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题名典型半导体工艺测量设备计量技术
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作者
崔现锋
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机构
中国电子科技集团公司第十三研究所
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出处
《上海计量测试》
2024年第4期2-7,共6页
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文摘
半导体测量设备主要用于监测晶圆上膜厚、线宽、台阶高度、电阻率等工艺参数,实现器件各项参数的准确控制,进而保障器件的整体性能。为了解半导体测量设备的溯源情况,实现测量设备量值的统一与准确,通过研究台阶仪、椭偏仪、扫描电子显微镜以及四探针测试仪四种典型半导体测量设备的计量方法,分析典型测量设备量值溯源中的关键要素,探讨构建多维度计量数据模型库,科学决策设备计量管控周期和应急计量需求,建立基于数据的计量管控决策机制的可行性,为设备采购、验收、使用以及维护等提供精确保障。
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关键词
测量设备
量值准确
计量数据模型库
计量管控决策机制
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Keywords
measurement equipment
accurate measurement value
measurement data model library
measurement control decision-making mechanism
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分类号
F42
[经济管理—产业经济]
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