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机械特种加工教学案例:超声化学机械抛光实验 被引量：1
1
作者 许文虎 钟敏 +2 位作者 石志新 陈建锋 李小兵 《实验技术与管理》 CAS 北大核心 2023年第8期209-214,共6页
针对机械类本科生教学需求,以科研项目为牵引,设计了机械特种加工教学案例“超声化学机械抛光(UVCMP)实验”。通过该案例,学生可全程参与蓝宝石UVCMP正交实验的设计与实施;学习并使用原子力显微镜、扫描电镜、透射电子显微镜等大型仪器... 针对机械类本科生教学需求,以科研项目为牵引,设计了机械特种加工教学案例“超声化学机械抛光(UVCMP)实验”。通过该案例,学生可全程参与蓝宝石UVCMP正交实验的设计与实施;学习并使用原子力显微镜、扫描电镜、透射电子显微镜等大型仪器表征样品特性;对蓝宝石UVCMP作用机理进行了深入探讨。该实验有利于学生激发科研兴趣,培养科研素养,启迪创新思维。 展开更多
关键词 本科生 教学改革 超声波特种加工 大型科研项目 蓝宝石衬底
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