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高精度衍射光栅刻划机的最新技术进展
被引量：
18
1
作者
时轮
郝德阜
齐向东
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第z1期438-439,共2页
采用高精度的衍射光栅刻划机刻划依然是制作高质量母光栅最重要的手段 ,因此 ,跟踪世界光栅刻划机的最新技术进展具有重要的现实意义。文中主要对工件台的双重定位技术和分度运动中的间歇式与连续式的技术融合进行了阐述 。
关键词
衍射光栅
刻划
机
双重定位
间歇式
连续式
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职称材料
衍射光栅刻划机的高精度开环定位系统
被引量：
1
2
作者
王晓琳
杨厚民
+1 位作者
郭杜
张宇华
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1999年第1期63-67,共5页
本文介绍以８０３１单片机为核心研制成的衍射光栅刻划机的开环控制的高精度定位系统。系统中采用了光栅干涉仪、程控放大器、干涉条纹细分和马达分级调速等方法，本系统既具有闭环控制的高精度特点，又具有开环控制简单、易操作等优点...
本文介绍以８０３１单片机为核心研制成的衍射光栅刻划机的开环控制的高精度定位系统。系统中采用了光栅干涉仪、程控放大器、干涉条纹细分和马达分级调速等方法，本系统既具有闭环控制的高精度特点，又具有开环控制简单、易操作等优点。实用表明：该系统控制的刻划机的定位精度σ＝３．６ｎｍ，最大定位误差为１４．６ｎｍ。
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关键词
开环控制
光栅
干涉仪
幅值细分
衍射光栅
刻划
机
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职称材料
大型衍射光栅刻划机刀架导轨设计
被引量：
1
3
作者
糜小涛
《长春工业大学学报》
CAS
2014年第1期42-45,共4页
根据衍射光栅刻划机刀架导轨的精度指标要求以及刻划机的整体结构,设计了刀架导轨并建立了三维模型。运用ANSYS软件进行了刀架导轨静力学分析,分析结果表明,设计的刻划机刀架导轨满足其精度指标要求。
关键词
衍射光栅
刻划
机
刀架导轨
静力学分析
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职称材料
衍射光栅刻划机精密工作台定位特征识别试验研究
4
作者
金一
竺长安
《振动与冲击》
EI
CSCD
北大核心
2013年第1期89-93,98,共6页
针对机械式衍射光栅刻划机精密定位工作台定位过程中产生的振动信号特性与光学性能指标(杂散光强度和波前质量)之间的关系,提出利用改进的Hilbert-Huang变换(HHT)获得的时频谱和边际谱对超精密工作台精定位特性进行研究。首先,给出了基...
针对机械式衍射光栅刻划机精密定位工作台定位过程中产生的振动信号特性与光学性能指标(杂散光强度和波前质量)之间的关系,提出利用改进的Hilbert-Huang变换(HHT)获得的时频谱和边际谱对超精密工作台精定位特性进行研究。首先,给出了基于固有模态函数(IMF)筛选和瞬时频率差分求解的HHT信号处理算法。然后,设计了光学测量实验获得工作台50nm定位信号。最后,完成精密定位信号的特征提取和振动测试验证。结果表明:利用改进的HHT可以精确地完成精密定位信号的特征提取,从而为在衍射光栅的制造工艺中从根源上降低衍射光栅的杂散光强度和提高波前质量提供依据。
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关键词
衍射光栅
刻划
机
精密定位
Hilbert-Huang变换(HHT)
特征识别
试验研究
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职称材料
特种加工与光学工艺
5
《电子科技文摘》
1999年第8期38-38,共1页
关键词
衍射光栅
刻划
机
特种加工
电子器件
开环控制
光学工艺
高精度定位系统
微细轴
微细加工
学报
激光微精处理
原文传递
题名
高精度衍射光栅刻划机的最新技术进展
被引量：
18
1
作者
时轮
郝德阜
齐向东
机构
吉林工学院机电学院
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第z1期438-439,共2页
文摘
采用高精度的衍射光栅刻划机刻划依然是制作高质量母光栅最重要的手段 ,因此 ,跟踪世界光栅刻划机的最新技术进展具有重要的现实意义。文中主要对工件台的双重定位技术和分度运动中的间歇式与连续式的技术融合进行了阐述 。
关键词
衍射光栅
刻划
机
双重定位
间歇式
连续式
Keywords
Ruling engine Dual positioning Stop and go type Continuous type
分类号
TN2 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
衍射光栅刻划机的高精度开环定位系统
被引量：
1
2
作者
王晓琳
杨厚民
郭杜
张宇华
机构
中国科学院长春精密光学机械研究所
北京理工大学光电工程系
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1999年第1期63-67,共5页
文摘
本文介绍以８０３１单片机为核心研制成的衍射光栅刻划机的开环控制的高精度定位系统。系统中采用了光栅干涉仪、程控放大器、干涉条纹细分和马达分级调速等方法，本系统既具有闭环控制的高精度特点，又具有开环控制简单、易操作等优点。实用表明：该系统控制的刻划机的定位精度σ＝３．６ｎｍ，最大定位误差为１４．６ｎｍ。
关键词
开环控制
光栅
干涉仪
幅值细分
衍射光栅
刻划
机
Keywords
Open loop control Grating interferometer Amplitude sub division
分类号
TH741.6 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
大型衍射光栅刻划机刀架导轨设计
被引量：
1
3
作者
糜小涛
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
出处
《长春工业大学学报》
CAS
2014年第1期42-45,共4页
基金
国家重大科研装备研制项目(ZBY2008-1)
文摘
根据衍射光栅刻划机刀架导轨的精度指标要求以及刻划机的整体结构,设计了刀架导轨并建立了三维模型。运用ANSYS软件进行了刀架导轨静力学分析,分析结果表明,设计的刻划机刀架导轨满足其精度指标要求。
关键词
衍射光栅
刻划
机
刀架导轨
静力学分析
Keywords
diffraction grating ruling engine
cutter holder guider rail
static analysis
分类号
TH122 [机械工程—机械设计及理论]
TH123
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职称材料
题名
衍射光栅刻划机精密工作台定位特征识别试验研究
4
作者
金一
竺长安
机构
中国科学技术大学精密机械与精密仪器系
出处
《振动与冲击》
EI
CSCD
北大核心
2013年第1期89-93,98,共6页
基金
"十一五"国家科技支撑计划重大项目(2006BAK03A02)
国家重大科研装备研制项目(ZBYZ2008-1)
中国科学院重大科研装备研制项目(YZ200804)
文摘
针对机械式衍射光栅刻划机精密定位工作台定位过程中产生的振动信号特性与光学性能指标(杂散光强度和波前质量)之间的关系,提出利用改进的Hilbert-Huang变换(HHT)获得的时频谱和边际谱对超精密工作台精定位特性进行研究。首先,给出了基于固有模态函数(IMF)筛选和瞬时频率差分求解的HHT信号处理算法。然后,设计了光学测量实验获得工作台50nm定位信号。最后,完成精密定位信号的特征提取和振动测试验证。结果表明:利用改进的HHT可以精确地完成精密定位信号的特征提取,从而为在衍射光栅的制造工艺中从根源上降低衍射光栅的杂散光强度和提高波前质量提供依据。
关键词
衍射光栅
刻划
机
精密定位
Hilbert-Huang变换(HHT)
特征识别
试验研究
Keywords
diffraction grating ruling engine
precision positioning
Hilbert-Huang transformation （HHT）
feature recognition
experimental study
分类号
TH89 [机械工程—仪器科学与技术]
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职称材料
题名
特种加工与光学工艺
5
出处
《电子科技文摘》
1999年第8期38-38,共1页
关键词
衍射光栅
刻划
机
特种加工
电子器件
开环控制
光学工艺
高精度定位系统
微细轴
微细加工
学报
激光微精处理
分类号
TN [电子电信]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
高精度衍射光栅刻划机的最新技术进展
时轮
郝德阜
齐向东
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001
18
下载PDF
职称材料
2
衍射光栅刻划机的高精度开环定位系统
王晓琳
杨厚民
郭杜
张宇华
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1999
1
下载PDF
职称材料
3
大型衍射光栅刻划机刀架导轨设计
糜小涛
《长春工业大学学报》
CAS
2014
1
下载PDF
职称材料
4
衍射光栅刻划机精密工作台定位特征识别试验研究
金一
竺长安
《振动与冲击》
EI
CSCD
北大核心
2013
0
下载PDF
职称材料
5
特种加工与光学工艺
《电子科技文摘》
1999
0
原文传递
已选择
0
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参考文献
引证文献
统计分析
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