FeSiAl合金薄膜电感的研制与研究 被引量：7

1

作者 赵海燕 虞维扬 姚中 《金属功能材料》 CAS 2001年第3期17-21,共5页

本文采用DC直流溅射的方法研制了FeSiAl合金薄膜电感 ,并探讨了输入功率、靶与基板间距离等溅射成形条件及成膜速率的关系及其对薄膜电感性能的影响 ,同时还分析了不同状态下的FeSiAl合金薄膜的结构 ,讨论了产生DO3

关键词 FeSiAl合金 薄膜电感 DO3超结构 研制

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薄膜电感器的研究与应用 被引量：6

2

作者 唐晓莉 张怀武 苏桦 《磁性材料及器件》 CAS CSCD 2005年第3期9-12,共4页

目前IT系统向高集成度、高频宽带化方向发展,要求在更小的基片上集成更多的元器件,这除了依靠高密度集成技术的发展外,从器件本身出发,研制小型化、薄膜化的器件,以减小系统的整体体积、重量,才能达到降低功率损耗、提高信号传输效率的... 目前IT系统向高集成度、高频宽带化方向发展,要求在更小的基片上集成更多的元器件,这除了依靠高密度集成技术的发展外,从器件本身出发,研制小型化、薄膜化的器件,以减小系统的整体体积、重量,才能达到降低功率损耗、提高信号传输效率的要求。本文主要介绍为满足上述要求,作为三大无源器件之一的电感器的薄膜化进程,以及目前薄膜电感器的应用情况及发展前景展望。 展开更多

关键词 薄膜电感 磁性薄膜 小型化 应用

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平面薄膜电感的研究与开发现状 被引量：5

3

作者 唐晓莉 苏桦 张怀武 《磁性材料及器件》 CAS CSCD 2003年第2期37-38,共2页

为满足电子系统的表面贴装技术、微组装技术发展的需要,对器件片式化、小型化、微型化的要求越来越高。而电感作为电路的三大基础性元件之一,其片式化、薄膜化势在必行。本文就近几年国内外片式薄膜电感的发展研究状况做一综述。

关键词 薄膜电感 结构 工艺

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片式薄膜功率电感的感值建模与结构分析

4

作者 张聪 徐玉珍 《电气开关》 2024年第1期31-39,共9页

随着便携式电子产品的轻薄化和小型化发展,电源模块也朝着小型化发展,所以对电源模块中体积最大的磁性元件电感进行建模设计就显得尤为重要。针对片式电感器的薄膜电感,首先应用磁场分割法,建立磁路模型,计算其感量;接着,进一步分析各... 随着便携式电子产品的轻薄化和小型化发展,电源模块也朝着小型化发展,所以对电源模块中体积最大的磁性元件电感进行建模设计就显得尤为重要。针对片式电感器的薄膜电感,首先应用磁场分割法,建立磁路模型,计算其感量;接着,进一步分析各磁阻的磁场大小,推出简易的磁场表达式,代入用多项式拟合后的磁导率曲线,对电感直流叠加特性进行研究;并且分析了当设计某目标感值时,匝数和电阻的关系,得出了在最优匝数下的磁芯高度占比范围在59%左右;最后运用有限元仿真软件验证了该模型的精确性和实用性,当磁芯高度占比在54.74%~63.16%时,误差范围为-1.97%~0.31%,当磁芯高度在59%左右时,饱和电流求解误差在4.28%以内。 展开更多

关键词 片式电感 薄膜电感 磁场分割法 直流叠加特性

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掩膜法制备薄膜电感 被引量：1

5

作者 邵新勋 狄国庆 《功能材料与器件学报》 CAS CSCD 2003年第1期39-42,共4页

采用掩膜方法制备了栅极型薄膜电感,并测试了这些薄膜电感的电感值和品质因数(Q值)在100MHz-10GHz范围的频谱特性。在此频率范围内,两种样品的电感值显示了平稳的频率特性,其数值分别为130nH,155nH;电阻在6GHz以下也保持平稳,分别为31Ω... 采用掩膜方法制备了栅极型薄膜电感,并测试了这些薄膜电感的电感值和品质因数(Q值)在100MHz-10GHz范围的频谱特性。在此频率范围内,两种样品的电感值显示了平稳的频率特性,其数值分别为130nH,155nH;电阻在6GHz以下也保持平稳,分别为31Ω,51Ω,在这个频率以上,由于高频趋肤效应而有一定的增大;Q值在1-6GHz之间在20以上,并且在6GHz附近分别达到最大值160和110。在100MHz-10GHz范围内,这些电学参量的频谱特性符合实际应用的需要。 展开更多

关键词 薄膜电感 栅极型 磁控溅射 品质因数

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薄膜电感测试原理及方法 被引量：3

6

作者 李喜玲 乔亮 郭党委 《实验技术与管理》 CAS 北大核心 2015年第11期47-50,61,共5页

微器件的测试是保证器件质量和发展的关键手段。介绍了由矢量网络分析仪与探针台结合组成的薄膜电感测试系统,详细讲述了薄膜电感的测试原理及方法,实验样品验证了方法的正确性和可行性。

关键词 薄膜电感 矢量网络分析仪 探针台

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片上磁性薄膜电感设计与仿真

7

作者 侯晓伟 郭俊杰 +1 位作者 吕阳 郑良广 《电子设计工程》 2022年第13期155-159,共5页

无源电感广泛应用在射频电路中,用于实现调谐、匹配、滤波等功能。针对片上空心平面螺旋电感的电感值和品质因数低的问题,设计了不同的磁通孔结构,并研究其对电感性能的影响,其中手指型磁通孔结构可以更有效降低涡流损耗。利用HFSS软件... 无源电感广泛应用在射频电路中,用于实现调谐、匹配、滤波等功能。针对片上空心平面螺旋电感的电感值和品质因数低的问题,设计了不同的磁通孔结构,并研究其对电感性能的影响,其中手指型磁通孔结构可以更有效降低涡流损耗。利用HFSS软件比较分析了两种优化后的磁通孔结构对固定线圈平面螺旋电感以及渐变型线圈平面螺旋电感的电感值以及品质因数等的影响。结果表明,顶部和底部磁膜不覆盖磁通孔的结构可以大幅度提高电感值和品质因数,且对渐变型平面螺旋电感的提高作用更为明显。该研究为后续磁膜微电感的设计优化提供了很好的借鉴经验。 展开更多

关键词 薄膜电感 磁通孔 渐变线圈 固定线圈 电感值 品质因数

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基于闭合磁路的框式薄膜电感的研究

8

作者 陈赵豪 谢致薇 +2 位作者 杨元政 何玉定 陈先朝 《电子元件与材料》 CAS CSCD 2015年第1期40-44,共5页

通过磁控溅射工艺制备出三种框式薄膜电感，其中特殊磁芯电感、全磁膜电感为设计制作的具有闭合磁性回路的特殊薄膜电感，而三文治结构电感是目前流行的薄膜电感，这些电感均由下层磁芯层、下层绝缘层（聚偏二氯乙烯，厚度约为40μm）... 通过磁控溅射工艺制备出三种框式薄膜电感，其中特殊磁芯电感、全磁膜电感为设计制作的具有闭合磁性回路的特殊薄膜电感，而三文治结构电感是目前流行的薄膜电感，这些电感均由下层磁芯层、下层绝缘层（聚偏二氯乙烯，厚度约为40μm）、线圈和线圈中心的磁膜、上层绝缘层和上层磁芯层组成，其差别在于磁芯结构不同。在1~3 MHz频率范围内，比较了三种电感的等效电感、寄生电容和损耗因子。结果表明：与三文治结构电感和全磁膜电感相比，特殊磁芯电感有较高的等效电感量和较小的寄生电容，但损耗较后两者高。 展开更多

关键词 薄膜电感 磁通方向 电感量 闭合磁路 寄生电容 损耗因子

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薄膜微型电源

9

作者 贾正根 《真空电子技术》 北大核心 1995年第1期41-45,共5页

介绍了新型的薄膜微型电源的工作原理、结构及制造工艺。

关键词 薄膜电感 薄膜变压器 DC-DC变换器 开关电源

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电感特性随磁场变化响应机制及测试系统搭建

10

作者 李喜玲 毕四军 隋文波 《实验技术与管理》 CAS 北大核心 2020年第1期118-121,共4页

研究电感特性随磁场变化的响应机制具有很重要的应用价值及研究意义。该文主要基于原有矢量网络分析仪和探针台,对薄膜电感测试系统增加磁场测试的功能,并编写自动化测试软件,从而测试在不同磁场下制备在YIG片子上的薄膜电感的高频性能... 研究电感特性随磁场变化的响应机制具有很重要的应用价值及研究意义。该文主要基于原有矢量网络分析仪和探针台,对薄膜电感测试系统增加磁场测试的功能,并编写自动化测试软件,从而测试在不同磁场下制备在YIG片子上的薄膜电感的高频性能随磁场的响应特性。 展开更多

关键词 矢量网络分析仪 探针台 薄膜电感 YIG 变化的磁场

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栅极型薄膜电感的制备 被引量：1

11

作者 邵新勋 《苏州科技学院学报（自然科学版）》 CAS 2003年第1期37-42,共6页

主要讨论了采用掩膜方法制备的栅极型薄膜电感,报告这些薄膜电感的电感值和品质因数(Q值)在100 MHz～10 GHz范围的频谱特性。在此频率范围内,两种样品的电感值显示了平稳的频率特性,其数值分别为130 nH、155 nH;电阻在6 GHz以下也保持平... 主要讨论了采用掩膜方法制备的栅极型薄膜电感,报告这些薄膜电感的电感值和品质因数(Q值)在100 MHz～10 GHz范围的频谱特性。在此频率范围内,两种样品的电感值显示了平稳的频率特性,其数值分别为130 nH、155 nH;电阻在6 GHz以下也保持平稳,分别为31Ω、51Ω,在这个频率以上,由于高频趋肤效应而有一定的增大;Q值在1GHz～6GHz之间在20以上,并且在6GHz附近分别达到最大值160和110。 展开更多

关键词 栅极型薄膜电感 制备方法 品质因数 掩膜 电感值 频谱特性 线圈

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铁氧体薄膜电感器研究 被引量：1

12

作者 白宁 冯则坤 岳帅旗 《磁性元件与电源》 2012年第5期122-126,共5页

选取NiCuZn铁氧体为磁芯材料，采用丝网印刷方法在Al2O3；陶瓷基片上制备出尺寸为5mm×5mm的铁氧体薄膜电感器。通过实验数据对比，讨论了制备工艺和薄膜结合方式对电感器性能的影响，从实验上得到了高性能的薄膜电感器。

关键词 薄膜电感器 铁氧体薄膜 丝网印刷

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薄膜磁件的研究进展与应用

13

作者 程瑞军 叶宁 杨玉岗 《变压器》 北大核心 2006年第11期31-34,共4页

介绍了薄膜变压器、薄膜电感器及集成化薄膜磁性件的结构、材料、性能及应用。

关键词 薄膜变压器 薄膜电感器 薄膜集成磁件

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薄膜微型电感器等效电路分析 被引量：1

14

作者 白宁 冯则坤 岳帅旗 《信息记录材料》 2010年第3期60-64,共5页

提出了磁性薄膜电感器的改进型等效电路模型。基于改进型等效电路,通过有限元法对薄膜电感器进行仿真研究,分析电感器的各个结构参数以及材料的特性参数对电感器整体性能的影响,并讨论了涡流效应和磁性薄膜对薄膜电感器特性的影响。结... 提出了磁性薄膜电感器的改进型等效电路模型。基于改进型等效电路,通过有限元法对薄膜电感器进行仿真研究,分析电感器的各个结构参数以及材料的特性参数对电感器整体性能的影响,并讨论了涡流效应和磁性薄膜对薄膜电感器特性的影响。结果表明选用较高电阻率的磁性薄膜和优化磁路设计,是薄膜电感器设计中必须考虑的问题。 展开更多

关键词 薄膜电感器 等效电路 涡流

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基于薄膜电感器的一体化微型电源模块

15

作者 高适 《磁性元件与电源》 2014年第7期121-122,147,共3页

文章介绍一种甚低高度的厚度仅为1．3mm的薄型DC—DC直流变换器组件。这种组件是将薄膜电感器、薄膜电容器和控制集成电路（IC）整体封装制作成极其紧凑的高密度高效率的一体化电压变换器。设计与制作的实践表明，实现这种甚低高度一体... 文章介绍一种甚低高度的厚度仅为1．3mm的薄型DC—DC直流变换器组件。这种组件是将薄膜电感器、薄膜电容器和控制集成电路（IC）整体封装制作成极其紧凑的高密度高效率的一体化电压变换器。设计与制作的实践表明，实现这种甚低高度一体化电源模块的关键构件是薄膜磁心平面微型电感器，故文章对其进行重点阐述。 展开更多

关键词 薄膜电感器 DC—DC直流变换器 微型电感器 整体封装 甚低高度 组件

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分层串联空心薄膜电感

16

作者 邵新勋 臧涛成 《苏州科技学院学报（自然科学版）》 CAS 2005年第4期31-34,41,共5页

讨论了采用掩膜方法制备的栅极型空心薄膜电感的分层串联,在100MHz～10GHz范围,两种样品的电感值显示了平稳的频率特性,其数值分别由原来单层的130nH,155nH增加到185nH和280nH;电阻在6GHz以下保持平稳,分别由单层的31Ω,51Ω增加到64Ω... 讨论了采用掩膜方法制备的栅极型空心薄膜电感的分层串联,在100MHz～10GHz范围,两种样品的电感值显示了平稳的频率特性,其数值分别由原来单层的130nH,155nH增加到185nH和280nH;电阻在6GHz以下保持平稳,分别由单层的31Ω,51Ω增加到64Ω和104Ω;品质因素(Q值)在1～6GHz之间达到20以上。 展开更多

关键词 空心薄膜电感 栅极型 掩膜 分层串联 品质因数

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一种用于微型电源模块的薄膜电感器

17

作者 薛蕙（编译） 圣力（校） 《磁性元件与电源》 2012年第1期135-137,共3页

文章提出了一种把电感器、电容器和控制集成电路紧密地封装在一起的、高度仅为1．3mm的高效率低高度的DC—DC电压变换器。实现这种微小型电源模块的关键是使其采用的电感器达到微小型化，本文将重点介绍采用薄膜磁心绕线型电感器的制作... 文章提出了一种把电感器、电容器和控制集成电路紧密地封装在一起的、高度仅为1．3mm的高效率低高度的DC—DC电压变换器。实现这种微小型电源模块的关键是使其采用的电感器达到微小型化，本文将重点介绍采用薄膜磁心绕线型电感器的制作与性能。 展开更多

关键词 微型电源模块 薄膜电感器 DC—DC变换器

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微型直流变换器中的薄膜电感器设计制造

18

作者 华旭 《磁性元件与电源》 2014年第8期123-128,共6页

文章介绍了一种用于超小型直流变换器的，不同于由磁芯、绕制线圈组成的立体式磁性器件的薄膜型电感器。由这种电感器和半导体器件构建的微型直流变换器被安装在同一薄膜基片上。这种部件的设计和生产工艺技术类似于半导体器件的加工生... 文章介绍了一种用于超小型直流变换器的，不同于由磁芯、绕制线圈组成的立体式磁性器件的薄膜型电感器。由这种电感器和半导体器件构建的微型直流变换器被安装在同一薄膜基片上。这种部件的设计和生产工艺技术类似于半导体器件的加工生产。在此，探讨微型薄膜电感器的结构特点与设计，所需材料及其制造工艺技术，同时举例介绍它们在MHz级工作频率的驱动直流变换器中的应用情况。 展开更多

关键词 微型直流变换器(DC DC) 薄膜电感器 半导体生产工艺

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一种薄膜电感器的设计制造

19

作者 薛蕙（编译） 圣力（校） 《磁性元件与电源》 2012年第2期126-130,135,共6页

文章介绍一种薄膜电感器的设计与制造工艺，并列举了一例在高速DC／DC电源变换器中应用的结果。这种微型贴装式薄膜电感器为移动通信等等便携式小型轻量化高性能电子设备的发展进步作出了重要贡献。

关键词 薄膜电感器 设计 制造 DC/DC变换器 便携式电子设备

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超深亚微米(VDSM)Foundry(二)——数模混合电路和射频电路

20

作者 张汝京 杨士宁 刘越 《中国集成电路》 2003年第46期69-72,共4页

本刊特约中芯国际张汝京总裁等为本刊撰写了系列文章,介绍中芯国际目前已具备的工艺手段和所达到的技术水准。其它公司的情况,本刊将陆续发表,以飨读者。 1.数模混合电路(MS-Mixed Signal)和射频电路(RF-Radio Frequency)中的主动元件... 本刊特约中芯国际张汝京总裁等为本刊撰写了系列文章,介绍中芯国际目前已具备的工艺手段和所达到的技术水准。其它公司的情况,本刊将陆续发表,以飨读者。 1.数模混合电路(MS-Mixed Signal)和射频电路(RF-Radio Frequency)中的主动元件和被动元件。数模混合电路和射频电路中的 CMOS 电路必须与 logic 电路相兼容。其主动元件或称有源元件(Active Devices) 展开更多

关键词 超深亚微米 VDSM 数模混合电路 射频电路 电容器 电阻器 NMOS变容器 厚金属薄膜电感器

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