期刊导航
期刊开放获取
cqvip
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
2
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
点衍射干涉仪中小孔衍射波面误差分析
被引量：
25
1
作者
马强
刘伟奇
+4 位作者
李香波
康玉思
魏忠伦
冯睿
柳华
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第12期2321-2324,共4页
针孔或光纤直径的大小是影响点衍射干涉仪检测精度的重要因素,在实际检测中须根据检测任务的精度要求来选择小孔的尺寸。基于标量衍射理论,仿真计算了小孔尺寸引起的衍射波面相对标准球面偏离的误差。结果表明,当小孔直径为2.5μm,数值...
针孔或光纤直径的大小是影响点衍射干涉仪检测精度的重要因素,在实际检测中须根据检测任务的精度要求来选择小孔的尺寸。基于标量衍射理论,仿真计算了小孔尺寸引起的衍射波面相对标准球面偏离的误差。结果表明,当小孔直径为2.5μm,数值孔径(NA)为0.3时,与小孔有关的光学系统误差峰值(PV)约为0.07nm。仿真方法和计算结果为针对各种高精度面形检测任务而设计点衍射干涉仪和分析其精度提供了理论和数据参考。
展开更多
关键词
光学检测
点
衍射
干涉仪
标量
衍射
衍射
波面
误差
原文传递
点衍射干涉仪中针孔衍射光强与波面误差分析
被引量：
3
2
作者
朱文华
陈磊
+2 位作者
李金鹏
郑东晖
周斌斌
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2015年第6期127-133,共7页
为了研究点衍射干涉仪中针孔的横向离焦与轴向离焦对衍射光的强度与衍射参考波面误差的影响，基于菲涅耳衍射理论，建立了会聚光束经针孔衍射的数学模型，提出了将针孔衍射光的强度与衍射波面误差相结合以分析针孔衍射波前的方法，并综...
为了研究点衍射干涉仪中针孔的横向离焦与轴向离焦对衍射光的强度与衍射参考波面误差的影响，基于菲涅耳衍射理论，建立了会聚光束经针孔衍射的数学模型，提出了将针孔衍射光的强度与衍射波面误差相结合以分析针孔衍射波前的方法，并综合考虑了会聚光束F数、针孔直径等参数的影响。研究表明：会聚光束F数越大，衍射光强度与波面误差越小；横向离焦的距离应小于艾里斑半径与针孔半径之差；横向离焦的允许范围与波长和F数成正相关，与针孔直径成负相关；当光束F=10时，在0～35μm横向离焦范围内，直径1μm以内的针孔可以全程满足波面误差峰谷（PV）值优于0．1λ的要求；可以通过调整轴向离焦来调整参考光的强度，并且针孔直径越小调整越灵敏；选择直径小于艾里斑半径的针孔可以保证衍射波前误差PV值优于10^-2A，测试光的强度控制在针孔有效衍射光强的1／10附近。仿真结果为设计点衍射干涉仪和分析其精度提供了理论和数据参考。
展开更多
关键词
衍射
点
衍射
干涉仪
衍射
光强
衍射
波面
误差
离焦
原文传递
题名
点衍射干涉仪中小孔衍射波面误差分析
被引量：
25
1
作者
马强
刘伟奇
李香波
康玉思
魏忠伦
冯睿
柳华
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
中国科学院研究生院
出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第12期2321-2324,共4页
文摘
针孔或光纤直径的大小是影响点衍射干涉仪检测精度的重要因素,在实际检测中须根据检测任务的精度要求来选择小孔的尺寸。基于标量衍射理论,仿真计算了小孔尺寸引起的衍射波面相对标准球面偏离的误差。结果表明,当小孔直径为2.5μm,数值孔径(NA)为0.3时,与小孔有关的光学系统误差峰值(PV)约为0.07nm。仿真方法和计算结果为针对各种高精度面形检测任务而设计点衍射干涉仪和分析其精度提供了理论和数据参考。
关键词
光学检测
点
衍射
干涉仪
标量
衍射
衍射
波面
误差
Keywords
optical testing
point diffraction interferometer, scalar diffraction
diffraction wavefront error
分类号
O436.1 [机械工程—光学工程]
原文传递
题名
点衍射干涉仪中针孔衍射光强与波面误差分析
被引量：
3
2
作者
朱文华
陈磊
李金鹏
郑东晖
周斌斌
机构
南京理工大学电子工程与光电技术学院
出处
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2015年第6期127-133,共7页
基金
国家自然科学基金(U1231111)
文摘
为了研究点衍射干涉仪中针孔的横向离焦与轴向离焦对衍射光的强度与衍射参考波面误差的影响，基于菲涅耳衍射理论，建立了会聚光束经针孔衍射的数学模型，提出了将针孔衍射光的强度与衍射波面误差相结合以分析针孔衍射波前的方法，并综合考虑了会聚光束F数、针孔直径等参数的影响。研究表明：会聚光束F数越大，衍射光强度与波面误差越小；横向离焦的距离应小于艾里斑半径与针孔半径之差；横向离焦的允许范围与波长和F数成正相关，与针孔直径成负相关；当光束F=10时，在0～35μm横向离焦范围内，直径1μm以内的针孔可以全程满足波面误差峰谷（PV）值优于0．1λ的要求；可以通过调整轴向离焦来调整参考光的强度，并且针孔直径越小调整越灵敏；选择直径小于艾里斑半径的针孔可以保证衍射波前误差PV值优于10^-2A，测试光的强度控制在针孔有效衍射光强的1／10附近。仿真结果为设计点衍射干涉仪和分析其精度提供了理论和数据参考。
关键词
衍射
点
衍射
干涉仪
衍射
光强
衍射
波面
误差
离焦
Keywords
diffraction
point diffraction interferometer
diffraction intensity
diffraction wavefront error
defocus
分类号
O436 [机械工程—光学工程]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
点衍射干涉仪中小孔衍射波面误差分析
马强
刘伟奇
李香波
康玉思
魏忠伦
冯睿
柳华
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008
25
原文传递
2
点衍射干涉仪中针孔衍射光强与波面误差分析
朱文华
陈磊
李金鹏
郑东晖
周斌斌
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2015
3
原文传递
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
