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基体硬度对氮化钛沉积表面复合硬度的影响
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作者 殷景华 刘尔嘉 吕利泰 《哈尔滨科学技术大学学报》 1991年第3期40-44,共5页
本文研究了基体硬度、沉积氮化钛薄膜硬度和薄膜厚度对表面硬度的影响,通过不同的氮化钛沉积工艺,建立基体硬度、薄膜硬度、薄膜厚度与氮化钛沉积表面复合硬度之间的关系.
关键词 TIN 镀膜 基体硬度 表面复合硬度
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