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仿生蛾眼抗反射结构成像系统研制 被引量:2
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作者 董亭亭 张国伟 +3 位作者 郭劼 吴锦双 张为国 付跃刚 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2019年第1期217-222,共6页
仿生蛾眼是一种具有抗反增透效果的微纳米结构,该结构采用化学沉银方法制作了随机分布的双面仿生蛾眼抗反射纳米结构透镜,平均透射率在97%以上。分析了相同参数组合条件下周期蛾眼结构和随机蛾眼结构的透射率情况,得出在设计波段内,随... 仿生蛾眼是一种具有抗反增透效果的微纳米结构,该结构采用化学沉银方法制作了随机分布的双面仿生蛾眼抗反射纳米结构透镜,平均透射率在97%以上。分析了相同参数组合条件下周期蛾眼结构和随机蛾眼结构的透射率情况,得出在设计波段内,随机蛾眼结构透射率优于周期结构的结论。采用蛾眼透镜进行相关参数的计算,利用CODE V平台设计了一款全蛾眼成像镜头。该蛾眼系统焦距为25.5 mm,F数为5,视场角13°,光谱范围400~700 nm。经过成像对比试验显示,蛾眼镜头相比常规镀膜镜头而言,对鬼像、边缘眩光等杂散光具有很好的抑制作用。 展开更多
关键词 反射结构 微纳加工 光学设计 杂散光抑制
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中红外波段仿蛾眼表面高斯面形抗反射微纳结构优化 被引量:1
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作者 温春超 董亭亭 +2 位作者 付跃刚 陈驰 郭旭东 《真空科学与技术学报》 CSCD 北大核心 2017年第5期538-543,共6页
基于严格耦合波分析理论,设计中波红外波段3~5μm的仿生蛾眼表面高斯面形周期阵列抗反射微纳结构,用三维有限时域差分法进行仿真模拟优化,分析了结构阵列周期、占空比、刻蚀深度对反射率和透过率的影响,比较高斯面形、抛物面形、圆锥形... 基于严格耦合波分析理论,设计中波红外波段3~5μm的仿生蛾眼表面高斯面形周期阵列抗反射微纳结构,用三维有限时域差分法进行仿真模拟优化,分析了结构阵列周期、占空比、刻蚀深度对反射率和透过率的影响,比较高斯面形、抛物面形、圆锥形结构模型抗反射效果,给出了最优化参数组合。分析了加工过程中周期、占空比和刻蚀深度以及外部形状轮廓偏差对蛾眼微纳结构的影响,给出了在要求抗反射效果下允许的结构参数公差尺寸范围和建议加工尺寸,结果得到的抗反射结构反射率低于3%~5%,透过率高于90%。 展开更多
关键词 时域有限差分法 高斯面形 仿生反射结构 最优化参数 公差分析
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