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题名叉指式高Q值可变电容仿真设计
被引量：1
- 1
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作者
李延宁
阮勇
尤政
徐宏伟
黎玉刚
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机构
清华大学精密仪器系
西安现代控制技术研究所
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出处
《兵工学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第10期1236-1242,共7页
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文摘
提出了一种叉指式微机电系统（MEMS）可变电容设计方案，并从结构、电学特性、工艺三方面进行了仿真设计。由仿真结果可知：驱动电压为67V时，该设计理论电容可调率3．45，电容调节范围88．16～392．19iF，谐振频率36GHz，Q值223（1GHz），反射衰减0．00225dB，插入损耗42．75dB．与其他形式可变电容相比，该设计理论电容具有高Q值、高电容可调率和工艺简单的技术优势。
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关键词
电子技术
可变电容
微机电系统
仿真设计
蛇形梁
Q值
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Keywords
electronics technology
tunable capacitor
micro-electro-mechanical system
simulation de-sign
serpentine spring
Q factor
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分类号
TN6
[电子电信—电路与系统]
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题名基于硅塑性变形的蛇形梁垂直梳齿驱动器
被引量：2
- 2
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作者
肖育华
宋朝辉
戈肖鸿
车录锋
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机构
中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室
中国科学院研究生院
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出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2011年第3期141-144,共4页
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基金
国家"863"计划资助项目(2008AA04Z311)
国家自然科学基金资助项目(60976080)
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文摘
设计了基于硅塑性变形的垂直梳齿驱动器,中央可动微镜由四组蛇形曲折梁支撑。驱动器的制作采用硅—硅键合技术,首先利用DRIE干法刻蚀技术释放可动梳齿与固定梳齿,然后通过各向异性湿法腐蚀制作的施压凸台实现可动梳齿和固定梳齿的精确自对准,最后利用硅塑性变形使可动梳齿和固定梳齿在垂直方向上产生位错,成功制作出在Z方向依靠位错梳齿实现垂直驱动的蛇形梁静电梳齿驱动器。
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关键词
蛇形曲折梁
塑性变形
垂直驱动
静电梳齿驱动器
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Keywords
serpentine elastic beam
plastic deformation
vertical drive
electrostatic comb actuator
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分类号
TM304
[电气工程—电机]
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题名基于径向磁场分布的MEMS双轴电磁驱动微镜研究
- 3
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作者
徐士浩
李晨
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机构
陕西科技大学机电工程学院
西安交通大学机械工程学院机械制造系统工程国家重点实验室
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出处
《陕西科技大学学报》
北大核心
2022年第2期138-143,共6页
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基金
国家自然科学基金项目(52175540,61705124)
中国博士后基金面上项目(2020M673382)
+4 种基金
陕西省西安市未央区科技计划(202116)
陕西省科技厅自然科学基金项目(2019JQ-078)
陕西省西安市科技计划项目(2019216514GXRC001CG002-GXYD1.4)
陕西省高校青年创新团队计划项目(2019)
陕西科技大学博士科研启动基金项目(2016BJ-78)。
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文摘
介绍了一种适用于激光雷达应用场景的电磁驱动式双轴MEMS微镜,并设计一种新颖的径向磁场致动系统.利用图案化单匝电镀铜线圈和同心永磁体组件形成的径向磁场作用,驱动直径2.6 mm的大孔径双轴微镜偏转.在此工作原理基础上,理论分析和有限元仿真了不同弹性扭转梁结构的驱动位移响应输出等力学特性,提出选用大位移响应量的蛇形折叠梁作为微镜器件的外扭转轴的结构模型,并对永磁体组件耦合的磁场进行研究分析、仿真,实现驱动线圈处获得最大磁场强度.所设计的微镜水平谐振频率和竖直谐振频率可达3376.2 Hz和419.46 Hz,共振态下的水平光学偏转角度和竖直偏转角度分别约为±25.2°和±17.4°,满足MEMS激光雷达对光束扫描器件的大尺寸镜面和广扫描视场范围的需求.
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关键词
MEMS双轴微镜
径向磁场分布
蛇形折叠梁
扫描视场
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Keywords
MEMS biaxial micromirror
radial magnetic field distribution
serpentine folded beam
scanning field of view
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分类号
TN303
[电子电信—物理电子学]
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题名一种新型MEMS离面驱动器的设计与分析
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作者
任豪
姚军
胡放荣
邱传凯
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机构
中国科学院光电技术研究所微细加工与光学技术国家重点实验室
中国科学院研究生院
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出处
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2009年第9期546-550,556,共6页
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基金
中科院创新基金资助项目(CXJJ-09-S05)
所长基金项目(C06K022)
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文摘
提出了一种基于静电排斥效应的MEMS离面驱动器,在消除静电拉入效应的同时得到了较大的静电排斥力。驱动器主要由三个下极板、一个上极板和弹簧梁组成。首先进行了静电排斥现象原理的分析,然后对弹簧梁中有和没有横梁时的弹性系数和模态进行了详细分析和对比,最后对驱动器的行程、驱动力、频率响应和带宽等性能进行了分析。结果表明,存在横梁时结构更加稳定,施加200V电压时,结构有2.5μm的位移和28μN的驱动力,而且带宽约为7kHz。该驱动器可运用于光通信和空间光调制等领域。
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关键词
微机电系统
静电排斥驱动器
蛇形弹簧梁
模态
行程
带宽
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Keywords
MEMS
electrostatic repulsive actuators
serpentine spring
modes
stroke
bandwidth
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分类号
TP211.6
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TH703
[自动化与计算机技术—控制科学与工程]
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