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薄膜晶体管显示器基板玻璃表面擦划伤研究
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作者 舒众众 张晓东 张晓春 《建材世界》 2024年第4期47-51,共5页
薄膜晶体管显示器(Thin Film Transistor,TFT)基板玻璃表面擦划伤是液晶面板表面质量的重要管控项目之一。论文结合高世代基板玻璃浮法工艺特点,选取高世代玻璃基板加工过程中高频出现的不同形态的表面擦划伤进行研究。论文通过形态和... 薄膜晶体管显示器(Thin Film Transistor,TFT)基板玻璃表面擦划伤是液晶面板表面质量的重要管控项目之一。论文结合高世代基板玻璃浮法工艺特点,选取高世代玻璃基板加工过程中高频出现的不同形态的表面擦划伤进行研究。论文通过形态和表面残留物成分分析产生表面擦划伤的原因,并结合产线实际布局及加工特点进行有效管控生产工艺,促进高世代玻璃基板品质提升。 展开更多
关键词 高世代玻璃基板 浮法工艺 表面划伤
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