术、保形快速抛光技术、确定性抛光技术、晶体超精密切削技术及低缺陷制造技术,并分析了高功率激光光学元件制造的未来发展趋势。 展开更多

关键词 测量 先进光学制造 高功率激光 超精密制造

原文传递

揭秘“精密机械之王” 被引量：4

2

作者 唐玉国 巴音贺希格 +1 位作者 竺长安 金一 《中国基础科学》 2018年第2期48-52,62,共6页

大型光学系统及高端科学仪器对我国科学研究、国防安全、经济建设和社会民生等各领域的进步和发展具有极其重要的作用。其发展的重要趋势是:视场不断增大,分辨力不断提高,相应地要求光学元器件扩大口径和提高精度。而光栅是一类以机械... 大型光学系统及高端科学仪器对我国科学研究、国防安全、经济建设和社会民生等各领域的进步和发展具有极其重要的作用。其发展的重要趋势是:视场不断增大,分辨力不断提高,相应地要求光学元器件扩大口径和提高精度。而光栅是一类以机械刻划方式制造的具有宏观尺度的纳米精度周期性特种功能结构,是大型光学系统和科学仪器的核心光学元件,需要纳米级的加工精度和表面粗糙度,这不仅要求打破传统的光学精密机械制造原理及系统控制策略,实现纳米级的长行程超精密定位技术,还需要研究制造原理和质量控制的评价标准。传统的光栅制造技术及制造装备已经无法满足上述要求,严重制约了我国在这一领域的战略发展。因此,本文简要介绍了大面积光栅制造相关国家973计划项目的主要研究内容,重点介绍了为获得纳米刻线精度的大面积光栅而研制的具有新原理、新技术的大面积高精度光栅机械刻划系统。 展开更多

关键词 大面积光栅 刻划光栅 光栅刻划机 超精密制造

原文传递

非球面纳米精度可控柔体制造技术

3

作者 周港 郭双鹏 +7 位作者 石峰 翟德德 铁贵鹏 彭星 田野 谢凌波 王博 朱喆 《中国科学：技术科学》 EI CSCD 北大核心 2023年第8期1337-1350,共14页

非球面被广泛应用于光学系统,其可被用来整形像差,改善画质,同时使光学系统更为紧凑,要求其具有纳米级面形精度与低吸收光学性质.目前超精密制造过程中,以恒定的去除函数解算面形误差,而光学表面误差分布复杂,针对不同频段与高度误差需... 非球面被广泛应用于光学系统,其可被用来整形像差,改善画质,同时使光学系统更为紧凑,要求其具有纳米级面形精度与低吸收光学性质.目前超精密制造过程中,以恒定的去除函数解算面形误差,而光学表面误差分布复杂,针对不同频段与高度误差需迭代多次.针对这一问题,本研究团队提出了可控柔体制造技术,即去除函数随不同误差分布可控改变.本团队基于该理念,将传统连续出射的离子束可控离散,实现脉冲离子束超高分辨修形,并用于表面原子结构的光学性质调控,同时对于中频误差,以去除函数主动可控旋转的方式实现亚纳米级中频抑制技术,最后以大口径单晶硅为例,使用子孔径拼接技术完成了大口径非球柱面反射镜测量,实现了非球面镜的纳米精度可控柔体制造.本文结合本研究团队近几年的最新研究成果,总结了非球面可控柔体制造技术,通过探讨其发展现状,为非球面镜的纳米制造技术的发展提供参考. 展开更多

关键词 纳米精度制造 非球面 超精密制造 可控柔体制造

原文传递

五自由度自由曲面加工系统及其CAM设计

4

作者 吕宝华 韩福柱 +1 位作者 程灏波 陈希明 《光学技术》 CAS CSCD 北大核心 2007年第S1期185-186,189,共3页

研究横式结构数控电火花线切割机床,用于自由曲面型面的超精密制造。基于机器人运动学理论建立五自由度机床坐标系统并推导出数学模型。实施加工过程中运动轴位移量补偿计算,开发了精密加工系统的计算机辅助制造功能。解决了从坐标点到... 研究横式结构数控电火花线切割机床,用于自由曲面型面的超精密制造。基于机器人运动学理论建立五自由度机床坐标系统并推导出数学模型。实施加工过程中运动轴位移量补偿计算,开发了精密加工系统的计算机辅助制造功能。解决了从坐标点到各轴位移量的转换计算问题。 展开更多

关键词 自由曲面 超精密制造 电火花线切割 机器人运动学

原文传递

切削参数对新型光学铝级金刚石车削刀具磨损的影响（英文）

5

作者 OTIENO T ABOU-El-HOSSEIN K 《中国光学》 EI CAS CSCD 2016年第5期579-587,共9页

光学器件和光学测量系统的关键部件主要通过超精密加工制造。铝合金具有很多优势,通常用于光子产业。光学领域对铝合金使用和需求的不断增加,促进了在铸造过程中采用快速凝固技术对铝合金等级重新改良的发展。优异的微观结构和改进的机... 光学器件和光学测量系统的关键部件主要通过超精密加工制造。铝合金具有很多优势,通常用于光子产业。光学领域对铝合金使用和需求的不断增加,促进了在铸造过程中采用快速凝固技术对铝合金等级重新改良的发展。优异的微观结构和改进的机械和物理性能是新型铝合金等级的特点。目前主要问题在于采用金刚石车削时,由于在切削性方面缺乏对铝合金性能的充分研究,导致机械加工数据库非常有限。本文通过改变金刚石的切削参数,测量切齿安装距超过4 km时金刚石刀具的磨损,研究了快速凝固铝合金RSA 905的切削性能。改变的机械加工参数为切削速度、进给速度和切削深度。结果表明切削速度对金刚石刀具的磨损影响最大。主轴转速为500 rpm、进给速度为25 mm/min、切削深度为15μm时,刀具磨损达到最大值12.2μm;主轴转速为1 750 rpm、进给速度为5 mm/min、切削深度为5μm时,刀具磨损达到最小值2.45μm。通常,较高的切削速度、较低的进给速度和较短的切削深度的组合可以减少金刚石刀具磨损。建立了模型统计以分析金刚石刀具磨损。通过该模型可以生成磨损图,从而确定切削参数产生最小磨损的区域。结果证明,快速凝固铝是更好的选择,为机械工程师使用这种材料提供了参考。 展开更多

关键词 快速凝固铝 超精密制造 磨损 金刚石车削 光学工程

下载PDF 职称材料

大口径强激光光学元件超精密制造技术研究进展 被引量：12

6

作者 樊非 徐曦 +13 位作者 许乔 王健 钟波 谢瑞清 雷向阳 陈贤华 汪圣飞 侯晶 邓文辉 安晨辉 周炼 赵世杰 廖德锋 朱玉洁 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2020年第8期1-13,共13页

惯性约束聚变高功率固体激光装置研制对大口径光学元件提出了全频段精度控制指标要求,以及高效率、批量化制造需求。本文围绕“超精密、确定性”强激光光学元件全流程制造方法,总结了近几年大口径强激光光学元件超精密制造技术取得的重... 惯性约束聚变高功率固体激光装置研制对大口径光学元件提出了全频段精度控制指标要求,以及高效率、批量化制造需求。本文围绕“超精密、确定性”强激光光学元件全流程制造方法,总结了近几年大口径强激光光学元件超精密制造技术取得的重要进展,重点介绍了单点金刚石超精密切削技术、非球面超精密数控磨削技术、确定性抛光技术等一系列关键技术,以及相关工艺及装备在强激光光学元件批量制造流程线中的应用情况。 展开更多

关键词 高功率固体激光装置 大口径光学元件 光学超精密制造技术 确定性抛光

下载PDF 职称材料

智能化与精密超精密制造 被引量：3

7

作者 廖世宾 赵春柳 +1 位作者 徐志强 于兰萍 《导航与控制》 2015年第1期2-7,共6页

随着移动互联、物联网、云计算、大数据的发展融合,数字化制造的潮流在国外已经顺应制造业的变革而形成。德国'工业4.0'、美国基于模型的企业(MBE)的概念,推动了世界制造的进步与提升。作为制造大国向制造强国迈进的我国,也一... 随着移动互联、物联网、云计算、大数据的发展融合,数字化制造的潮流在国外已经顺应制造业的变革而形成。德国'工业4.0'、美国基于模型的企业(MBE)的概念,推动了世界制造的进步与提升。作为制造大国向制造强国迈进的我国,也一直关注并高度重视工业制造的数字化建设。本文以此为背景详细叙述了智能制造的发展历程、特点要求和技术装置。重点介绍了智能制造在精密超精密加工制造领域的可行性应用和发展前景。 展开更多

关键词 工业4.0 智能化 精密与超精密制造

原文传递

大口径菲涅尔透镜制造关键技术研究与应用

8

作者 张益民 吴庆富 《光电子》 2023年第3期92-101,共10页

大口径菲涅尔透镜已经成为现代新型投影显示终端核心光学器件,受大口径超精密金刚石机床尺寸限制,大口径菲涅尔透镜制造一直是是世界性技术难题,超大口径菲涅尔透镜制造成为新型投影显示领域制造的技术瓶颈。本文发明了一种大口径菲涅... 大口径菲涅尔透镜已经成为现代新型投影显示终端核心光学器件,受大口径超精密金刚石机床尺寸限制,大口径菲涅尔透镜制造一直是是世界性技术难题,超大口径菲涅尔透镜制造成为新型投影显示领域制造的技术瓶颈。本文发明了一种大口径菲涅尔透镜制造应用创新平台。通过在数控压印光学辊筒超精密金刚石机床上采用金刚石雕刻刀具雕刻菲涅尔微细结构在锥形压印辊筒上的方法,独创一种大口径制造菲涅尔透镜的新方法,同时实现菲涅尔透镜多个领域应用。 展开更多

关键词 大口径菲涅尔 光学透镜 超精密制造创新平台 投影显示 光学屏幕

下载PDF 职称材料

数据挖掘技术在超精密光学制造中的应用 被引量：2

9

作者 员天佑 刘金 李兴兰 《制造业自动化》 北大核心 2014年第21期154-156,共3页

超精密光学制造受环境、设备和工艺等多种因素的影响,不确定性强,产品成品率低,可重复性差,对加工经验的依赖程度高,为了提高光学制造的确定性、重复性和可预测性,需要对加工过程数据进行分析,发掘数据背后的潜在规律,提炼工艺知识,指... 超精密光学制造受环境、设备和工艺等多种因素的影响,不确定性强,产品成品率低,可重复性差,对加工经验的依赖程度高,为了提高光学制造的确定性、重复性和可预测性,需要对加工过程数据进行分析,发掘数据背后的潜在规律,提炼工艺知识,指导设计生产。为此构建了一种基于数据挖掘技术的光学制造工艺知识库系统,并对系统架构、数据挖掘模型和算法进行了研究,为超精密光学制造系统的技术改进提供了参考。 展开更多

关键词 超精密光学制造 数据挖掘 MAS 工艺知识库

下载PDF 职称材料

激光与光谱技术的应用:复旦大学光学技术的一些历史与进展 被引量：3

10

作者 陈良尧 钱列加 +1 位作者 徐敏 赵海斌 《物理与工程》 2015年第3期26-33,共8页

复旦大学光学学科历经60余年的发展,在激光与光谱技术的应用领域取得了许多重要的成果,自20世纪50年代研制成功我国第一个医用X射线光管到如今各类先进光谱仪器、激光器件和国防应用特种设备的开发凝聚了几代教师的汗水与智慧.本文将简... 复旦大学光学学科历经60余年的发展,在激光与光谱技术的应用领域取得了许多重要的成果,自20世纪50年代研制成功我国第一个医用X射线光管到如今各类先进光谱仪器、激光器件和国防应用特种设备的开发凝聚了几代教师的汗水与智慧.本文将简要介绍复旦大学光学与光学工程学科的发展历史,并着重介绍近年来复旦大学光科学与工程系在先进光谱学分析测试技术、超短超强激光检测技术,以及超精密光学制造与检测研究领域中取得的进展与应用成果. 展开更多

关键词 超短超强激光 先进光谱仪器 超精密光学制造与检测

下载PDF 职称材料

超精密制造技术

11

《模具工程》 2004年第7期60-60,共1页

精密制造技术是指零件毛坯成形后余量小或无余量、零件毛坯加工后精度达亚微米级的生产技术总称：它是近净成形与近无缺陷成形技术、超精密加工技术与超高速加工技术的综合集成。

关键词 超精密制造技术 近净成形 近无缺陷成形 超精密加工 超高速加工

下载PDF 职称材料

北京机床研究所推出新一代纳米级超精密数控车床NAM-800 被引量：1

12

《CAD/CAM与制造业信息化》 2004年第6期67-67,共1页

关键词 北京 机床研究所 纳米级 数控车床 NAM-800 超精密导轨制造技术

下载PDF 职称材料