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超高真空技术在表面处理系统中的应用(英文)
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作者 林主税 孙少妮 +1 位作者 王志秀 张以忱 《真空》 CAS 北大核心 2004年第4期1-14,共14页
超高真空的获得与测量技术于 195 0年左右在加拿大和美国问世。今天 ,伴随着半导体设备、平板显示器、磁和光磁存储器设备等制造业的发展 ,每隔一个月就要求推出新型有效的生产体系。在这些表面设备的生产系统中 ,许多都要求局部超高真... 超高真空的获得与测量技术于 195 0年左右在加拿大和美国问世。今天 ,伴随着半导体设备、平板显示器、磁和光磁存储器设备等制造业的发展 ,每隔一个月就要求推出新型有效的生产体系。在这些表面设备的生产系统中 ,许多都要求局部超高真空或要求整个工艺处理过程置于超高真空环境中。设计一个优质、高效的超高真空系统及操作工艺是达到理想效果的关键。在这里 ,我们只有科学理解气体分子和特殊表面物化结构间的相互作用 ,才能很好地解决各种工程问题。具备了关于等离子体和超高真空室壁及内部装置的表面间的相互作用的经验 ,就可以很好的解决等离子体的控制问题。近年来 ,显示器件使用的某些有机材料的开发应用 ,给超高真空技术提出了新的挑战。 展开更多
关键词 真空工程 沉积技术 介质膜层 表面工程 超高真空技术 表面处理系统
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磨料射流钢管表面预处理系统的试验研究
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作者 吕松 张东速 《淮南矿业学院学报》 1997年第2期39-42,共4页
介绍了前混合磨料射流钢管表面预处理系统,用该系统对钢管进行了清理试验,结果表明该系统可对不同直径的管件进行预处理,其效率可达10m2/h。
关键词 磨料射流 钢管 处理 表面处理系统 试验研究
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adixen
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《电子工业专用设备》 2005年第3期87-89,共3页
在新品牌“ADIXEN”的引领下,阿尔卡特继续为您提供高质量,低成本及高效能产品:真空泵,检漏仪和表面微处理系统。这些创新产品被广泛应用于半导体,分析仪器,科研以及工业市场。
关键词 阿尔卡特公司 真空泵 检漏仪 表面处理系统 工业市场
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基于数据库和二维传热数值分析模型的激光表面强化专家系统 被引量:1
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作者 熊波 姚建华 《机电工程》 CAS 2003年第3期67-70,共4页
初步探讨了激光表面强化处理专家系统的建立 。
关键词 激光表面强化处理专家系统 数据库 二维传热 数值分析模型 金属表面
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等离子体表面处理监控系统数据通讯的CPLD实现
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作者 谭立超 潘林峰 何翔 《中南民族大学学报(自然科学版)》 CAS 2002年第4期43-46,共4页
介绍了等离子体表面处理监控系统数据通讯中数据链路层所需完成的功能 ,提出了用 CPL D完成其功能的方法 :将数据链路层中有限状态机模型与 CPL D在描述有限状态的优势相结合 ,完成半双工的停等协议 .
关键词 等离子体表面处理监控系统 数据通讯 CPLD 数据链路层 可编程逻辑器件 VHDL CRC校验 有限状态机
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“航天产品构件高端表面处理装备系统研制及应用”科技成果通过鉴定
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《机电工程技术》 2012年第5期25-25,共1页
广东省机械工程学会日前在广州组织并主持召开了由中国电器科学研究院有限公司完成的“航天产品构件高端表面处理装备系统研制及应用”科技成果鉴定会。
关键词 "航天产品构件高端表面处理装备系统研制及应用" 科技成果 航天技术 现场总线
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