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基于调制声场的腔体内壁黏附物清洗方法
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作者 田振 蔡飞燕 +4 位作者 王金萍 李剑平 李永川 邓科 郑海荣 《应用声学》 CSCD 北大核心 2024年第4期750-755,共6页
传统超声清洗技术已经广泛应用于器件外表面的清洗,但对于微器件内部,如:狭缝、微腔体等,目前该技术仍难以胜任。其主要原因是自由微泡难以在器件内部指定位置稳定持续爆破。该文提出利用调制声场调控微腔体内声场极值的位置,使得微泡... 传统超声清洗技术已经广泛应用于器件外表面的清洗,但对于微器件内部,如:狭缝、微腔体等,目前该技术仍难以胜任。其主要原因是自由微泡难以在器件内部指定位置稳定持续爆破。该文提出利用调制声场调控微腔体内声场极值的位置,使得微泡在声辐射力的作用下能够移动并停驻在腔体内壁附近位置,再采用瞬时高强度低频声场爆破微泡,其产生的微射流等实现腔体内壁黏附物分离并清洗的目的。该技术可以为医疗微管、光学仪器以及半导体芯片等精密器件的腔体内部清洗提供物理模型和技术基础。 展开更多
关键词 超声清洗 调制声场 腔体清洗技术 颗粒污染物分离
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