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金属氧化物超微粒膜式新型气敏元件
1
作者 王文娟 吴仲达 杨光 《传感器世界》 2008年第4期34-37,共4页
介绍一种改良的气敏元件,在了解金属氧化物超微粒结晶所具方向性的特点之后,巧妙地使金属氧化物超微粒的大部分结晶在特定面方位状态下聚合的超微粒膜与电极接触,并用大于通常的气体压力进行溅射,如此制成的气敏元件气体选择性良好,从... 介绍一种改良的气敏元件,在了解金属氧化物超微粒结晶所具方向性的特点之后,巧妙地使金属氧化物超微粒的大部分结晶在特定面方位状态下聚合的超微粒膜与电极接触,并用大于通常的气体压力进行溅射,如此制成的气敏元件气体选择性良好,从而解决了一直存在的选择性不佳的难题。 展开更多
关键词 气敏元件 超微粒膜 甲烷 气体选择性 气体灵敏度 溅射
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掺杂的SnO_2超微粒膜感湿特性的研究
2
作者 于继荣 黄光周 祁殿文 《郑州轻工业学院学报（自然科学版）》 CAS 1994年第S1期98-101,共4页
介绍掺有３％Ｂｉ２Ｏ３的ＳｎＯ２超微粒膜的感湿特性。这种薄膜材料的阻湿特性曲线具有较好的线性，湿滞回差小，并有较好的重复性和长期稳定性．
关键词 SnO2超微粒膜 掺杂 湿度
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