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表面窄缺陷深度的光声检测方法 被引量：4
1
作者 李海洋 智斌亮 +2 位作者 潘强华 安志武 于瑞恩 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第2期113-124,共12页
为实现对表面缺陷深度的激光超声定量检测,建立了与缺陷宽度有关的深度测量理论。建立了含有宽度修正项的深度测量公式,并定义了缺陷尺寸比值概念,划分了窄缺陷、极窄缺陷与宽缺陷三种缺陷类型,以及在这三种不同类型下缺陷深度测量方法... 为实现对表面缺陷深度的激光超声定量检测,建立了与缺陷宽度有关的深度测量理论。建立了含有宽度修正项的深度测量公式,并定义了缺陷尺寸比值概念,划分了窄缺陷、极窄缺陷与宽缺陷三种缺陷类型,以及在这三种不同类型下缺陷深度测量方法的适用性,并采用有限元仿真加以验证;搭建了激光超声检测实验平台,对铝合金表面缺陷样品进行了深度检测。结果表明:引入宽度修正项可实现对窄缺陷深度的定量检测,该方法的平均测量误差不足5%,很好地实现了缺陷深度的精确测量。 展开更多
关键词 测量 激光超声 表面微缺陷 尖端波形转换 定量测量
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不同温度下表面微缺陷的声表面波定量分析 被引量：3
2
作者 陶程 殷安民 +3 位作者 应志奇 王煜帆 束学道 彭文飞 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2018年第12期364-372,共9页
采用有限元法研究了激光激发的声表面波与表面微缺陷的作用机理,在位移信号中选取出能定量表征缺陷深度的特征量(振荡信号),分析了缺陷深度和宽度对振荡信号的影响。根据表面波与缺陷后沿作用的位移场,解释了振荡信号的来源。数值结果表... 采用有限元法研究了激光激发的声表面波与表面微缺陷的作用机理,在位移信号中选取出能定量表征缺陷深度的特征量(振荡信号),分析了缺陷深度和宽度对振荡信号的影响。根据表面波与缺陷后沿作用的位移场,解释了振荡信号的来源。数值结果表明,振荡信号(特征点A、B)来源于透射表面波在缺陷后沿所产生的振荡,同一温度下特征点A、B到达时间差随表面缺陷深度的增大呈线性增长,与缺陷宽度的变化无关。根据特征点A、B的到达时间差与缺陷深度之间的关系,结合表面波声速与温度之间的关系,实现了不同温度下缺陷深度的定量计算。 展开更多
关键词 激光技术 温度 有限元法 表面微缺陷 声表面波
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扫描隧道显微镜重掺硅（111）表面微缺陷研究 被引量：1
3
作者 刘鸿飞 秦福 +2 位作者 朱悟新 尤重远 陈开茅 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第7期513-517,共5页
利用电化学扫描隧道显微镜（ＥＣ－ＳＴＭ）初步研究了重掺锑硅（１１１）抛光片表面的微结构．多数硅晶片表面不同部位的ＳＴＭ形貌相表明，表面处理过程产生的微缺陷远比晶体生长过程产生的微缺陷多；粗糙度约为几个纳米的大面积平整... 利用电化学扫描隧道显微镜（ＥＣ－ＳＴＭ）初步研究了重掺锑硅（１１１）抛光片表面的微结构．多数硅晶片表面不同部位的ＳＴＭ形貌相表明，表面处理过程产生的微缺陷远比晶体生长过程产生的微缺陷多；粗糙度约为几个纳米的大面积平整区域与面积虽小但缺陷密度很高而且无规则分布的微区共存．微缺陷密度与晶体完整性、掺杂浓度和抛光条件有关．轻掺锑硅（１１１）表面相对平整，微结构尺寸较大（１００ｎｍ左右）边缘较平滑；重掺锑硅表面微缺陷密度很高，结构复杂，平整度明显降低．表面机械损伤，杂质条纹，过腐蚀等缺陷密度通过优化表面抛光条件可以有效降低或避免． 展开更多
关键词 扫描隧道显微镜 掺硅 表面微缺陷
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光学材料微缺陷引起的损伤机理及后处理
4
作者 柴立群 许乔 +2 位作者 周礼书 胡建平 侯晶 《中国工程物理研究院科技年报》 2003年第1期268-269,共2页
时域有限差分方法(FDTD)作为一种数值计算方法多用于对导体材料的电磁场分布计算，本研究采用此方法对光学材料表面微缺陷(结瘤、刮痕等)作了二维电磁场分析，对亚表面缺陷(气泡、杂质等)作了三维电磁场分析。计算数据分析表明：光学材... 时域有限差分方法(FDTD)作为一种数值计算方法多用于对导体材料的电磁场分布计算，本研究采用此方法对光学材料表面微缺陷(结瘤、刮痕等)作了二维电磁场分析，对亚表面缺陷(气泡、杂质等)作了三维电磁场分析。计算数据分析表明：光学材料表面及亚表面微缺陷的存在，会造成缺陷附近局部区域的场强增强，使得这些部分容易发生雪崩电离等激光损伤，且不同的缺陷形态、位置和入射光的偏振态均会使局部场强增强的大小和分布不同。图1为光学元件表面有一截面的半圆形长刮痕，TM波不同角度入射时的二维电磁场模拟计算结果。对于衍射光学元件的周期性结构，也尝试用FDTD法进行了模拟计算，为多层介质膜镀制的工艺研究提供了理论基础。总之通过本研究的场强分布计算， 展开更多
关键词 光学材料 时域有限差分 表面微缺陷 电磁场分布 损伤处理
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熔石英亚表面缺陷附近光强分布的数值模拟 被引量：5
5
作者 田东斌 袁晓东 +6 位作者 祖小涛 王毕艺 徐世珍 郭袁俊 蒋晓东 李绪平 郑万国 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第2期319-322,共4页
熔石英亚表面缺陷对光场的调制是导致激光辐照场破坏的主要因素。采用有限元方法对熔石英亚表面缺陷(平面和锥形划痕)周围的光强分布进行了数值模拟。结果表明:划痕形状、几何尺寸、方位角、光的入射角等是影响划痕周围光强分布的主要因... 熔石英亚表面缺陷对光场的调制是导致激光辐照场破坏的主要因素。采用有限元方法对熔石英亚表面缺陷(平面和锥形划痕)周围的光强分布进行了数值模拟。结果表明:划痕形状、几何尺寸、方位角、光的入射角等是影响划痕周围光强分布的主要因素;前表面划痕对光强的增强效果比后表面弱;在理想形状的划痕截面和表面同时发生内全反射时,平面划痕周围的光强增强效果明显。锥形划痕周围的光强分布为正确解释交叉划痕的夹角平分线附近的损伤提供了理论依据。 展开更多
关键词 亚表面微缺陷 光强增强因子 激光损伤 数值模拟
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光学元件表面微缺陷可视化检测技术研究 被引量：2
6
作者 魏光虎 《科学技术创新》 2019年第34期46-47,共2页
国内外近些年来,对于检测光学元件表面缺陷的技术越来越重视。由于光学系统的性能会直接受到光学元件表面质量优劣的影响,这对于光学元件的质检工作方面增加了一定的难度。如果光学元件的质量能够得到有效的改善,光学仪器的整体质量都... 国内外近些年来,对于检测光学元件表面缺陷的技术越来越重视。由于光学系统的性能会直接受到光学元件表面质量优劣的影响,这对于光学元件的质检工作方面增加了一定的难度。如果光学元件的质量能够得到有效的改善,光学仪器的整体质量都会得到系统性的提高。基于此,本文阐述了光学元件表面缺陷对元件自身以及其所处系统的危害,然后对光学元件表面微缺陷检测方法进行分析,介绍了机器视觉检测技术的优势,希望能为相关工作者提供有用的参考。 展开更多
关键词 光学元件表面微缺陷 可视化检测技术 方法
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