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分子真空泵研究进展
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作者 许忠政 宋涛 张柏诚 《中国科技期刊数据库 工业A》 2023年第6期185-188,共4页
分子真空泵是一种清洁高真空获得设备,在科研仪器和工业设备等领域有着广阔的应用前景。近几年来,由于大量应用了数字控制技术、磁力轴承技术和仿真计算等手段,使得分子泵的性能得到了提高。基于此,本文围绕着分子真空泵的设计与计算所... 分子真空泵是一种清洁高真空获得设备,在科研仪器和工业设备等领域有着广阔的应用前景。近几年来,由于大量应用了数字控制技术、磁力轴承技术和仿真计算等手段,使得分子泵的性能得到了提高。基于此,本文围绕着分子真空泵的设计与计算所需解决的基本问题,从分子真空泵的结构优化、抽气特性的分析等方面,综述并预测了其发展趋势,以期为科研工作者提供借鉴。 展开更多
关键词 分子真空泵 抽气特性 计算改进结构优化
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