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大口径干涉仪装置的调整及支承机构 被引量：3
1
作者 汤更秀 刘志刚 +2 位作者 王聪瑜 庞向阳 朱健强 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第4期611-613,共3页
采用蜗轮蜗杆驱动调整机构、使用同步带安装标准镜片方式、正交十字导轨支撑等可有效提高光学精密检测系统中大口径干涉仪装置的镜面面形质量、稳定性和调节准确度,从理论上介绍了蜗轮蜗杆驱动机构等设计原理及其基本公式,并从实验上验... 采用蜗轮蜗杆驱动调整机构、使用同步带安装标准镜片方式、正交十字导轨支撑等可有效提高光学精密检测系统中大口径干涉仪装置的镜面面形质量、稳定性和调节准确度,从理论上介绍了蜗轮蜗杆驱动机构等设计原理及其基本公式,并从实验上验证了这些机构对光学精密检测系统稳定性的影响· 展开更多
关键词 大口径干涉仪 蜗轮蜗杆驱动 同步带安装标准镜片 正交十字导轨 调整准确度
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