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类金刚石膜的性能及其在模具上的应用 被引量:11
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作者 代明江 林松盛 +1 位作者 候惠君 李洪武 《模具制造》 2005年第9期54-56,共3页
分析了物理气相沉积(PVD)技术制备的类金刚石膜和掺杂金属的类金刚石膜的性能,并介绍了类金刚石膜在模具上的应用情况。
关键词 类金刚石膜 物理气相沉积技术 模具 机械 摩擦系数 表面粘结性 杨氏模量 耐腐蚀
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