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Ag掺杂对ZnO薄膜的光电性能影响 被引量:14
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作者 王经纬 边继明 +3 位作者 梁红伟 孙景昌 赵涧泽 杜国同 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第3期460-464,共5页
采用超声喷雾热分解法在石英衬底上以醋酸锌水溶液为前驱体,以硝酸银水溶液为Ag掺杂源,以高纯O2为载气生长了Ag掺杂ZnO(ZnO∶Ag)薄膜。研究了Ag掺杂ZnO薄膜的表面结构、电学和光学性质。结果表明所得ZnO∶Ag薄膜表面结构良好,扫描电子... 采用超声喷雾热分解法在石英衬底上以醋酸锌水溶液为前驱体,以硝酸银水溶液为Ag掺杂源,以高纯O2为载气生长了Ag掺杂ZnO(ZnO∶Ag)薄膜。研究了Ag掺杂ZnO薄膜的表面结构、电学和光学性质。结果表明所得ZnO∶Ag薄膜表面结构良好,扫描电子显微镜(SEM)测试表明薄膜表面光滑平整,结构致密均匀;在室温光致发光(PL)光谱中检测到很强的近带边紫外发光峰;透射光谱中观测到非常陡峭的紫外吸收截止边和较高的可见光区透过率,表明薄膜具有较高的晶体质量与较好的光学特性;霍尔效应测试表明,在550℃下获得了p型导电的ZnO∶Ag薄膜。 展开更多
关键词 ZnO:Ag薄膜 超声喷雾热分解 P型掺杂 Hall效应
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超声喷雾热分解制备锂离子电池正极材料LiNi_(1/3)Co_(1/3)Mn_(1/3)O_2及表征 被引量:8
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作者 刘智敏 胡国荣 +2 位作者 方正升 张新龙 刘业翔 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第4期637-641,共5页
采用超声喷雾热分解工艺合成了球形锂离子电池正极材料LiNi_(1/3)Co_(1/3)Mn_(1/3)O_2.考察了不同前驱溶液对粉体形貌的影响,用喷雾热分解过程机理分析了形貌差异的原因,另外研究了不同的后处理烧结时间对样品电化学性能的影响.试验结... 采用超声喷雾热分解工艺合成了球形锂离子电池正极材料LiNi_(1/3)Co_(1/3)Mn_(1/3)O_2.考察了不同前驱溶液对粉体形貌的影响,用喷雾热分解过程机理分析了形貌差异的原因,另外研究了不同的后处理烧结时间对样品电化学性能的影响.试验结果表明,采用硝酸盐溶液经喷雾热分解制备的前驱体在900℃烧结6h可以得到电化学性能优良的正极材料,在3.0~4.3V电压区间里,首次放电容量达157.7mAh/g,40次循环后容量仍保持146.6 mAh·g^(-1). 展开更多
关键词 锂离子电池 超声喷雾热分解 LiNi1/3Col/3Mn1/3O2
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Zn_(1-x)Mg_xO薄膜p型导电和光学性能 被引量:10
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作者 张霞 李效民 +4 位作者 陈同来 于伟东 高相东 张灿云 赵俊亮 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第4期503-508,共6页
采用超声喷雾热分解(U ltrason ic Spray Pyrolysis,USP)方法,以醋酸锌、醋酸镁、醋酸铵、氯化铝的混合水溶液为前驱溶液,在单晶S i(100)衬底上制备了ZnO,Zn0.81Mg0.19O,N-A l共掺杂ZnO和N-A l共掺杂Zn0.81Mg0.19O薄膜。以X射线衍射(XRD... 采用超声喷雾热分解(U ltrason ic Spray Pyrolysis,USP)方法,以醋酸锌、醋酸镁、醋酸铵、氯化铝的混合水溶液为前驱溶液,在单晶S i(100)衬底上制备了ZnO,Zn0.81Mg0.19O,N-A l共掺杂ZnO和N-A l共掺杂Zn0.81Mg0.19O薄膜。以X射线衍射(XRD)、场发射-扫描电镜(FE-SEM)、霍尔效应(Hall-effect)、光致发光(Photolum inescence,PL)谱等手段研究了薄膜的晶体结构、表面形貌、电学性能、光学性能和带隙变化。电学测试结果表明,未掺杂ZnO及Zn0.81Mg0.19O薄膜为n型导电;而N-A l共掺杂ZnO和N-A l共掺杂Zn0.81Mg0.19O薄膜呈p型导电。Zn0.81Mg0.19O和N-A l共掺杂Zn0.81Mg0.19O(p型)薄膜在维持ZnO纤锌矿结构的前提下,光学带隙随Mg掺杂量增加而增大。初步结果显示,优化工艺参数下通过Mg掺杂制备光学带隙可调的p型Zn0.81Mg0.19O薄膜,对于试制Zn1-xMgxO基同质p-n结、短波长(紫外、深紫外)器件等方面有重要意义。 展开更多
关键词 超声喷雾热分解 P型Zn1-xMgxO薄膜 导电性能 光致发光
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氮-铟共掺杂ZnO薄膜的制备及表征 被引量:8
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作者 边继明 李效民 +3 位作者 张灿云 赵俊亮 于伟东 高向东 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2005年第3期200-204,共5页
以醋酸锌水溶液为前驱体,分别以醋酸铵和硝酸铟为氮(N)源和铟(In)源,采用超声喷雾热解法在石英玻璃衬底上沉积了氮铟(NIn)共掺杂ZnO薄膜。采用X射线衍射、场发射扫描电镜、霍尔效应、塞贝克效应、光致发光谱等分析方法,研究了NIn共掺杂... 以醋酸锌水溶液为前驱体,分别以醋酸铵和硝酸铟为氮(N)源和铟(In)源,采用超声喷雾热解法在石英玻璃衬底上沉积了氮铟(NIn)共掺杂ZnO薄膜。采用X射线衍射、场发射扫描电镜、霍尔效应、塞贝克效应、光致发光谱等分析方法,研究了NIn共掺杂对所得ZnO薄膜的晶体结构、电学和光学性能的影响规律。结果表明:通过氮铟共掺杂,ZnO薄膜的电学和光学性能发生明显改变。优化工艺条件下,所得ZnO基薄膜结构均匀致密,电阻率为6.75×103Ω·cm,并且在室温光致发光谱中检测到很强的近带边紫外发光峰,表明薄膜具有较理想的化学计量比和较高的光学质量。 展开更多
关键词 ZNO薄膜 超声喷雾热分解 N—In共掺杂 光致发光
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Ag掺杂p型ZnO薄膜及其光电性能研究 被引量:7
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作者 王经纬 边继明 +3 位作者 孙景昌 梁红伟 赵涧泽 杜国同 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第8期5212-5216,共5页
采用超声喷雾热分解法在石英衬底上以醋酸锌水溶液为前驱体,以硝酸银水溶液为Ag掺杂源生长了Ag掺杂ZnO(ZnO:Ag)薄膜.研究了衬底温度对所得ZnO:Ag薄膜的晶体结构、电学和光学性质的影响规律.所得ZnO:Ag薄膜结构良好,在室温光致发光谱中... 采用超声喷雾热分解法在石英衬底上以醋酸锌水溶液为前驱体,以硝酸银水溶液为Ag掺杂源生长了Ag掺杂ZnO(ZnO:Ag)薄膜.研究了衬底温度对所得ZnO:Ag薄膜的晶体结构、电学和光学性质的影响规律.所得ZnO:Ag薄膜结构良好,在室温光致发光谱中检测到很强的近带边紫外发光峰,透射光谱中观测到非常陡峭的紫外吸收截止边和较高的可见光区透过率,表明薄膜具有较高的晶体质量与较好的光学特性.霍尔效应测试表明,在500℃下获得了p型导电的ZnO:Ag薄膜,载流子浓度为5.30×1015cm-3,迁移率为6.61cm2·V-1s-1. 展开更多
关键词 ZnO:Ag薄膜 P型掺杂 超声喷雾热分解 霍尔效应
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超声喷雾热解法生长氧化锌同质p-n结及其电致发光性能研究 被引量:6
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作者 边继明 刘维峰 +1 位作者 胡礼中 梁红伟 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第1期173-175,共3页
采用超声喷雾热解法在单晶GaAs(100)衬底上生长ZnO同质p-n结.以醋酸锌水溶液为前驱体,分别以醋酸铵和硝酸铟为氮(N)源和铟(In)源,通过氮-铟(N-In)共掺杂沉积p型ZnO薄膜,以未故意掺杂的ZnO薄膜做为n型层获得ZnO基同质p-n结.采用热蒸发... 采用超声喷雾热解法在单晶GaAs(100)衬底上生长ZnO同质p-n结.以醋酸锌水溶液为前驱体,分别以醋酸铵和硝酸铟为氮(N)源和铟(In)源,通过氮-铟(N-In)共掺杂沉积p型ZnO薄膜,以未故意掺杂的ZnO薄膜做为n型层获得ZnO基同质p-n结.采用热蒸发工艺在ZnO层和GaAs衬底上分别蒸镀Zn/Au和Au/Ge/Ni电极而获得发光二极管原型器件,在室温下发现了该器件正向电流注入下的连续发光现象. 展开更多
关键词 ZNO薄膜 同质p-n结 电致发光 超声喷雾热分解
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p型ZnO的制备以及衬底温度对薄膜特性的影响 被引量:3
7
作者 范红兵 张晓丹 +4 位作者 赵颖 孙建 魏长春 谷士彬 张存善 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第4期739-742,共4页
本文主要讨论了采用改进的超声雾化设备制备了不同衬底温度条件下的ZnO薄膜。研究了该系统下不同衬底温度对ZnO薄膜电学、结构特性的影响。霍耳测试结果表明:获得了p型ZnO薄膜,其载流子浓度高达1.30×1019cm-3。样品的X射线衍射和... 本文主要讨论了采用改进的超声雾化设备制备了不同衬底温度条件下的ZnO薄膜。研究了该系统下不同衬底温度对ZnO薄膜电学、结构特性的影响。霍耳测试结果表明:获得了p型ZnO薄膜,其载流子浓度高达1.30×1019cm-3。样品的X射线衍射和场发射扫描电子显微镜的测试结果显示,在该系统下450℃时薄膜结晶性能最佳。 展开更多
关键词 ZNO p型传导 超声喷雾热分解 衬底温度
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超声喷雾热分解制备ZnO薄膜及其光学性能的研究 被引量:4
8
作者 韩彬 武光明 +2 位作者 邢光建 王怡 江伟 《北京石油化工学院学报》 2009年第3期9-13,共5页
以醋酸锌水溶液为前驱体,采用超声喷雾热分解方法在普通玻璃衬底上沉积了ZnO薄膜,以X射线衍射(XRD)、场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)和紫外-可见光分光光度计(UV-Vis)等手段对所得ZnO薄膜的晶体结构、微观形貌和光学性能进行了分析,着重... 以醋酸锌水溶液为前驱体,采用超声喷雾热分解方法在普通玻璃衬底上沉积了ZnO薄膜,以X射线衍射(XRD)、场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)和紫外-可见光分光光度计(UV-Vis)等手段对所得ZnO薄膜的晶体结构、微观形貌和光学性能进行了分析,着重考察了衬底温度、衬底与喷嘴之间的距离、生长时间对ZnO薄膜晶体结构和光学性能的影响。结果表明,衬底温度大于450℃,载气流量为4 L/min,衬底与喷嘴之间的距离为6 cm,生长时间为30 min下所得的ZnO薄膜较好,衍射峰较强,表面均匀致密,在可见光区域透过率为80%以上。 展开更多
关键词 ZNO薄膜 超声喷雾热分解 透过率
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用超声喷雾热分解法制备二氧化锡薄膜 被引量:2
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作者 袁福龙 傅洪海 +2 位作者 刘丹宁 朱宇君 袁宏宇 《黑龙江大学自然科学学报》 CAS 2000年第2期76-78,共3页
以二氯化锡为原料,乙醇和水为溶剂,铝片为基片,空气为载气和氧气源,基片的温度控制在400℃,用超声喷雾热解的方法,直接得到二氧化锡的薄膜,对影响薄膜形成的条件(主要是雾化速度、载气流速、基片的温度、雾化液浓度和溶剂的比... 以二氯化锡为原料,乙醇和水为溶剂,铝片为基片,空气为载气和氧气源,基片的温度控制在400℃,用超声喷雾热解的方法,直接得到二氧化锡的薄膜,对影响薄膜形成的条件(主要是雾化速度、载气流速、基片的温度、雾化液浓度和溶剂的比例)进行了研究,使用X-射线衍射对薄膜进行了表征,并用SEM对膜的表面进行了观测。 展开更多
关键词 超声喷雾热分解 二氯化锡薄膜 制备 X-射线衍射
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超声喷雾法制备大面积太阳电池TCO膜及其工艺研究 被引量:3
10
作者 赵庚申 王庆章 +1 位作者 郭天勇 赵二刚 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第11期1317-1321,共5页
对基于超声喷雾热分解工艺制备400 mm×400 mm大面积太阳电池TCO膜和制备大面积SnO2∶F薄膜工艺作了研究,包括温度、掺杂比、酒精含量、载气流量和喷射距离等工艺参数对薄膜性能的影响。并将实验制得的薄膜用于制备非晶硅薄膜电池,... 对基于超声喷雾热分解工艺制备400 mm×400 mm大面积太阳电池TCO膜和制备大面积SnO2∶F薄膜工艺作了研究,包括温度、掺杂比、酒精含量、载气流量和喷射距离等工艺参数对薄膜性能的影响。并将实验制得的薄膜用于制备非晶硅薄膜电池,其效率达到了5.96%。 展开更多
关键词 超声喷雾热分解 太阳电池TCO膜 掺氟二氧化锡薄膜 掺杂比
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Salt-assisted Synthesis of Hollow Bi_2WO_6 Microspheres with Superior Photocatalytic Activity for NO Removal 被引量:4
11
作者 陈美娟 黄宇 李顺诚 《Chinese Journal of Catalysis》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2017年第2期348-356,共9页
Hollow Bi2WO6 microspheres are successfully synthesized by a facile ultrasonic spray pyrolysis(USP) method using NaCl as a salt template.The as-prepared hollow microspheres assembled as nanoplates with dimensions of... Hollow Bi2WO6 microspheres are successfully synthesized by a facile ultrasonic spray pyrolysis(USP) method using NaCl as a salt template.The as-prepared hollow microspheres assembled as nanoplates with dimensions of approximately 41-148 nm and are dispersed with non-uniform pores on the template surface.By swapping the salt template with KC1 or Na2SO4,different morphologies of Bi2WO6 are obtained.The experimental results demonstrate that NaCl plays a key role on the formation of Bi2WO6 with hollow structures.The specific growth mechanism of hollow microspheres was studied in detail.The Bi2WO6 hollow microspheres exhibit an excellent photocatalytic efficiency for NO removal under solar light irradiation,which is 1.73 times higher than for the Bi2WO6 obtained in the absence of any salt template.This enhancement can be ascribed to the simultaneous improvement on the surface area and visible light-harvesting ability from the hollow structures.Electron spin resonance(ESR) results suggest that both radicals of ·OH and ·O2^- are involved in the photocatalytic process over the BWO-NaCl sample.The production of ·O2^- radicals offers better durability for NO removal. 展开更多
关键词 Ultrasonic spray pyrolysis Salt template Bi2WO6 hollow microsphere NO removal
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衬底温度对超声喷雾法制备大面积绒面SnO_2:F薄膜特性影响的研究 被引量:2
12
作者 赵庚申 梁凯 +1 位作者 郭天勇 王庆章 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第6期758-761,共4页
详细研究了衬底温度对超声喷雾热分解工艺制备的大面积绒面SnO2:F薄膜的影响和薄膜微结构与薄膜电学、光学性能之间的关系。试验曲线和SEM图的研究结果表明,将衬底温度从370℃提高到470℃以上薄膜结晶程度大大提高,晶粒尺寸明显增大;温... 详细研究了衬底温度对超声喷雾热分解工艺制备的大面积绒面SnO2:F薄膜的影响和薄膜微结构与薄膜电学、光学性能之间的关系。试验曲线和SEM图的研究结果表明,将衬底温度从370℃提高到470℃以上薄膜结晶程度大大提高,晶粒尺寸明显增大;温度在470℃左右绒度达到13%。文章同时对超声喷雾热分解工艺制备大面积绒面SnO2:F薄膜做了工艺探索,并将实验制得的薄膜用于制备非晶硅薄膜电池,其效率达到了6.46%。 展开更多
关键词 太阳电池 绒面 SnO2:F薄膜 超声喷雾热分解
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宽带隙化合物半导体Zn_(1-x)Mg_xO薄膜的制备 被引量:2
13
作者 边楠 张晓丹 +2 位作者 张霞 赵颖 杨瑞霞 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第6期1361-1364,共4页
利用超声雾化热分解技术,在玻璃衬底上生长出宽带隙的Zn1-xMgxO薄膜。所有样品在可见光范围内的透过率可达到85%以上。X射线衍射的测试结果表明所有样品都具有c轴择优生长特性,并且随薄膜中Mg含量的不同出现规律性变化。光致发光谱表明M... 利用超声雾化热分解技术,在玻璃衬底上生长出宽带隙的Zn1-xMgxO薄膜。所有样品在可见光范围内的透过率可达到85%以上。X射线衍射的测试结果表明所有样品都具有c轴择优生长特性,并且随薄膜中Mg含量的不同出现规律性变化。光致发光谱表明Mg掺入后ZnO薄膜的紫外发射峰出现了蓝移,实现了对禁带宽度的调节。 展开更多
关键词 超声喷雾热分解 Zn1-xMgxO薄膜 宽带隙半导体 禁带宽度
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玻璃衬底上氮-铟共掺ZnO的制备及表征
14
作者 韩彬 武光明 +3 位作者 邢光建 王怡 江伟 李东临 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第10期283-286,共4页
以醋酸锌水溶液为前驱体,分别以醋酸铵和硝酸铟为氮(N)源和铟(In)源,采用超声喷雾热分解方法在普通玻璃衬底上沉积了氮-铟(N-In)共掺杂ZnO薄膜。并采用X射线衍射、场发射扫描电镜、霍尔效应、透射光谱等分析方法,研究了N,In共掺杂和沉... 以醋酸锌水溶液为前驱体,分别以醋酸铵和硝酸铟为氮(N)源和铟(In)源,采用超声喷雾热分解方法在普通玻璃衬底上沉积了氮-铟(N-In)共掺杂ZnO薄膜。并采用X射线衍射、场发射扫描电镜、霍尔效应、透射光谱等分析方法,研究了N,In共掺杂和沉积温度对ZnO薄膜的晶体结构、成分及含量、形貌、电学性能、光学性能的影响。结果表明:通过氮-铟共掺杂,ZnO基薄膜具有良好的的电学性能,但是均为n型导电,与相关文献中的结果完全相反。 展开更多
关键词 ZNO薄膜 超声喷雾热分解 N—In共掺杂
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用超声喷雾热分解法制备SnO_2:F薄膜 被引量:2
15
作者 陈全 崔容强 +2 位作者 徐东 Wolden COLIN 奚建平 《电源技术》 CAS CSCD 北大核心 2004年第2期97-100,共4页
采用超声喷雾热分解法沉积高性能掺氟二氧化锡(SnO2:F)透明导电膜(TCO),其最小方块电阻为9 Ω(400 nm厚),可见光透过率大于80%。X射线衍射(XRD)分析表明,SnO2:F薄膜为多晶结构;原子力显微镜(AFM)观察表明,SnO2:F薄膜平均粒径约为100 nm... 采用超声喷雾热分解法沉积高性能掺氟二氧化锡(SnO2:F)透明导电膜(TCO),其最小方块电阻为9 Ω(400 nm厚),可见光透过率大于80%。X射线衍射(XRD)分析表明,SnO2:F薄膜为多晶结构;原子力显微镜(AFM)观察表明,SnO2:F薄膜平均粒径约为100 nm。此外对石墨导热体和置于其上的玻璃基片两者之间的温度差别做了初步研究。 展开更多
关键词 超声喷雾热分解 制备 SnO2:F薄膜 金属氧化物薄膜 半导体材料
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超声喷雾法制备掺Zn和未掺Zn α-Fe2O3薄膜的研究 被引量:3
16
作者 陈擘威 张艳辉 +4 位作者 詹水华 彭德权 姜春萍 陈金伟 王瑞林 《化学研究与应用》 CAS CSCD 北大核心 2009年第6期873-876,共4页
使用自制的超声雾化热裂解设备(UPS)成功地制备了掺Zn和未掺Zn的α-Fe2O3薄膜,并对其光电特性进行了较为系统的研究。XRD结果证实了所获得的薄膜为α-Fe2O3,AFM测试结果表明:薄膜致密,晶粒成沟壑状地生长,粒径在0.1μm到0.2μm之间。紫... 使用自制的超声雾化热裂解设备(UPS)成功地制备了掺Zn和未掺Zn的α-Fe2O3薄膜,并对其光电特性进行了较为系统的研究。XRD结果证实了所获得的薄膜为α-Fe2O3,AFM测试结果表明:薄膜致密,晶粒成沟壑状地生长,粒径在0.1μm到0.2μm之间。紫外-可见光谱实验发现Zn掺杂的α-Fe2O3薄膜吸收发生了"红移",带隙发生变化。XRD分析也证实Zn掺杂对Fe2O3的晶体结构有影响。Mott-Schottky测试的结果获得了UPS制备的n型α-Fe2O3薄膜的导带、价带电位,而Zn掺杂α-Fe2O3薄膜的导电类型由n-型转变为p-型,且它的价带、价带电位能够更适合氢和氧的析出。这说明了自制的UPS设备可以用于太阳光水解制氢半导体薄膜材料的制备。 展开更多
关键词 超声喷雾热分解设备 Α-FE2O3 薄膜 Zn掺杂 吸收红移
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反应液加入H2O2制备本征SnO2高阻薄膜 被引量:1
17
作者 郝瑞英 雷智 +4 位作者 郑家贵 冯良桓 蔡伟 武莉莉 张静全 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第z1期1148-1150,共3页
在反应液中加入H2O2,用超声喷雾热分解技术制备了SnO2高阻薄膜.结合XRD图谱,方块电阻测试,透光率测试以及Tauc曲线分析的结果,发现反应液中加入H2O2制备的SnO2薄膜,膜质较好,样品在(200)晶面有明显的择优取向;电阻率有明显提高,为12~13... 在反应液中加入H2O2,用超声喷雾热分解技术制备了SnO2高阻薄膜.结合XRD图谱,方块电阻测试,透光率测试以及Tauc曲线分析的结果,发现反应液中加入H2O2制备的SnO2薄膜,膜质较好,样品在(200)晶面有明显的择优取向;电阻率有明显提高,为12~13 Ω·cm;透光率与一般的透明导电膜并没有很大差别. 展开更多
关键词 H2O2 SNO2 超声喷雾热分解技术
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超声喷雾热分解法制备硅薄膜太阳电池用ZnO:In透明导电膜 被引量:1
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作者 焦宝臣 张晓丹 +3 位作者 樊正海 魏长春 孙建 赵颖 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第12期2008-2012,共5页
采用超声喷雾热分解法,在Eagle 2000衬底上制备ZnO薄膜。通过Hall测试、X射线衍射、扫描电子显微镜和透过率测试研究不同In掺量对ZnO薄膜电学、结构、表面形貌和光学特性的影响。结果表明:当In摩尔掺量(In与ZnO的摩尔比)为1.5%时,获得... 采用超声喷雾热分解法,在Eagle 2000衬底上制备ZnO薄膜。通过Hall测试、X射线衍射、扫描电子显微镜和透过率测试研究不同In掺量对ZnO薄膜电学、结构、表面形貌和光学特性的影响。结果表明:当In摩尔掺量(In与ZnO的摩尔比)为1.5%时,获得的薄膜具有较低的电阻率(2.48×10-3 cm);所有In掺杂ZnO薄膜的透过率均达到80%;将ZnO:In薄膜作为前电极应用于μc-Si:H薄膜太阳电池,可以获得5.01%的转换效率。 展开更多
关键词 氧化锌薄膜 透明导电薄膜 超声喷雾热分解 铟掺杂 太阳电池
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用超声喷雾热分解法制备p型Zn_(1-x)Mg_xO薄膜
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作者 边楠 张晓丹 +2 位作者 张霞 赵颖 杨瑞霞 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第2期196-199,共4页
利用超声喷雾热分解(USP)技术,采用N-Al共掺法,在eagle2000衬底上制备出了电学特性较好的p型Zn0.93Mg0.07O薄膜:电阻率为18.43Ω.cm、迁移率是0.362 cm2/(V.s)、载流子浓度为1.24×1018cm-3。系统分析了前驱溶液中Al掺杂量或Mg掺杂... 利用超声喷雾热分解(USP)技术,采用N-Al共掺法,在eagle2000衬底上制备出了电学特性较好的p型Zn0.93Mg0.07O薄膜:电阻率为18.43Ω.cm、迁移率是0.362 cm2/(V.s)、载流子浓度为1.24×1018cm-3。系统分析了前驱溶液中Al掺杂量或Mg掺杂量变化时对p型Zn1-xMgxO薄膜电学特性和结构特性的影响。紫外可见光透射测试表明:Zn1-xMgxO薄膜在紫外-可见光范围内的透过率达到了80%。 展开更多
关键词 超声喷雾热分解(USP) N-Al共掺 p型Zn1-xMgxO薄膜 透过率
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冰乙酸在超声喷雾热分解法制备ZnO薄膜中的作用
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作者 焦宝臣 张晓丹 +2 位作者 魏长春 孙建 赵颖 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第4期540-544,共5页
采用超声喷雾热分解技术(USP),以二水醋酸锌(Zn(CH3COO)2.2H2O)为原材料,在无碱玻璃衬底上制备了ZnO薄膜。对前驱液pH值、ZnO薄膜结构特性、表面形貌、电学和光学特性的研究结果表明,冰乙酸对ZnO薄膜生长速率具有重要影响。X射线... 采用超声喷雾热分解技术(USP),以二水醋酸锌(Zn(CH3COO)2.2H2O)为原材料,在无碱玻璃衬底上制备了ZnO薄膜。对前驱液pH值、ZnO薄膜结构特性、表面形貌、电学和光学特性的研究结果表明,冰乙酸对ZnO薄膜生长速率具有重要影响。X射线衍射(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)测试显示,所有样品均未六角纤锌矿结构,呈(002)晶面择优生长;当冰乙酸掺入量大于0.02及其以上工艺条件时,获得的薄膜具有六角片状表面形貌;ZnO薄膜电阻率可达到10-1Ω.cm,同时在400~2 000 nm的宽谱范围内的透过率能够达到80%以上。 展开更多
关键词 超声喷雾热分解法(USP) ZNO 冰乙酸
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