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基于大面积TFT和PVDF薄膜的表面形貌无损探测技术
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作者 尚飞 胡潇然 +2 位作者 张千 刘帅 向勇 《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第2期287-290,共4页
针对物体表面形貌无损探测,提出了一种基于大面积薄膜晶体管(TFT)和聚偏氟乙烯(PVDF)薄膜的表面形貌探测方法,具有大面积、可覆形、便携化和高精度的特点。该方法利用电容传感器原理,将已广泛应用于半导体显示领域的TFT阵列与传感器相结... 针对物体表面形貌无损探测,提出了一种基于大面积薄膜晶体管(TFT)和聚偏氟乙烯(PVDF)薄膜的表面形貌探测方法,具有大面积、可覆形、便携化和高精度的特点。该方法利用电容传感器原理,将已广泛应用于半导体显示领域的TFT阵列与传感器相结合,可精确定位物体表面微米级缺陷,测量分辨率达到50μm,实现了对物体表面形貌的精准无损探测。 展开更多
关键词 聚偏氟乙烯 传感器 表面形貌探测 薄膜晶体管
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