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各种表面超硬薄膜涂层的技术发展和应用 被引量：3
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作者 唐华生 《材料科学与工程》 CSCD 1989年第4期37-42,共6页
碳化物、氮化物、硼化物、氧化物等超硬物质一般利用其高硬度(为纯金属的10倍以上)而用作硬质合金(WC-Co)、高速钢等的涂层(工业发达国家的机夹刀片约40％带有涂层)。此外,超硬物质还具有优异的耐热性、耐氧化性、耐腐蚀性以及电磁、光... 碳化物、氮化物、硼化物、氧化物等超硬物质一般利用其高硬度(为纯金属的10倍以上)而用作硬质合金(WC-Co)、高速钢等的涂层(工业发达国家的机夹刀片约40％带有涂层)。此外,超硬物质还具有优异的耐热性、耐氧化性、耐腐蚀性以及电磁、光学等功能特性。例如,熔点为金属材料的几倍,由于具有热稳定性而用作耐热薄膜或耐氧化薄膜。又例如电阻各有不同,TiC、TiB_2、TiN、HfN、WC为良导体,而SiC、Si_3N_4、Al_2O_3为绝缘体。 展开更多
关键词 薄膜涂层 表面涂层技术 超硬物质
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