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三维表面轮廓的白光干涉垂直扫描测量方法的研究 被引量：2
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作者 汪洁 常素萍 谢铁邦 《计量学报》 CSCD 北大核心 2006年第z1期160-163,共4页
基于白光干涉垂直扫描轮廓测量原理,研制出一种以6JA干涉显微镜为基础,配合自带计量衍射光栅测量系统的精密垂直位移工作台,从而实现大范围、高精度三维表面轮廓测量的方法.实验结果表明,采用白光干涉垂直扫描轮廓测量方法,可满足测量... 基于白光干涉垂直扫描轮廓测量原理,研制出一种以6JA干涉显微镜为基础,配合自带计量衍射光栅测量系统的精密垂直位移工作台,从而实现大范围、高精度三维表面轮廓测量的方法.实验结果表明,采用白光干涉垂直扫描轮廓测量方法,可满足测量解析度及精度达到纳米等级的同时,其垂直测量范围可达80μm的三维表面轮廓测量要求. 展开更多
关键词 计量学 表面三维轮廓测量 垂直扫描白光干涉法
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