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硅表面上构筑具有化学特性的图形的新方法
被引量:
5
1
作者
吴瑞阁
欧阳贱华
+3 位作者
赵新生
黄小华
黄惠忠
吴念祖
《物理化学学报》
SCIE
CAS
CSCD
北大核心
2001年第10期931-935,共5页
为了在硅基底上得到不同化学基团修饰的图形,在氢终止硅(lll)表面运用光刻技术和光化学反应结合来控制表面成膜反应的位置,并用AFM、XPS、接触角测定等验证了这种方法的可行性.
关键词
单层膜
分子构筑
光刻
图形
硅
表面
表面
成膜
反应
氢终止
化学修饰
下载PDF
职称材料
题名
硅表面上构筑具有化学特性的图形的新方法
被引量:
5
1
作者
吴瑞阁
欧阳贱华
赵新生
黄小华
黄惠忠
吴念祖
机构
分子动态与稳态结构国家重点实验室 北京大学物理化学研究所
出处
《物理化学学报》
SCIE
CAS
CSCD
北大核心
2001年第10期931-935,共5页
基金
国家重点基础研究发展规划(G1999075305)
国家自然科学基金(29953001
29973003)资助项目
文摘
为了在硅基底上得到不同化学基团修饰的图形,在氢终止硅(lll)表面运用光刻技术和光化学反应结合来控制表面成膜反应的位置,并用AFM、XPS、接触角测定等验证了这种方法的可行性.
关键词
单层膜
分子构筑
光刻
图形
硅
表面
表面
成膜
反应
氢终止
化学修饰
Keywords
monolayers
molecular architecture
photolithograph
pattern
silicon surface
分类号
O613 [理学—无机化学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
硅表面上构筑具有化学特性的图形的新方法
吴瑞阁
欧阳贱华
赵新生
黄小华
黄惠忠
吴念祖
《物理化学学报》
SCIE
CAS
CSCD
北大核心
2001
5
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职称材料
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