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一种高精度化学腐蚀减薄设备与减薄工艺
被引量：
1
1
作者
王勇威
夏楠君
+3 位作者
亢喆
马雪婷
吴娖
郭立刚
《电子工业专用设备》
2020年第5期23-28,共6页
减薄设备是半导体工艺中的关键设备,针对软脆材料的化学腐蚀减薄,研制出一种高精度化学腐蚀减薄机。通过分析与减薄精度相关的参数,提出采用质量测量法来提高设备测量精度;通过采用不同浓度梯度药液提高工艺精度和速度;通过合理布局设...
减薄设备是半导体工艺中的关键设备,针对软脆材料的化学腐蚀减薄,研制出一种高精度化学腐蚀减薄机。通过分析与减薄精度相关的参数,提出采用质量测量法来提高设备测量精度;通过采用不同浓度梯度药液提高工艺精度和速度;通过合理布局设备结构,提高了设备的稳定性、可靠性。
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关键词
化学腐蚀减薄机
减薄工艺
质量
测量法
下载PDF
职称材料
全弹性稳态微小流量测量系统
2
作者
张莘艾
汤海滨
+3 位作者
李欣
刘宇
王海兴
施陈波
《航空动力学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第4期847-851,共5页
介绍了一种采用质量测量法的液体微小流量测量系统的工作原理与工作过程.系统采用全弹性连接方法设计,避免了常规质量测量法流量测量装置中非弹性连接管路造成的测量误差.采用压力补偿方法,修正由于压强对增压气体密度的影响.并以酒精...
介绍了一种采用质量测量法的液体微小流量测量系统的工作原理与工作过程.系统采用全弹性连接方法设计,避免了常规质量测量法流量测量装置中非弹性连接管路造成的测量误差.采用压力补偿方法,修正由于压强对增压气体密度的影响.并以酒精为测试液体,进行了5种工况下流量测量试验.试验结果表明,该套微小流量测量系统工作稳定、可靠,可以精确测量出液体稳态微小流量.
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关键词
液体微小流量
测量
全弹性连接方
法
质量
测量法
压力修正
稳态流量
原文传递
论油罐储量HTG质量测量法的有关技术问题
3
作者
潘昌远
《石油库与加油站》
2002年第4期36-39,共4页
分析了储油罐技术数据、安装工艺技术、固定顶油罐安装传感器、浮顶油罐技术数据对石油和石油产品立式罐内油量的直接静态测量法(HTG质量测量法)系统精度的影响。
关键词
HTG
质量
测量法
石油库
油罐
HTG
系统精度
直接静态
测量法
下载PDF
职称材料
题名
一种高精度化学腐蚀减薄设备与减薄工艺
被引量：
1
1
作者
王勇威
夏楠君
亢喆
马雪婷
吴娖
郭立刚
机构
中国电子科技集团公司第四十五研究所
中国电子科技集团公司第十一研究所
出处
《电子工业专用设备》
2020年第5期23-28,共6页
文摘
减薄设备是半导体工艺中的关键设备,针对软脆材料的化学腐蚀减薄,研制出一种高精度化学腐蚀减薄机。通过分析与减薄精度相关的参数,提出采用质量测量法来提高设备测量精度;通过采用不同浓度梯度药液提高工艺精度和速度;通过合理布局设备结构,提高了设备的稳定性、可靠性。
关键词
化学腐蚀减薄机
减薄工艺
质量
测量法
Keywords
Chemical etching thinning machine
Thinning process
Mass metrology
分类号
TN305.2 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
全弹性稳态微小流量测量系统
2
作者
张莘艾
汤海滨
李欣
刘宇
王海兴
施陈波
机构
北京航空航天大学宇航学院
中国航天科技集团公司航天推进技术研究院北京航天试验技术研究所
出处
《航空动力学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第4期847-851,共5页
基金
国家自然科学基金重点项目(50836007)
文摘
介绍了一种采用质量测量法的液体微小流量测量系统的工作原理与工作过程.系统采用全弹性连接方法设计,避免了常规质量测量法流量测量装置中非弹性连接管路造成的测量误差.采用压力补偿方法,修正由于压强对增压气体密度的影响.并以酒精为测试液体,进行了5种工况下流量测量试验.试验结果表明,该套微小流量测量系统工作稳定、可靠,可以精确测量出液体稳态微小流量.
关键词
液体微小流量
测量
全弹性连接方
法
质量
测量法
压力修正
稳态流量
Keywords
liquid micro flow measurement
full elastic link method
mass measurement method
pressure correction
steady-state flow rate
分类号
V439.2 [航空宇航科学与技术—航空宇航推进理论与工程]
原文传递
题名
论油罐储量HTG质量测量法的有关技术问题
3
作者
潘昌远
机构
中国石化股份有限公司安徽石油分公司
出处
《石油库与加油站》
2002年第4期36-39,共4页
文摘
分析了储油罐技术数据、安装工艺技术、固定顶油罐安装传感器、浮顶油罐技术数据对石油和石油产品立式罐内油量的直接静态测量法(HTG质量测量法)系统精度的影响。
关键词
HTG
质量
测量法
石油库
油罐
HTG
系统精度
直接静态
测量法
Keywords
oil products, evaporation loss, current status, and suggestion.
分类号
TE972 [石油与天然气工程—石油机械设备]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
一种高精度化学腐蚀减薄设备与减薄工艺
王勇威
夏楠君
亢喆
马雪婷
吴娖
郭立刚
《电子工业专用设备》
2020
1
下载PDF
职称材料
2
全弹性稳态微小流量测量系统
张莘艾
汤海滨
李欣
刘宇
王海兴
施陈波
《航空动力学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010
0
原文传递
3
论油罐储量HTG质量测量法的有关技术问题
潘昌远
《石油库与加油站》
2002
0
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职称材料
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