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计量型扫描电子显微镜测控系统研究
被引量：
2
1
作者
张瑞军
高思田
+3 位作者
李伟
陈本永
施玉书
李琪
《计量学报》
CSCD
北大核心
2016年第5期457-461,共5页
为了解决扫描电子显微镜（SEM）在100nm以下的微纳几何结构尺寸精确测量方面的不足，实现SEM测量值的量值传递与溯源，研制了一套计量型SEM测控系统。该系统主要由位移台运动控制模块、激光干涉位移测量模块和图像采集与处理模块组成，...
为了解决扫描电子显微镜（SEM）在100nm以下的微纳几何结构尺寸精确测量方面的不足，实现SEM测量值的量值传递与溯源，研制了一套计量型SEM测控系统。该系统主要由位移台运动控制模块、激光干涉位移测量模块和图像采集与处理模块组成，基于LabVIEW图形编程语言开发了测控系统上位机软件。对1μm×1μm二维栅格样品进行尺寸测量实验，结果表明，该计量型SEM测控系统运行稳定可靠，且在10μm测量范围内的测量值示值误差优于10nm。
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关键词
计量
学
计量
型
扫描电子显微镜
量值溯源
运动控制模块
激光外差干涉
图像采集与处理
LabVIEW
下载PDF
职称材料
计量型扫描电子显微镜成像的微纳米级振动
被引量：
2
2
作者
杜晨辉
龚亮
+3 位作者
蔡小勇
殷伯华
江潮
安立宝
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第4期860-867,共8页
为提高计量型扫描电镜位移系统的稳定性及测量精度,对位移系统中的机械位移台进行仿真分析,获取相关振动参数。依据机械位移台工况建立模型,运用有限元方法对它进行静力及模态分析,获取机械位移台系统结构的振动参数;在模态分析的基础...
为提高计量型扫描电镜位移系统的稳定性及测量精度,对位移系统中的机械位移台进行仿真分析,获取相关振动参数。依据机械位移台工况建立模型,运用有限元方法对它进行静力及模态分析,获取机械位移台系统结构的振动参数;在模态分析的基础上对机械位移台进行谐响应分析,获取外界载荷频率与位移台上平面应力、应变、变形以及加速度之间的关系。机械位移台的静刚度为6.634×10~5 N/mm;水平X,Z两运动方向的耦合比分别为15.22%和17.63%;通过上层平面振动参数关于频率的响应曲线,得出危险频率为7 750Hz左右,即第8阶固有模态下的频率。X,Z两运动方向耦合较为明显,在对机械位移台进一步改进中,避开危险频率的同时,需对其进行位移补偿。
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关键词
计量
型
扫描电子显微镜
微位移台
振动
耦合位移
有限元分析
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职称材料
题名
计量型扫描电子显微镜测控系统研究
被引量：
2
1
作者
张瑞军
高思田
李伟
陈本永
施玉书
李琪
机构
浙江理工大学
中国计量科学研究院
出处
《计量学报》
CSCD
北大核心
2016年第5期457-461,共5页
基金
国家科技支撑项目(2011BAK15B02)
文摘
为了解决扫描电子显微镜（SEM）在100nm以下的微纳几何结构尺寸精确测量方面的不足，实现SEM测量值的量值传递与溯源，研制了一套计量型SEM测控系统。该系统主要由位移台运动控制模块、激光干涉位移测量模块和图像采集与处理模块组成，基于LabVIEW图形编程语言开发了测控系统上位机软件。对1μm×1μm二维栅格样品进行尺寸测量实验，结果表明，该计量型SEM测控系统运行稳定可靠，且在10μm测量范围内的测量值示值误差优于10nm。
关键词
计量
学
计量
型
扫描电子显微镜
量值溯源
运动控制模块
激光外差干涉
图像采集与处理
LabVIEW
Keywords
metrology
metrological SEM
quantity traceability
motion control module
laser heterodyne interferometry
image acquisition and processing
LabVIEW
分类号
TB92 [一般工业技术—计量学]
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职称材料
题名
计量型扫描电子显微镜成像的微纳米级振动
被引量：
2
2
作者
杜晨辉
龚亮
蔡小勇
殷伯华
江潮
安立宝
机构
华北理工大学机械工程学院
中国科学院国家纳米科学中心中国科学院纳米标准与检测重点实验室
中国科学院电工研究所北京市生物电磁学重点实验室
中国科学院大学
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第4期860-867,共8页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.51472074)
河北省引进海外高层次人才"百人计划"资助项目(No.E2012100005)
国家重点研发计划课题(No.2017YFF0105904)
文摘
为提高计量型扫描电镜位移系统的稳定性及测量精度,对位移系统中的机械位移台进行仿真分析,获取相关振动参数。依据机械位移台工况建立模型,运用有限元方法对它进行静力及模态分析,获取机械位移台系统结构的振动参数;在模态分析的基础上对机械位移台进行谐响应分析,获取外界载荷频率与位移台上平面应力、应变、变形以及加速度之间的关系。机械位移台的静刚度为6.634×10~5 N/mm;水平X,Z两运动方向的耦合比分别为15.22%和17.63%;通过上层平面振动参数关于频率的响应曲线,得出危险频率为7 750Hz左右,即第8阶固有模态下的频率。X,Z两运动方向耦合较为明显,在对机械位移台进一步改进中,避开危险频率的同时,需对其进行位移补偿。
关键词
计量
型
扫描电子显微镜
微位移台
振动
耦合位移
有限元分析
Keywords
metrological scanning electron microscope
micro-displacement platform
vibration
coupling displacement
finite element analysis
分类号
TH703.8 [机械工程—仪器科学与技术]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
计量型扫描电子显微镜测控系统研究
张瑞军
高思田
李伟
陈本永
施玉书
李琪
《计量学报》
CSCD
北大核心
2016
2
下载PDF
职称材料
2
计量型扫描电子显微镜成像的微纳米级振动
杜晨辉
龚亮
蔡小勇
殷伯华
江潮
安立宝
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019
2
下载PDF
职称材料
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