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分子真空泵研究进展
1
作者
许忠政
宋涛
张柏诚
《中国科技期刊数据库 工业A》
2023年第6期185-188,共4页
分子真空泵是一种清洁高真空获得设备,在科研仪器和工业设备等领域有着广阔的应用前景。近几年来,由于大量应用了数字控制技术、磁力轴承技术和仿真计算等手段,使得分子泵的性能得到了提高。基于此,本文围绕着分子真空泵的设计与计算所...
分子真空泵是一种清洁高真空获得设备,在科研仪器和工业设备等领域有着广阔的应用前景。近几年来,由于大量应用了数字控制技术、磁力轴承技术和仿真计算等手段,使得分子泵的性能得到了提高。基于此,本文围绕着分子真空泵的设计与计算所需解决的基本问题,从分子真空泵的结构优化、抽气特性的分析等方面,综述并预测了其发展趋势,以期为科研工作者提供借鉴。
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关键词
分子真空泵
抽气特性
计算
改进
及
结构
优化
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职称材料
题名
分子真空泵研究进展
1
作者
许忠政
宋涛
张柏诚
机构
核工业理化工程研究院
出处
《中国科技期刊数据库 工业A》
2023年第6期185-188,共4页
文摘
分子真空泵是一种清洁高真空获得设备,在科研仪器和工业设备等领域有着广阔的应用前景。近几年来,由于大量应用了数字控制技术、磁力轴承技术和仿真计算等手段,使得分子泵的性能得到了提高。基于此,本文围绕着分子真空泵的设计与计算所需解决的基本问题,从分子真空泵的结构优化、抽气特性的分析等方面,综述并预测了其发展趋势,以期为科研工作者提供借鉴。
关键词
分子真空泵
抽气特性
计算
改进
及
结构
优化
分类号
TB752.27 [一般工业技术—真空技术]
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作者
出处
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1
分子真空泵研究进展
许忠政
宋涛
张柏诚
《中国科技期刊数据库 工业A》
2023
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