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题名微压电复合材料超声波探测器的制备及应用
被引量：1
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作者
黄远
李以贵
毕贞法
颜平
王欢
山杉进
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机构
上海应用技术学院理学院
上海应用技术学院轨道交通学院
日本立命馆大学微系统系
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出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2016年第6期947-951,共5页
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基金
国家自然科学基金课题项目(60777016)
国家自然基金课题项目(51405303)
+2 种基金
上海联盟计划项目(LM201441)
上海应用技术学院重点学科项目(10210Q150005)
上海应用技术学院人才引进基金项目(YJ2014-03)
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文摘
基于微细加工工艺,设计并制备了一种指向性良好的压电复合材料的超声波探测器。该探测器由压电振子、阻尼器、中继板和特高频(UHF)连接器构成。压电振子由4×4个(80μm×80μm×130μm)(长×宽×高)的锆钛酸铅(PZT)压电柱状阵列及阵列缝隙填充环氧树脂而构成。当压电振子施加高频交流电压时,柱状PZT阵列产生纵向伸缩运动,从而产生超声波并向介质辐射。作为填充材料的环氧树脂,能够吸收掉因柱状PZT阵列其他方向振动而引起的噪声,使探测器在纵向上能产生指向性良好的超声波,从而提高了该探测器的灵敏度。测试结果表明,该微压电探测器指向性好,灵敏度高,精度高和抗干扰性好,可应用在泥沙的含水量测量中。
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关键词
超声波探测器
压电复合材料
微细加工工艺
超声波指向性
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Keywords
ultrasonic detector
piezoelectric composites
microfabrication process
ultrasonic directivity
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分类号
TH89
[机械工程—仪器科学与技术]
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