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题名基于白光干涉技术的表面微观形貌测量方法
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作者
李铭聪
刘盼
史建华
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机构
中国航空制造技术研究院
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出处
《计量与测试技术》
2024年第9期109-111,114,共4页
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文摘
本文从测量原理和技术特性的角度出发,分析了扫描显微镜法、光学干涉法、激光散射法和共焦显微法等非接触测量方法的适用范围。同时,根据白光干涉法的干涉特性和工作原理,研究了其常用的信号处理算法、数据处理和参数评定过程,并对表面三维微观形貌、表面粗糙度、划痕深度进行测量与评价。实验证明:该方法在表面三维微观形貌精确测量中具有显著优势,且精度较高,可为其质量评定提供技术支撑。
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关键词
白光干涉技术
非接触测量
表面三维微观形貌
数据处理
参数评定
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Keywords
white-light interferometry
non-contact measurement
3D surface microtopography
data processing
parameter evaluation
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分类号
O436.1
[机械工程—光学工程]
TG806
[理学—光学]
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题名基于扫描白光干涉法的表面三维轮廓仪
被引量：19
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作者
何永辉
蒋剑峰
赵万生
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机构
上海宝钢股份有限公司研究院设备所
上海交通大学电子信息学院
哈尔滨工业大学特种加工研究所
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出处
《光学技术》
CAS
CSCD
2001年第2期150-152,155,共4页
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文摘
在强调表面三维形貌测量重要性的基础上 ,介绍了利用扫描白光干涉法测量表面三维微观形貌的原理及三维轮廓仪测量系统的构成。通过给出的几个测量实例 ,反映了该三维轮廓仪的主要特点 ,适合于大范围、高精度、阶梯面的测量。最后分析了影响其测量精度的主要因素。
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关键词
表面三维微观形貌测量
白光干涉
扫描白光干涉法
三维轮廓仪
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Keywords
surface 3D micro topography measurement
white light interference
scanning white light interferometry
3D profiler
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分类号
TH744.3
[机械工程—光学工程]
TH741.3
[机械工程—仪器科学与技术]
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题名冷轧钢板表面三维微观形貌测量系统
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作者
何永辉
颜永根
徐耀寰
蒋剑峰
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机构
上海宝钢研究院
冷轧部
哈尔滨工业大学
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出处
《宝钢技术》
CAS
2000年第2期49-51,63,共4页
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文摘
在论述冷轧钢板表面三维微观形貌测量必要性的基础上 ,介绍了利用白光干涉特性进行测量的扫描白光干涉法的测量原理及测量系统 ,采用幅值解调算法确定测试点高度 ,既提高了测量精度又缩短了测量时间。由一个冷轧钢板测量实例 。
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关键词
表面三维微观形貌检测
冷轧钢板
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Keywords
Surface 3D micro topography measurement Scanning white light interferometry Amplitude demodulation algorithm
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分类号
TG335.12
[金属学及工艺—金属压力加工]
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