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题名PVD Si涂层用于SiC陶瓷的表面改性研究
被引量：6
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作者
唐惠东
谭寿洪
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机构
常州工程职业技术学院材料工程技术系
中国科学院上海硅酸盐研究所
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出处
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第16期68-70,共3页
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基金
国家重点基础研究规划(863项目)资助项目(2006AA03Z539)
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文摘
为了获得高质量的光学表面,采用RF磁控溅射法在RB SiC和SSiC陶瓷表面涂覆一层结构致密的PVDSi涂层。采用XRD、AFM和表面轮廓仪对抛光后的PVDSi涂层进行了表征,并在可见光波长范围内测量了涂层的反射率。结果表明,当RB SiC和SSiC陶瓷表面涂覆PVDSi涂层后,抛光后其表面缺陷明显减少,表面粗糙度的均方根RMS可达埃级,反射率提升幅度明显。并简单分析了反射率提高的主要原因。
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关键词
PVDSi涂层
RBSiC
SSiC
表面粗糙度均方根rms
反射率
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Keywords
PVD Si coating, RB SiC, SSiC, the rms surface roughness, reflectance
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分类号
TB383
[一般工业技术—材料科学与工程]
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