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激光层裂法定量测定薄膜界面结合强度 被引量：9
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作者 周明 张永康 蔡兰 《中国科学（E辑）》 CSCD 北大核心 2002年第1期28-36,共9页
提出定量测定薄膜界面结合强度的激光层裂技术.分析了激光诱发薄膜层裂的物理过程,在基于薄膜内部应力波多重反射。透射基础上,建立薄膜层裂数学模型,推导出薄膜层裂条件下的界面结合强度和相应层裂应变率的计算公式.对Cr不锈钢/TiN,Al/... 提出定量测定薄膜界面结合强度的激光层裂技术.分析了激光诱发薄膜层裂的物理过程,在基于薄膜内部应力波多重反射。透射基础上,建立薄膜层裂数学模型,推导出薄膜层裂条件下的界面结合强度和相应层裂应变率的计算公式.对Cr不锈钢/TiN,Al/EPOXY,纯Fe/EPOXY三个体系的界面结合强度进行了测定.提出直观判别薄膜层裂的波形分析法,直接确定层裂时刻、层裂深度、层裂强度.实现了单次激光冲击,一次确定薄膜界面拉伸强度. 展开更多
关键词 激光层裂法 定量测定 薄膜界面结合强度 薄膜层裂 应力波 层裂应变率 层裂强度
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