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题名位场数据曲化平的迭代法
被引量：1
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作者
陈生昌
林晨
李佩
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机构
浙江大学地球科学系
中石化石油勘探开发研究院南京石油物探研究所
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出处
《地球物理学进展》
CSCD
北大核心
2009年第4期1320-1326,共7页
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基金
国家自然科学基金项目(40674065)
国家高技术研究发展(863)计划项目(2006AA09Z307)资助
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文摘
位场数据曲化平是位场数据处理解释中的重要运算,但是它的计算量和计算的复杂性影响了它在许多处理和解释方法技术中的应用.本文提出一种位场数据曲化平的迭代方法,即通过把位场数据曲化平视为平面位场数据向上延拓的反问题,得到曲化平的线性积分方程,再把曲面上位场数据视为曲面平均高程面上的位场数据,利用向下延拓的波数域广义逆算法把平均高程面上的位场数据向下延拓到设定平面上,再根据曲面和其平均高程面的相对起伏对设定平面上的向下延拓数据进行起伏校正,最后再把所得平面上的位场数据向上延拓得到曲面上的位场数据,并进行迭代.把这种方法用于三维理论模型数据和实际磁场数据的曲化平处理均获得了理想的结果.
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关键词
三维
位场
曲化平
向下延拓
起伏校正
向上延拓
迭代
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Keywords
3D, Potential field, Continuation of potential field on a curved surface, Downward continuation, Topography correction, Upward continuation, Iteration
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分类号
P631
[天文地球—地质矿产勘探]
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题名优化掩模分布改善数字光刻图形轮廓
被引量：3
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作者
郭小伟
杜惊雷
刘永智
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机构
电子科技大学光电信息学院
四川大学物理学院
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出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第3期794-798,共5页
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基金
国家自然科学基金(60376021
60736038)资助课题。
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文摘
基于数字微反镜(DMD)的无掩模数字光刻系统可用于IC掩模制作或直接作为微结构的加工工具,有着广泛的应用前景。但理论和实验均发现基于DMD数字光刻系统加工连续表面微结构元件时,往往难以获得预期的图形轮廓,加工出的图形表面具有规则的振荡起伏。在深入探讨DMD灰度图形传递的基础上,分析了空间像畸变产生的物理机制,并提出用模拟退火算法来优化掩模图形,在5%的相对曝光量偏差范围内模拟表明优化有效地消除了表面起伏,最后利用优化的掩模实验加工出表面轮廓比较良好的轴锥镜阵列。该方法能有效改善面形质量,而且不存在掩模制作等问题,这对于制作高质量的微结构元件有重要意义。
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关键词
无掩模光刻
表面起伏校正
模拟退火算法
数字微反镜
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Keywords
maskless lithography
correction of surface surge
simulated annealing algorithm
digital micromirror device（DMD）
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分类号
TN305
[电子电信—物理电子学]
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